株式会社昭和真空のカタログ一覧

低温成膜で樹脂基板にも対応ガスバリア性に優れた薄膜が得られます

ALDによって生み出される膜、それは広く普及している成膜技術によって、生み出される膜とは性質が異なる。 ①基板内面内分布に優れている ②高性能なバリア特性(水蒸気透過率0.05g/m2・day)を持つ ③複雑な形状の物にまできれいに密着 ...

二種類の膜を片面ずつ成膜可能なスパッタ装置

カルーセルとは「回転木馬」という意味があり本装置は回転木馬のように基板が回転しながらターゲットの前を通って成膜する装置になります。ターゲットの前を通過する時以外は基板がプラズマにさらされないため、低温成膜ができると言ったメリットがございま...

ウェハ上の膜に生じる凹凸を(極限まで)削減します

そこで、当社が紹介するのはウェハトリミング装置「SST-M01T」。 Φ4 インチとφ6 インチに対応しており、ナノオーダーでフラットにする事が可能！！対応膜種はLT,LN,SiO2 等多数。変化するウェハ市場に対しても柔軟に対応可能な実験機も...

再現性を保ちながらもっと量産したい！そんな方に・・・大量生産かつ驚愕の再現性を施した...

1バッチの搭載数はΦ1300と比較すると約2倍！省スペース化もしておりますので、非常にコストパフォーマンスの良い装置となっております。スマートフォン向け反射防止膜の成膜で世界シェアNo1の装置です。 ◆詳細はカタログをダウンロードしてご...

装飾膜などに適した大型イオンプレーティング装置

樹脂基板への金属膜を成膜する装置です。装飾、塗装のドライ化をご検討されているならこの装置。真空槽のラインナップがいくつかございますので、生産量にマッチした装置を提供させていただきます。 ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

生産量UPを追及して1台で2台分の生産を実現

従来のSapio 1700から排気工程の短縮、成膜工程の短縮、ベント工程の短縮、装置の安定稼働、これら4つを実現しました。制御系にはワイヤレスモニターを採用し高精度なプロセスコントロールを行えます。設置面積は従来のSapio 1700と変わらず生産量2倍...

耐腐食性の高いY₂O₃厚膜を成膜、シールド膜の形成が可能

本装置は耐プラズマ膜（Y₂O₃膜）の厚膜成膜が可能です。充填密度の高い緻密で強固かつ耐腐食性の高いY₂O₃膜を形成することで、高密度フッ素系ガスプラズマからアルミナや石英などの部品を保護します。【用途】・半導体向けドライエッチャー ...

設備の監視、解析によりエラーを予測し安定稼働へ繋げます

【概　　要】 EPIoT（エピオット）は、装置へ接続する事で様々な観点から装置の状態監視及び解析を行い、装置の安定稼働を促進するユニットです。標準仕様で「監視」、「解析」、「警報」、「履歴管理」の4つの機能を持っておりますが、管理する項目は...

インラインで水晶振動子の熱処理が可能な高真空アニール装置

【特　　長】 1．本装置は、主に水晶振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去、電極膜の安定化のために熱処理を行うインライン式真空熱処理装置です。 2．仕込室、処理室、冷却室の3室からなり、トレイ仕込後、アニールから冷却まで全自動で行いま...

大容量・コンパクト・起動時間短縮・ランニングコスト削減

ホール加速型イオンソース/プラズマブリッジニュートラライザーは、大容量・コンパクト・起動時間短縮・ランニングコスト削減を実現いたしました。 ◆詳細はぜひともカタログをダウンロードしてご覧下さい。