株式会社昭和真空のカタログ一覧

二種類の膜を両面に成膜可能なスパッタ装置

金属を成膜させたい対象物にゴミなどの不純物が混入したら嫌ですよね!？本装置のスパッタ室は常に真空のため安定した成膜が可能です。また、スパッタには不活性ガス(Ar)を使用するので金属ターゲットと気体分子が反応せず純度の高い膜を成膜できます。...

水晶デバイスの周波数調整工程用エッチング装置

SFE-B03-Ⅱ、これを抜きに昭和真空は語れない。ビーム幅100mmにより高速でエッチング、最大で32個の素子を同時に処理できる。タクトタイム0.4s/pcs 以下を実現した。さらに、画像認識システムやロータリーソレノイド機構等の採用により...

二種類の膜を両面に成膜可能

仕込室にトレーをセットすれば後は全自動で成膜！！トレーを複数搭載可能なので大気開放する必要もなく金属膜、または酸化膜(オプション)を一気に成膜します。トレー内・トレー間分布が±1.5%以下、高使用効率カソード搭載、ラック&ピニオン方式採用...

水晶デバイスの周波数調整工程用エッチング装置

近頃は製造工程において、品質向上・生産量UPのために、いかに人の手を加えないかが各メーカーの重大事項となっている。そのトレンドに合わせてバッチ式のSFE-B03-Ⅱをインライン式にしたのがこのSFE-X2012-Ⅱ。移載機等と組み合わせてライ...

TiN、TiAN硬化膜の成膜が可能。

蟹のようなチャーミングな見た目とは裏腹に、硬化膜成膜というお硬い仕事をこなすのが、このSIA-400Tです。アーク放電を起こして高融点金属を溶解、蒸発、イオン化させ薄膜を形成。切削工具や自動車・機械部品の表面を硬化させたい、そんな...

電極膜や酸化膜の成膜に。リフトオフ工程にも対応可。

蒸着材料の入射角が大きいと、どのような問題が起きるのでしょうか？密度が小さくて剝がれやすい膜ができる。所々隙間のある膜ができる。といったことが考えられます。 SEC-22Cには、蒸着材料の入射角を抑える工夫を施しました。 T/...

金属薄膜の研究開発用途から小ロット生産に最適

本装置は抵抗加熱蒸発源を使用して金属材料を成膜する為の真空蒸着装置です。シンプルなバッチ式装置ですが、ご要望に応じて公転ドーム・自公転治具が搭載可能です。また全自動で成膜してくれる便利な装置となります。当社の他装置と比べると設置ス...

主に自動車内装部品・自動車ヘッドランプリフレクターに、装飾膜のコーティングを行なうた...

コンセプトは小ロット・ハイサイクルで稼働できる装置。製品の品質や歩留まりを上げたい、そんな生産現場で使う装置の正解を目指しました。装置の構成や能力など、資料の中で詳しく説明しております。ぜひダウンロードしていただき、ご覧ください。

スパッタリングって何？

「スパッタリング」と聞いたときに真空技術を応用した成膜方法と分かる人は少ないかもしれません。実は、この技術を使用することで「ナノレベル」の薄い膜「薄膜」を作ることができます。また、スパッタした膜の種類によっては、「耐食」や「装飾」など...

基板表面のクリーニング、アッシング処理に！

φ4、φ6インチ基板への残渣除去、表面改質、アッシング処理をするための装置です。コンパクトな設計でウェハー2枚同時処理が可能です。さらに自動搬送機構の搭載で基板の割れ防止、作業時間の削減を実現します！ ◆詳細はカタログをダウンロード...