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Picosun社ALD成膜装置 Rシリーズ

製品カタログ

ALD成膜装置 モデルRシリーズカタログのご案内です。

ALDは既存のPVD,CVD、蒸着等の成膜技術よりいくつかの点で優れているため、
急速に市場に浸透してきている。
それは段差被覆性に優れており、膜厚が1原子層レベルで制御でき、膜厚分布が良く、
バリア性が高く膜質が良く、低温(e.g.100℃)でも成膜できる。

このカタログについて

ドキュメント名 Picosun社ALD成膜装置 Rシリーズ
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 300.9Kb
登録カテゴリ
取り扱い企業 PICOSUN JAPAN株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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