LED 光学多層DBR 膜形成用真空蒸着装置
Al膜を使ってLEDの発光効率を高める方法には、限界があります。
さらに、Al膜は、LEDに悪さをすることがあります。
熱変形による応力で、製品劣化の原因になることも。
そこで、DBR(誘電体多層膜ミラー)膜の出番。
熱変形による劣化が少なくて済み、
Al膜よりもLEDの発光効率を無理なく高めることができます。
Sapio DBRは、そんなLED の発光効率を
高めるDBR膜の成膜に最適な装置です。
1バッチあたりのΦ2インチウエハーの処理数は400枚、
Φ4インチウエハーの処理数は110枚。
高い量産性能を持っております。
また、膜厚の再現性にも優れており、
膜厚分布±1.5%以内の実績がございます。
条件によってはバッチ間の保証も可能です。
その他、気になる点がございましたら、
お気軽にお問い合わせくださいませ。
◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 【Al膜からDBR膜に移行するなら】Sapio-DBR |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 2.5Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社昭和真空 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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光学薄膜用成膜装置
Sapio-DBR(SGC-S1550ｉ/1300i)
LED 光学多層 DBR 膜形成用真空蒸着装置
Sa pio-DBR （SGC-S1550i/S1300i シリーズ）
LED 用光学多層 DBR 膜の成膜に最適！
＜P OINT＞ Sapio-DBR1300
① 優れた量産性能 基板搭載数 φ2inch ウェハー約 400 枚/batch
φ4inch ウェハー約 110 枚/batch
タクト 3h/batch 以内
必要設置エリア W4.6m×D6.3m×H3.2m※
※水晶式膜厚計の脱着の際には工場側天井パネルの取外し等が必要となることがあります。
② 優れた再現性 連続 batch 保証も対応
③ 膜質の調整が可能 Chipping による膜の損傷を抑制するための
条件補正もご協力できます
＜標準装備＞
・超高速排気系
・EB-GUN ×2 式
・RF イオンソース
＜参考分光特性＞ ・ファイバー式光学式膜厚計
・6 連水晶式膜厚計
・ハロゲンヒーター（120℃±5℃ 内）
etc…
ご質問・詳細につきまして
お問合せ 先 ＴＥＬ：０４２-７６４-０３７０ FAX：042-764-0377
は、営業部までお気軽にお
【営業部 】
問合せ下さい。 E-Mail：sales-pamphlet@showashinku.co.jp
本社・相模原工場 〒252-0244 神奈川県相模原市中央区田名 3062-10 TEL：042-764-0321
URL http://www.showashinku.co.jp
本製品は、 外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、
日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。
IQJ10301-1310