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粉体スパッタ装置 OCTURE

製品カタログ

粉体の全周にコーティングが可能な装置です

【特徴】
・ 全面成膜を可能にする独自の振動機構
・ 2室構造で絶縁膜・金属膜の成膜に対応
・ 高効率/均一な成膜品質

【用途/実績例】
・エネルギー/電子材料の分野
  全固体電池:正極材及び負極材
  磁性材料:圧粉コア及び電子部品の磁性材パッケージ
・自動車/化学/その他の分野
   金属材料:粉末冶金
   その他:触媒、導電性ペースト、3Dプリント 等

このカタログについて

ドキュメント名 粉体スパッタ装置 OCTURE
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 1.7Mb
登録カテゴリ
取り扱い企業 株式会社昭和真空 (この企業の取り扱いカタログ一覧)