1/2ページ

このカタログをダウンロードして
すべてを見る

ダウンロード(949.2Kb)

【驚愕の再現性!】光学薄膜用蒸着装置 SGC-S1700シリーズ

製品カタログ

再現性を保ちながらもっと量産したい!そんな方に・・・大量生産かつ驚愕の再現性を施した蒸着装置です

1バッチの搭載数はΦ1300と比較すると約2倍!
省スペース化もしておりますので、
非常にコストパフォーマンスの良い装置となっております。
スマートフォン向け反射防止膜の成膜で世界シェアNo1の装置です。

◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

このカタログについて

ドキュメント名 【驚愕の再現性!】光学薄膜用蒸着装置 SGC-S1700シリーズ
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 949.2Kb
登録カテゴリ
取り扱い企業 株式会社昭和真空 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

このカタログの内容

Page1

樹脂基板への成膜に最適! 大量生産を高次元で実現 Ideal for film formation on resin substrates! Realizes mass production at high level AR-coating-specific standard machine, incorporating all the technologies of Sapio 1300 Aコ while assuring enhanced cost performance Rス コト ーパ トフ 専ォ 用ー スマ の テ タン ンス ク ダに ノ 優ロー ジ ドれ マた ー を シ 盛 ン り 込 み つ つ RFイオンソース、光学モニター、反転パレット など多彩な仕様選択が可能 Selectable from a variety of specifications such as; RF ion source, Optical monitor and Inverting pallet Sapio1300
Page2

SGC-S1700 SERIES 光学薄膜用蒸着装置Vapor Deposition Equipment for Optical Thin Films 樹脂基板への成膜に最適! 大量生産を高次元で実現 Ideal for film formation on resin substrates! Realizes mass production at high level 【特長・オプション等】 【用途・応用例】 1. 高効率排気システムの採用により、φ1,300蒸着装置と比較し 樹脂基板への反射防止膜形成   成膜処理時間は+10%程度 光学ミラー 2.1バッチあたり基板収納数はφ1,300蒸着装置の2倍以上 3.設置面積の省スペース化、全高を抑えたコンパクト設計 [Features/ Options] [Applications] 1. Through the adoption of high efficiency exhaust system, compared with φ1, 300 vapor deposition Anti-reflection film formation on resin substrate equipment, the coating treatment time only increases by about 10%. Optical mirror 2. The number of stored substrates per batch is twice or more of φ1, 300 deposition equipment. 3. Space saving in the installation area, compact design with reduced overall height. 概略仕様 Specifications 処理方式 バッチ式 Processing method Batch type 排気ポンプ 26インチDP×2+RP+MBP+マイスナートラップ Exhaust pump 26 inches DP x 2 + RP + MBP + Meissner trap 設置寸法 W4,800㎜×D7,600㎜×H3,100㎜ Installation dimensions W4,800㎜×D7,600㎜×H3,100㎜ ご質問・詳細につきましては、 装置重量 9,500kg 営業部までお気軽にお問合せください。 Equipment weight 9,500kg お問合せ先【営業部】 電源容量 AC200V(3φ) / 約135kVA Power supply capacity AC 200 V (3φ) / about 135 kVA 本社・相模原工場 〒252-0244 神奈川県相模原市中央区田名3062-10 真空槽サイズ φ1,700㎜ Vacuum tank size φ1,700㎜ TEL. 042-764-0370 FAX. 042-764-0377 E-mail. sales-pamphlet@showashinku.co.jp 標準搭載 Standard installation https://www.showashinku.co.jp/ 水晶モニター COÅT LEADER 高出力RFイオンソース ISGシリーズ 昭和真空 検 索 Crystal monitor COÅT LEADER High power RF ion source ISG series 広範囲で安定した放電を可能に Inquiry [Sales Dep.] し、光学フィルターのノンシフト HQ and Sagamihara Plant 膜から樹脂基板への密着性改善 3062-10 Tana, Chuo-ku, Sagamihara-city, Kanagawa 252-0244 Japan まで様々な用途でご使用いただ TEL:+81-42-764-0370 FAX:+81-42-764-0377 けます。 本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略 物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国 外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、 当社が長年培ってきた水晶デバイス製造 必要な手続きをお取りください。 装置の技術を生かし、ネットワークアナラ This product may be applicable to export control products such as strategic raw materials イザによる周波数測定方式を採用するこ which are regulated by the Foreign Exchange and Foreign Trade Control Law. Accordingly when you bring out the applicable products outside Japan, you should take a necessary とで、高精度な膜厚監視、レート制御が可 action such as application of an export permit to the Government of Japan. 能となっております。 Taking advantage of the technology of quartz device manufacturing equipment that has been cultivated for many years by our company, the accuracy of this system has been significantly improved compared to the conventional measurement method by adopting the frequency A wide range of stable discharges is possible, and it can be used in a variety of applications from Web site 製品情報ページ measurement method with a network analyzer. non-shift films of optical filters to adhesion improvement to resin substrates. 真空中で特定の基板に薄膜を形成させ る装置を主とした、真空蒸着装置やス 新しい成膜方法をお考えのお客様は、ぜひ当社へご相談ください! パッタリング装置等の真空技術応用装 置(真空装置)を製造販売しております。 ※本仕様・外観については、改良のため予告なく変更になることがあります。あらかじめご了承ください。 If you are looking for new film coating technology, Please ask our company! https://www.showashinku.co.jp/product/ * For the improvement of the product, please understand in advance that the specifications and external views are subject to change without prior notice. OOJE13901-1912