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クリーンルームの基礎知識とクリーンルーム用建具

ホワイトペーパー

クリーンルーム向け建具を開発・製造から販売・施工まで

クリーンルーム用ドアに求められるものは単なる部屋の出入り口としての役割だけではありません。
それぞれの部屋には、それぞれ必要とされる性能や機能があり、実際に使用するユーザー様にとって便利でストレスのないものとなるように、常に改良を積み重ねていかなければなりません。
サンワイズには、クリーンルーム用ドアメーカーとして長年培ってきたノウハウがあります。
サンワイズの建具はこのノウハウを活用し、お客様のニーズに合った商品を開発・提供しております。

CONTENTS
・はじめに
・クリーンルームの基礎知識
・クリーンルーム用建具について
・汎用的なフラッシュドア
・3方枠でも高気密なスライドドア
・清浄空間を管理する統合型電気錠制御盤
・インターロックに特化した制御盤
・クリーンルーム用究極の開きドア
・窓枠の無いフルフラットFIX窓

このカタログについて

ドキュメント名 クリーンルームの基礎知識とクリーンルーム用建具
ドキュメント種別 ホワイトペーパー
ファイルサイズ 2.7Mb
登録カテゴリ
取り扱い企業 サンワイズ株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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このカタログの内容

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presents クリーンルームの基礎知識と クリーンルーム用建具 Designed by Freepik
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はじめに Greeting from company クリーンルーム用ドアに求められるものは、単なる 部屋の出入口としての役割だけではありません。そ れぞれの部屋には、それぞれ必要とされる性能や機 能があり、実際に使用するユーザー様にとって便利 でストレスのないものとなるように、常に改良を積み 重ねていかなければなりません。 サンワイズには、クリーンルーム用ドアメーカーとし て長年培ってきたノウハウがあります。サンワイズの 建具はこのノウハウを活用し、お客様のニーズに合 った商品を開発・提供しております。 サンワイズが選ばれる理由 使い勝手、 点検口から 様々なシーンに 高品質で高性能 施工性の良さ 大型ドアまで 合わせて クリーンルームという特殊な条 ドアの使いやすさはもちろんのこ 天井点検口のような小さなものから アルミ製の軽量ドアはもちろん、 件でも満足していただけるよう と、施工する作業員の立場にも立 機械搬入用の大型ドアまで、すべて スチールやステンレスといった鋼 に、細部にまでこだわった作り って、誰でも簡単に取付けができ の商品がミリ単位でオーダーできま 製建具や樹脂製ドアなど、さまざ 込みと、徹底した品質管理を実 るように、こだわりを持った商品 す。 まな環境で使用できる建具を提供 施しています。 開発をしています。 しています。 東北 ・ 北海道営業所 営業拠点 宮城県仙台市太白区富沢西4-1-16 TEL : 022-395-8790 FAX : 022-395-8795 東京営業所 東京都港区芝公園1-2-8 AMANO 芝公園ビル4階 TEL : 03-3438-0255 FAX : 03-3438-0256 本社 静岡県静岡市清水区興津中町848 TEL : 054-360-3222 FAX : 054-360-3227 福岡営業所 関西営業所 福岡県福岡市博多区吉塚8-1-14 PAN リバーズ6 大阪府吹田市豊津町13-15 TEL : 092-402-1472 FAX : 092-402-1473 TEL : 06-6155-6085 FAX : 06-6155-6089 �
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CONTENTS 1はじめに 2CONTENTS 3クリーンルームの基礎知識 5クリーンルーム用建具について 7汎用的なアルミフラッシュドア 93方枠でも高気密なスライドドア 11清浄空間を管理する統合型電気錠制御盤 12 インターロックに特化した制御盤 13 クリーンルーム用究極の開きドア 14 窓枠の無いフルフラット FIX 窓 �
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CLEAN ROOM クリーンルームとはISO14644-1において以下のように定義されています。 「 浮 遊 粒 子 濃 度 が 制 御 さ れてお り、 室 内 に お け る 微 小 粒 子 の 流 入 、 生 成 及 び 停 滞 を 最 小 限 に す る よ う に 建 設 さ れ 、 使 用 さ れ 、 ま た 例えば、温度、湿度及び圧力など、他の関連パラメータが必要に応じて制御されている部屋」 1 万 分 の 1 m m 程 の 微 細 な 粒 子 が 品 質 に 影 響 を 与 え ●リークがない ●防塵衣着用 てしまうような半導体製造工場や、衛生管理を徹底し ●室圧制御 ●発塵しやすい材料・備品は使わない ●作業者は行為・エアシャワー後入室 ●無駄な動きを少なくする な け れ ば な ら な い 食 品 工 場 な ど に お いて、 空 間 の 清 ●材料・機器は清掃して持ち込む ●不用品を持ち込まない 浄 度 を 設 定 し 、 管 理 す る こ と は 絶 対 必 要 条 件 とな り ま 持ち込まない 発生させない す。 清 浄 度 の 管 理 は 主 に 送 風 ・ 圧 力 な ど の 空 調 シ ス クリーンルームの4原則 堆積させない 排除する テム に よって 行 な い ま す の で、 ク リ ーン ル ーム の 構 造 ●基準に則った清掃の実行 ●換気回数を多くする 体 に は 空 調 管 理 が し や す い よ う 、 高 気 密 や 高 断 熱 な ●清掃しにくいコーナーを作らない ●発塵部近くで排気をとる ●ダクト・配管類の室内露出を少なくする ●ごみを製品に付着させないような どが求められます。 近年では、そういったニーズを満 ●帯電させない。除電する  気流形状をつくる た しつ つ、 施 工 性 も 良 い 、 断 熱 プ レ ハ ブ パ ネ ル に よる クリーンルームも増えてきています。 クリーンルームの清浄度クラスは、空気�㎥(またはft3)中に含まれる微粒子の数で定義されています。 清浄クラスの上限濃度(個/㎥または ft3) 清浄度クラス 測定粒径 米国連邦規格 粒径0.1μmの粒子数 粒径0.2μmの粒子数 粒径0.3μmの粒子数 粒径0.5μmの粒子数 粒径5.0μmの粒子数 ISO Fed.Std.209D 14644-1 (対象粒径 0.5μm) /㎥ /ft3 /㎥ /ft3 /㎥ /ft3 /㎥ /ft3 /㎥ /ft3 Class1 10 2 1 Class 2 100 24 10 4 Class 3 1 1,000 35 237 8 102 3 35 1 Class 4 10 10,000 350 2,370 75 1,020 30 352 10 Class 5 100 100,000 23,700 750 10,200 300 3,520 100 29 Class 6 1,000 237,000 102,000 35,200 1,000 293 7 Class 7 10,000 10,200,000 352,000 10,000 29,30 70 Class 8 100,000 10,200,000 3,520,000 100,000 29,300 700 Class 9 35,200,000 293,000 クリーンルームの種類 インダストリアルクリーンルーム(ICR)とは半導体・液晶などのエレクトロニクス、精密機械・印刷など工業用に利用されているクリーンルー ムのことです。汚染物質としては、空気中の微粒子が対象のためフィルタを使って清浄度を確保します。 バイオロジカルクリーンルーム(BCR)は食肉加工や培養発酵などの食品関係や医薬化粧品の製造・研究、病院の無菌室・手術室などに適 したクリーンルームのことです。微生物の排除や交差汚染に注意が払われます。 半導体工場 クラス1~100 産業分野別 電子部品・精密機器・光学機器 クラス100~10,000 標準清浄度クラスの目安 薬品・食品工場 クラス100~100,000 医療機関(手術室・集中治療室)・自動車部品工場 クラス1,000~100,000 �
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クリーンルーム用のドアと一般建築用のドアとでは何が違うのですか? クリーンルームでは部屋への塵埃(じんあい)の侵入防止や、厳密な温度・湿度管理のために、気密性が必要とされます。 そのため、クリーンルーム用のドアにおいても、閉まっている状態のときに、枠とドアの隙間が空かないよう、ドアの4方にパッ キンを回し、ドアが完全に枠に密着するように設計されています。ほんの少しのズレによっても隙間ができてしまう可能性が あるため、ドア製造の際には1mm単位で精度が求められます。 エアタイトドア・セミエアタイトドアとはどんな扉ですか? 「 エ ア タ イ ト ド ア 」 「 セ ミ エ ア タ イ ト ド ア 」 と は 、 J I S 規 格 な どで 明 確 に は 規 定 さ れて い な い の で 一 概 に は 言 え ませ ん が、 あ る一定の気密性能を持ったドアをこのように呼びます。一般的にはJISA4702、A4706に定められた気密性能のうち、 A - 4 等 級 線 を ク リ ア す る 性 能 を 持 っ た ド ア を 「 エ ア タ イ ト ド ア 」 、 同 様 に A - 3 等 級 線 を ク リ ア す る 性 能 を 持 っ た ド ア を 「 セ ミエアタイトドア」とすることが多いようです。 サンワイズのフラッシュドアのうち、DR40は『ボトムタイト仕様(3方枠レバーハンドル仕様)』、DRF50は『エアタイト仕 様 ( 4 方 枠 グ レ モ ン 仕 様 ) 』 で、 ス ラ イ ド ド ア で は S A R 4 0 の 『 エ ア タ イ ト 仕 様 ( 3 方 枠 、 窓 な し 仕 様 ) 』 で J I S 規 格 の A - 4 等 級をそれぞれクリアしています。 サンワイズのクリーンルーム用ドアの特長は何ですか? 工 業 系 の ク リ ーン ル ーム ( I C R ) の な か で も 微 細 な 技 術 を 伴 な う 部 屋 に お いては 、 物 質 か ら 放 出 さ れ る ナノ レ ベ ル の ガ ス (アウトガス)でさえも、 製品の品質に影響を与えてしまうほど、厳格な管理が要求されます。 サンワイズでは、アウトガス 対策として、ドア廻りのパッキンやガラスを押さえるグレイジングチャンネルには、ガスの発生を極力抑えた材質のものを 使用しています。 ただし、全ての製品の標準仕様がそのようになっている訳ではありませんので、そのような要求がある場 合、まずは営業担当にご相談下さい。 ま た 、 サ ン ワ イズ は 、 もと もと 断 熱 プ レ ハ ブ パ ネ ル を 使 っ た 空 間 創 り か ら 始 ま り ま し た 。 そ の た め 、 サ ン ワ イズ の ド ア や マ ド は、断熱プレハブパネルへの施工性を重視して開発しています。 断熱プレハブパネルによるクリーンルームは、施工時間 が短縮できるという大きなメリットがあります。サンワイズのドアは、断熱プレハブパネルへの施工性に優れ 、施工時間の 短縮に大いに貢献できるのです。 クリーンルーム内ドアのヒンジ部分からカスが出てきます。何か良い対処方法はありませんか? クリーンルームなどの内装用ドアで一般的に使用されるヒンジは、ステンレスなどの金属で出来ており、金属製の軸を使 っ た オ ス メ ス 構 造 に な って い ま す。 こ の 部 分 は 開 閉 の 際 、 常 に 摺 動 ( し ゅ う ど う ) し 金 属 同 士 が こす れ る た め 、 発 塵 す る こ と があります。 そのため、オス丁番とメス丁番の間に樹脂製のリングを入れて金属同士の摩擦を避ける場合もありますが、 今度はその樹脂製のリングが割れてしまうという問題が発生する場合もあります。 サ ン ワ イズ で は 、 ク リ ーン ル ーム 用 の 低 発 塵 ヒ ン ジ を 何 種 類 か 用 意 してお り ま す。 ク リ ーン ヒ ン ジ と 呼 ば れ る こ の ヒ ン ジ に ついても、特に規格がある訳ではありません。ヒンジメーカーから出ている発塵レベルのデータと価格に応じて、 クリーン ヒンジをお選び頂けます。 バイオハザードルームなど、気密性が非常に厳しく要求されるような部屋の出入口に使う ドアは、通常のエアタイトドアで大丈夫なのですか? JISのA-4等級というのは実際にはそれなりに空気の流通があります。そこで、事前にこのような情報を頂いた場合には、 扉廻りや枠、金物にシールをして出荷したり、パッキンの廻し方に工夫をしたりといった対応をして、より気密性を高めた状 態で出荷しています。このような場合には、必ず営業担当者に事前にお知らせください。 �
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クリーンルームにおいて、各用途の部屋の出入り口となるドアはどのような仕様にして、どのように配置すべきか といった事項は、基本的にはそのクリーンルームを使われるユーザー様と設計担当者との打ち合わせで決まって きます。ここでは、過去にお問い合わせいただいた事例を基に、メーカーとしての考え方を述べております。 1.開きドア 部 屋 の 内 外 で 圧 力 差 が な く 、 且 つ そ れ ほ ど ク リ ーン 度 を 必 要 と し な い 箇 所 に 使 用 さ れ る ド ア は 、 レ バ ーハ ン ド ル や 握 り 玉 と い っ た 、 ラ ッ チ 錠 を 使 ったドア(以下「F0系 ※1」)がよく使用されます。微差圧下においては、ド アを陽圧側に開くように配置する事により多少の気密性向上を狙う事も あ り ま す が、 差 圧 が 想 定 以 上 とな っ た 場 合 に ド ア に 掛 か る 圧 力 が 大 き く レバーハンドル 握り玉 な り、 開 閉 の 初 動 が 非 常 に 重 く な って し ま う の で 実 用 性 に 弊 害 が 出 る 場 合があります。 このような場合には、陰圧側に開く様に設定すべきですが、掛 かりに多少の“あそび”があるF0系では、圧力がドアの開く側 陰圧 に作用する為に、ドアとパッキンに若干の隙間ができてしまう こ とも あ り、 空 気 が 隙 間 か ら 抜 け る 風 切 音 が 発 生 す る 場 合 が あ り ま す。 ま た 、 ド アク ロ ー ザ ー 等 の 自 閉 装 置 で き ち ん と ド ア ※パッキンが押され、気密性が上がる 陽圧 が閉まり切らないという問題も起こり得ます。 こ れ ら の 問 題 を 回 避 す る た め に は 、 グ レ モ ン 錠 を 使 っ た ド ア ( 以 下 「 グ レ モ ン 系 」 ) を 選定することが考えられます。グレモン系は、閉扉した後に人力で締め込む必要があ る た め 、 ド ア が 閉 ま り き ら な い と い う 事 態 は あ り 得 ませ ん し 、 受 け と デ ッ ド ボ ル ト ( か ん ぬき ) に は “ あ そ び ” が あ り ませ ん の で、 風 切 音 も 発 生 し ませ ん 。 使 い 勝 手 上 の 問 題 で グレモン グレモン系を使用できない場合は、エアロック室を設定するという方法もあります。 ③ ただし、小規模なエアロック室を設定する場合は、必ず差圧ダンパー(陽圧調整ネジ を 上 下 に 移 動 さ せ 室 圧 を 一 定 に 保 つ ) を 設 け る な ど、 閉 扉 時 の 室 内 エ アー の 逃 げ 場 を用意しないと、ドアクローザー等ではドアが自閉しない事態が発生するので注意を ② 要 し ま す。 こ れ は 、 3 方 枠 で あ っても、 下 部 に ズ レ ゴ ム や 後 に 説 明 す る オ ー ト ボ ト ム を 使う限り起こり得る問題です。 ① ズレゴムなし ズレゴムあり F 0 系 を 陽 圧 側 開 き に して 設 置 し た 場 合 、 多 少 気 密 性 能 は 上 が り ま す が、 ド ア を パ ッ キン へ 強 く 押 し 当 て る 状 態 が 長 く 続 く こ と に よ って形状癖が付くため、あまり好ましくありません。これを回避する目的でグレモン系に することも考えられます。グレモン系のパッ キンには、コシが強く癖が付き難いものを使用しているため、形状癖がつくことは皆無ではありませんが、それほどありません。 では、F0系にもグレモン系のパッキンを使えば良いのでは?と思われるかもしれませんが、ドアクローザー等の力でドアを閉める 際 に は 、 “ コ シ ” が 強 い ゆ え に ラ ッ チ が か か らず、 ド ア が 閉 ま り き ら な い な ど の 問 題 へとつ な が り 易 い こ と も あ って、 F 0 系 と グ レ モ ン 系で同じパッキンを使用していないのです。 �
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3方枠のドアにおいては、下部にズレゴムを用いて多少の気密性を持たせることがありま す。サンワイズのドアは、3方枠ズレゴム仕様(ズレタイト)のF0系でもJIS規格における ボトムゴム A - 4 等 級 ※ 2を ク リ ア して い ま す が、 床 面 に 扇 形 の 傷 が 付 き や す く 、 摺 動 に よって 塵 埃 も 多少出るため、クリーン度を重視するのであればオートボトム仕様(ボトムタイト)に する 方 がよ ろ し いで し ょ う。 サ ン ワ イズ の ボ ト ム タ イ ト 仕 様 の ド ア も、 F 0 系 であ っても A - 4 等 級をクリアしています。ただし、ボトムタイト仕様はボトム装置の構造上、両端に隙間がで きる た め 、 期 待 す る ほ ど の 気 密 性 能 は 出 ませ ん 。 ま た 、 気 密 性 能 が 床 面 の 不 陸 に 左 右 さ れる 面も ある ため 、 費用 対効 果の 満足 度は 決 して高く あり ません 。 サ ン ワ イズで は 、 床面 の 不 陸 に 対 応 す る た め に、 床 の 斫 り 工 事 な しで 使 用 で きる ス テ ン レ ス 製 の 沓 摺 り を オ プ ボトムゴム ションとして用意しています。 2.スライドドア ステンレス沓摺 隙間をコーキング等でふさぐ 気密スライドドアは、その機構の特性により閉鎖時にドア自 体 が 自 動 的 に 下 が る た め 、 オ ー ト ボ ト ム の 設 定 は あ り ませ ん 。 た だ し 、 気 密 ス ラ イ ド ド ア は 3 方 枠 の た め 、 開 き ド ア の オ ー ト ボ ト ム 同 様 、 気 密 性 能 は 床 面 の 不 陸 に 左 右 さ れ ま す。 特 に 床 に 勾 配 が つ いて い る 場 合 は 、 ハ ン ガ ー レ ー ル の ス パ ン に お け る 床 面 の 最 高 位 置 を 確 認 し 、 そ こ を 基 準 に して 水 平 に 設 置 す る 必 要 が あ り ま す。 そ の た め に、 開 き ド ア の 中 で 説明したステンレス製沓摺をオプションとして用意していま 気密スライドドア SAR40 の動き すが、勾配の大きい箇所にはあまりお勧めできません。 ・閉まりきる瞬間に、扉が下方向に落ちて下のすき間を塞ぐと ともに、パッキン側に押し付けられるような動きをします。 サンワイズのスライドドアは、戸先をオーバーラップさせ、戸先側にもガイドブロックを使用しています。これは、部屋の内外で多少 の圧力差があっても、上部の吊車と下部2点のガイドブロックでドアをしっかりと支持するためです。しかしながら、気圧差が大きい 箇所にスライドドアを設置する場合は、ドアが閉まるにつれて戸先の下部に気流が集中することになります。そのためにドアが閉ま る に つ れて 戸 先 が 振 れて し ま い 、 戸 先 が 開 口 部 に 当 た って し ま う 、 ド ア が 戸 先 側 の ガ イ ド ブ ロ ッ ク に う ま く 納 ま ら な い な ど の 問 題 が 生じることがあります。 特に自閉式スライドドアでは、ドアが完全に閉まりきる直前でドア が 止 まって し ま い 、 完 全 に 閉 ま り き ら な い と い う こ と が あ り ま す。 こ の よ う な 状 況 下 で 自 閉 式 ス ラ イ ド ド ア を 使 用 す る 場 合 は 、 差 圧 ダ ンパーの設置やガラリを追加することをお勧めします。サンワイズ 製 の ガ ラ リ に は 、 交 換 可 能 な ス テ ン レ ス 防 虫 網 を 取 り 付 け る こ と 戸先 戸尻 もで き ま す の で、 ガ ラ リ を 設 置 し た こ と に よって 虫 が 侵 入 し や す く なるといったことはありません。 ※1 F0系 ※2 A-4等級 サンワイズの開きドアでは、錠前等の締め込みの点数によってF~と呼んでいます。「F0」 とは、締 JISA4702や同A4706の気密性能における気密性能の等級で、 め込み機能のないラッチ系の錠前を使用したものを指します。グレモン錠を使用したドアの場合、 一般的には、A-3等級をクリアする性能を有するものを「セミエア 上下方向2点に(3方枠の場合は上部のみ)締め込みのためのロット棒が、またデッドボルト(かん タイト」と呼ぶことが多いようです。また、単に枠の全囲にパッキンが ぬき)横方向に出るため3点の締め込みということで「F3M」と呼び、両開きのグレモン錠の場合は 回っているドアのことをセミエタタイトドアと呼ぶこともあります。 、両側のドアにグレモン錠を使用したものを「F4」と呼んでいます。なお、両開きのグレモン錠のド ただし、サンワイズでは、「セミエアタイト」という名称は、4方枠の開 アでも、子側のドア(普段は開閉しないドア) にグレモン錠を使わないものは「F3M」としています。 きドアでF0系をセミエアタイトと呼んでいます。 �
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DR DR30 / DR34 / DR40 図面などはこちらから A 4 �
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高気密な自動開閉オプション新登場! 非 接 触 の 手 か ざ し セ ン サ ー や 上 部 セ ン サ ー 、 ア ル コ ー ル 噴 射 機 などと連動させることもでき、感染症対策はもちろん、両手がふさ がっていても ド アの 開 閉 が容 易 に できる な どサ ン ワ イズの 建具の 利便性がさらに向上します。 安 全 セ ン サ ー 付 き な の で、 万 一 開 く 方 向 に 人 が いても 自 動 で ス ト ッ プ。 開 閉 速 度 も 設 定 が 可 能 で、 も ち ろ ん サ ン ワ イズ の イ ン タ ー ロック制御にも対応します。 さ ら に 電 磁 錠 を 使 用 す る こ と に より、 手 を 触 れ な い 自 動 開 閉 で あ り な が ら も J I S 最 高 等 級 の A - 4 等 級 を ク リ ア してお り、 単 な る 自 動 開 閉 の 出 入 口 か ら 、 気 密 性 が 求 め ら れ 、 さ ら に ド ア に 触 れ ず に 開 閉させたい清浄性を求めるクリーンルームなどに便利です。 mm �
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SAR40 100 50 20 A-4 10 線 5 A-4 等級 通 気 2 量 q 1 (㎥/h・㎡) 0.5 0.2 0.1 0.05 正圧 0.02 負圧 0.01 10 30 50 100 圧力差 P(Pa) �
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41 30 30 30 30 50 50 50 +50+ 30 = + = 80 41 41 �� 4411 4411 3.5 21.5 30 178 3.5 21.5 30
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ASI-8 ASI-8 ASI-8 400 100 210 �� 300 151,5
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ISI-16 / ISI-32 ISI-16/ISI-32 ISI-16 16 ISI-32 32 ISI-16 96 300 90 32 インターロック制御盤 ISI-16 1 5 9 13 10 14 OFF 電 源 2 6 ON 3 7 11 15 4 8 12 16 緑点灯 [待 機 ]→ [消灯 Open (解 錠 ) 赤点灯 Close (施錠 ) ISI-32 400 125 ISI-L2 ISI-32 AC 100V �� 300 250
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DRF50 仕様・制作範囲 図面などはこちらから A 4 ��
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フレームをなくし、クリーンパネル表面とガラス表面の厚みをそ フレームのない、新しい形のクリーンパネル用FIX窓。 ろえ、余計な凹凸を徹底的に排除したフルフラットのFIX窓 フルフラットF I X窓 です。2枚のガラスが壁パネルの両側にちょうどツライチになる ようにそろえた複層ガラスになっています。40㎜~44㎜・50㎜ のクリーンパネルに対応します。 F u l l f l a t w i n d o w FFXシリーズ ※ パネルの開口部には勘合等の下地が必要です。 ※ パネルの厚みにより 使 用するガラスの厚みが決まって きます。 フレームの無い複層ガラスで埃だまりを徹底的に排除。 窓部がユニット化されているから、ガラス破損時も窓のみの交換が可能。 すべて1㎜単位のオーダーメイド。 Flat! FFX FFX40 FFX42 FFX44 FFX50 FFX W200×H285 32 32 32 2000 12 12 12 12 32 2 SUS304 6. mm 図面などはこちらから ��
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総合カタログ 会社案内 気密スライドドア ガラリシリーズ 間仕切りで工場の環境を フルフラットドア 製薬工場向け商品カタログ 電気錠・インターロック制御 向上させませんか? 商 品 に 関 す る お 問 い 合 わ せ は 下 記 ご 連 絡 先 ま で 。 424-0204 お気軽に ご相談 くだ さい! TEL. 054-360-3222 FAX. 054-360-3227 https://www.sunwizz.co.jp/ 2023/03 No.3_AFM