AEROHEAT：真空用ヒータ

  真空⽤ ヒータ

　　　　　　　 は当社のMIケーブル製造技術をもとに開発した長寿命ヒータです。非発熱部を 接続することで、真空中でもフランジやシールポートのOリング温度を低くすることができ、冷却 配管や冷却水が不要となり、設備やランニングコストを抑えることができます。 また、写真のようなパネルヒータを何枚も組み合わせることで、8Gを超える大型ガラス基板でも 細やかな温度制御ができ、基板の均熱はもちろんキャリアによる局部的な温度低下を補う回路 分割も可能です。 反射板やヒータケースに組み込んだ状態での納入も可能で、届いたら装置に取り付けるだけの 簡単な取扱い性能も魅力のひとつです。

　プレート内面に溝を切り　　　　　　　　を内部に敷設することにより半導体製造装置には 欠かせないホットプレートにも使用でき、早い昇温スピードと均一な温度分布が得られます。 12インチ以上のプレート径でも内外周の回路を分割することにより、温度分布は使用温度の ±1％以下の均熱が可能です。腐食性ガスを使用するプロセスや高温仕様（MAX700℃）では アルミプレート以外にもステンレスやインコネルでの製作もでき、腐食性ガスを使用しないプロ セスではヒータを交換できる構造にすることにより交換コストを下げることが可能となります。 　また、角型ホットプレートでは8G以上のアルミプレートでも製作可能であり端部や角部の温度 低下も敷設ピッチを変えることにより均一な温度分布が得られます。更に端子部にセラミック 端子を使用することにより真空中での電源取り合いが可能です。 神戸営業部/〒651-0087 神戸市中央区御幸通3丁目1-3 TEL：（078）251-8200 FAX：（078）251-8210 国 際 部/〒651-0087 神戸市中央区御幸通3丁目1-3 TEL：（078）330-6879 FAX：（078）251-8210 東 京 支 店/〒103-0012 東京都中央区日本橋堀留町2-3-14 TEL（: 03）5641-0200 FAX（: 03）5641-9100 茨 城 支 店/〒310-0021 茨城県水戸市南町3丁目4番14号 TEL：（029）300-1770 FAX：（029）300-1774 千 葉 支 店/〒290-0054 千葉県市原市五井中央東1丁目8番地12 TEL：（0436）24-3594 FAX：（0436）24-3694 横 浜 支 店/〒231-0006 横浜市中区南仲通3丁目32-1 TEL：（045）227-1071 FAX：（045）227-1074 名古屋支店/〒461-0005 愛知県名古屋市東区東桜1丁目13番3号 TEL：（052）952-8530 FAX：（052）952-8537 京 都 支 店/〒607-8085 京都市山科区竹鼻堂ノ前町46番地1 TEL：（075）595-5771 FAX：（075）595-5772 大 阪 支 店/〒550-0001 大阪市西区土佐堀2丁目2-4 TEL：（06）6447-2610 FAX：（06）6447-2611 温度センサと電気ヒータの最新情報は 岡 山 支 店/〒700-0821 岡山市北区中山下1丁目2-3 TEL：（086）223-3465 FAX：（086）223-0962 広 島 支 店/〒730-0015 広島市中区橋本町10-10　 TEL：（082）223-0888 FAX：（082）227-7235 https://www.okazaki-mfg.comをご覧下さい。 北九州支店/〒802-0005 北九州市小倉北区堺町2丁目1-1 TEL：（093）521-5300 FAX：（093）521-5060 長 崎 支 店/〒850-0055 長崎市中町5-23 TEL：（095）825-5337 FAX：（095）825-5227 ●記載内容については改善のため予告なく変更することがありますので、 CAT.NO.OMC-7006 　あらかじめご了承下さい。 初版発行 2016年 9月 500部 第5版1刷発行 2023年 7月 500部