1/2ページ
カタログの表紙
カタログの表紙

このカタログをダウンロードして
すべてを見る

ダウンロード(1.3Mb)

【垂直入射はお手の物】真空蒸着装置 SEC-22C

製品カタログ

電極膜や酸化膜の成膜に。リフトオフ工程にも対応可。

蒸着材料の入射角が大きいと、
どのような問題が起きるのでしょうか?
密度が小さくて剝がれやすい膜ができる。
所々隙間のある膜ができる。
といったことが考えられます。

SEC-22Cには、蒸着材料の入射角を
抑える工夫を施しました。
T/Sを長めにし、高精度ドームや補正板4式を採用。
入射角を±5°に抑えています。
(Φ6インチ基板の場合)

そのため、各種電子部品の電極膜や保護用途の酸化膜の
成膜はもちろん、リフトオフ工程に最適です。

他にも膜質を高めるオプション等を
カタログでご紹介しております。

気になった方はぜひカタログダウンロードをお願いします。

このカタログについて

ドキュメント名 【垂直入射はお手の物】真空蒸着装置 SEC-22C
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 1.3Mb
登録カテゴリ
取り扱い企業 株式会社昭和真空 (この企業の取り扱いカタログ一覧)