半導体製造装置
半導体製造装置
コータ／デベロッパー - 半導体を製造する際に、フォトリソグラフィープロセスにおいて感光剤の塗布と現像を行う装置。サーマルプロセスシステム（熱処理成膜装置）- トランジスタの絶縁膜をつくるための製造装置。半導体製造において、トランジスタの性能向上を図るために、短時間で高温での熱処理が必要とされている。エッチング装置サーフェス プレパレーション装置 - 半導体製造過程において、チリ、ほこりなどの不純物を洗浄するための装置。ガスボックス、ガスパネル（半導体製造装置用）
