半導体・電子部品製造特集
特集開始日:
■成膜
■エッチング / 洗浄 / ダイシング
■検査
■クリーンルーム向け製品
半導体・電子部品製造特集のピックアップ情報
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特集企画|半導体・電子部品製造特集 2023 Spring
●インタビュー
ミニマルファブ(Minimal Fab)は、その名が示すよう「最小限(ミニマル)の半導体工場」であり、半導体の多品種少量生産を少額な設備投資でもって実現するための設備群を指しています。日本国内においては2010年から産業技術総合研究所(産総研)による「ファブシステム研究会」が研究を開始。2012年からは国家プロジェクトとしてミニマルファブ技術研究組合による要素技術開発が進められました。
2015年には当初の目標を達成し、国プロとしては終了。現在は、ミニマルファブ推進機構がミニマルファブ技術普及のためにさまざまな取り組みを進めています。2019年5月には、宇宙航空研究開発機構(JAXA)と産総研による共同研究で、ミニマルファブにより宇宙用を視野に入れた集積回路が製造可能であることを実証できたと発表しています。
そのような国の肝いりプロジェクトでもあるミニマルファブの取り組みですが、どのような設備なのでしょうか。まだよくご存じではない方にも知っていただけるよう、ミニマルファブ推進機構 ファブシステム研究会の代表を務める原史朗氏にアペルザTVのディレクター四ノ宮が基本的なことからお話をお伺いしました。
【掲載企業】
一般社団法人ミニマルファブ推進機構
【協賛企業】
ローデ・シュワルツ・ジャパン株式会社、鍋屋バイテック株式会社、ローレルバンクマシン株式会社、株式会社スカイディスク、株式会社スマートショッピング、吉田機械興業株式会社、三木プーリ株式会社、Rochester Electronics,Ltd.、株式会社ドリーム・アーツ、株式会社スフィンクス・テクノロジーズ、シナノケンシ株式会社
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