二種類の膜を片面ずつ成膜可能なスパッタ装置
カルーセルとは「回転木馬」という意味があり
本装置は回転木馬のように基板が回転しながらターゲットの前を通って
成膜する装置になります。
ターゲットの前を通過する時以外は基板がプラズマにさらされないため、
低温成膜ができると言ったメリットがございます！
基板の反転により両面成膜ができ、また2系統の5×7インチかソードを装備しているため多層成膜も可能です。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 【低温成膜可能】ロードロック式 カルーセル型スパッタ装置 SPC-2507型 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 1.2Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社昭和真空 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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