株式会社昭和真空のカタログ一覧

水晶振動子の長寿命化を可能に！安定した膜厚制御を実現

高精度な膜厚監視、成膜レートの制御をするためのコンポーネントです。単層・多層成膜の分光特性のばらつきを抑え、更に設定膜厚との誤差低減を可能にしたことにより、再現性をより向上させます！等価抵抗値を計測する事により即座に水晶振動子のエラー時期...

膜の密着性改善・基板表面のクリーニングに最適

弊社が開発したイオンソースのISGシリーズは膜のイオンアシストから基板の表面改質まで幅広くご使用頂けます。ニュートラライザーを当社独自で改良し確実な着火と長時間の安定放電を可能としており、また、ISGシリーズは広いビーム照射範囲を持ち、 ...

蒸着、スパッタでは困難な高曲率レンズ、ボールレンズへの成膜に最適

ALD装置の新たなラインナップに光学に特化した装置 Genesis-ARが登場複雑かつ3D形状に対応でき、低温(100℃以下)で均一にコーティングすることができます。また、他にも　①従来の成膜技術では難しかったボールレンズ、高曲率レンズにも対...

実基板と同じ設置条件下での温度測定が可能

温度モニターしたい基板に子機を設置し、その子機からリアルタイムに温度が端末に送信されることでお手元のタブレット・PC等で確認することができます。 ①基板温度に敏感なレジスト付き基板や樹脂基板の温度管理に最適　②リアルタイムで測定可能なため急...

LED 光学多層DBR 膜形成用真空蒸着装置

Al膜を使ってLEDの発光効率を高める方法には、限界があります。さらに、Al膜は、LEDに悪さをすることがあります。熱変形による応力で、製品劣化の原因になることも。そこで、DBR(誘電体多層膜ミラー)膜の出番。熱変形による劣化が少なくて済...

ガラス基板、樹脂基板などへ反射防止膜、BPF、LPF、コールドミラー、UV/IRカッ...

20バッチ連続で成膜を実施しても乱れない再現性。真空槽が汚れていても、特性に限らず安定した膜質を得る事ができます。 ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

本装置は樹脂基板に金属膜及び保護膜を成膜するための装置です。

射出成型機と本装置を連動させて成形→金属膜(Al)→保護膜(SiOx)を簡単に全自動成膜！！サイクルタイム80秒(Al:100nm+SiOx:20nm)とハイレートであること、下地いらずであることも魅力です。現在、大型のバッチ式スパッタ重合装...

水晶デバイスの熱処理(アニール)工程用の装置

水晶デバイスの加工時に生じたひずみの除去・電極膜の安定化等、部品の最後の仕上げに必要な加熱処理を行うための装置。加熱棚を5段備えた加熱処理室を2室搭載。また、それぞれの処理室は独立稼働させることができるため、生産の効率化とサイクルタイムの短縮が図...

真空って、宇宙かも？

宇宙って空気が薄いだけの空間じゃない。地球上ではやりづらいことが、宇宙では簡単にできてしまうのです。ただし、宇宙にはそう簡単には行けませんよね。そこで、頼りになるのが真空。地上より圧力が低い空間という点で、実は、真空も宇宙も同じ。...

ホロカソード式イオンプレーティング装置

～工具に硬化膜付けたいけど今の装置では全然付かない～このようなお悩みをお持ちの方に当社のSIH-400Tはいかがでしょうか。ホロカソード蒸発源を使用することにより硬化膜を容易に成膜可能です。さらに導入ガスによって色を変える事も可能で、アクセサ...