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ウェハ上の膜に生じる凹凸を(極限まで)削減します
そこで、当社が紹介するのはウェハトリミング装置「SST-M01T」。
Φ4 インチとφ6 インチに対応しており、ナノオーダーでフラットにする事が可能!!
対応膜種はLT,LN,SiO2 等多数。
変化するウェハ市場に対しても柔軟に対応可能な実験機もございますので
まずは実機確認から当社トリミング装置を見てみませんか。
◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
このカタログについて
ドキュメント名 | 【精密加工に貢献】ウエハトリミング装置 SST-M01T型 |
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ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 2.2Mb |
登録カテゴリ | |
取り扱い企業 | 株式会社昭和真空 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |