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[樹脂基板に早く自動でスパッタしたいお客様へ] SPP-SERIES

製品カタログ

本装置は樹脂基板に金属膜及び保護膜を成膜するための装置です。

射出成型機と本装置を連動させて成形→金属膜(Al)→保護膜(SiOx)を
簡単に全自動成膜!!サイクルタイム80秒(Al:100nm+SiOx:20nm)と
ハイレートであること、下地いらずであることも魅力です。
現在、大型のバッチ式スパッタ重合装置も開発中ですので見学も随時受け付けており
ます。

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このカタログについて

ドキュメント名 [樹脂基板に早く自動でスパッタしたいお客様へ] SPP-SERIES
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 910.2Kb
登録カテゴリ
取り扱い企業 株式会社昭和真空 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

このカタログの内容

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射出成形機連動型高速スパッタ・ 重合システム Injection molding machine linked high speed sputtering / polymerization system SPP-202-H 全樹 Metal films and protective films on resin substrates can be formed fully automatically! 自脂 動基 で板 成へ 膜の 可金 能属 !膜 、保 護 膜 が 【特  徴】 1.全自動:射出成形された基板を全自動で   真空成膜(スパッタリング及び重合)することが可能です 2.サイクルタイム:100秒(A:l 100nm+SiOx:20nm) 3.高い密着度:アンダーコート無しでも高い密着力が得られます [Features] 1. full automatic : Injection molded substrates can be vacuum-deposited (sputtering and polymerization) fully automatically. 2. Cycle time : 100seconds (Al: 100 nm + SiOx: 20 nm) 3. High degree of adhesion : High adhesion can be obtained even without an undercoat. 【対象製品】 自動車ヘッドランプリフレクター/ミラー/金属装飾膜 [Applications] 成型機と接続するタイプもございます Car headlamp reflector / Mirror / Metal decorative film There is also a type that connects to a molding machine
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SPP-SERIES 金属膜 + 保護膜成膜装置Metal and protective film coating system 射出成形機連動型高速スパッタ ・ 重合システム Injection molding machine linked high speed sputtering / polymerization system Al単層膜及び、A(l 100nm)+SiOx(20nm)反射率 Al single layer / A(l 100nm)+SiOx(20nm)reflectance 95 94 93 92 91 90 89 88 87 86 85 84 83 82 PC基板 アンダーコート無し 81 Al成膜後クロスカットして剥離無し 80 79 PC substrate, under coating film less. 78 After coating Al and cutting it to across, a film don’t peel off. 77 76 75 74 PC.AI 73 PC AI+SiOx 72 71 70 350 400 450 500 550 600 650 700 750 800 wavelength[nm] 装置構成 Device configuration 最大基板寸法 W250×L500×D150㎜ Maximum substrate size W250×L500×D150㎜ 基板材質 PC、PET、PP、PEなど ご質問・詳細につきましては、 Substrate material PC,PET,PP,PE etc. 営業部までお気軽にお問合せください。 スパッタレート 10nm/sec以上(Al) Sputter rate 10nm or more / sec (Al) お問合せ先【営業部】 本社・相模原工場 重合rate 1nm/sec 〒252-0244 神奈川県相模原市中央区田名3062-10 Polymerized rate 1nm/sec 排気速度 0.1Paまで40sec(スパッタ室)、10Paまで40sec(重合室) TEL. 042-764-0370 Pumping speed 40sec to 0.1Pa (sputtering chamber), 40sec to 10Pa (polymerization chamber) FAX. 042-764-0377 生産サイクルタイム 基板投入から成膜、重合、取出しまで約100秒以下 E-mail. sales-pamphlet@showashinku.co.jp Cycle time of production from inputting substrate, through coating and polymerized, to output. Approx. 100sec or less https://www.showashinku.co.jp/ 膜性能 反射率85%以上、KOH 1% 10min 昭和真空 検 索 Reflectance 85% or High, KOH 1% 10min ポンプ構成 スパッタ室:RP+MBP+TMP、重合室:RP+MBP(TMPオプション) Inquiry [Sales Dep.] Vacuum system Sputtering chamber: RP + MBP + TMP, polymerization chamber: RP + MBP (TMP option) HQ and Sagamihara Plant 3062-10 Tana, Chuo-ku, Sagamihara-city, Kanagawa 252-0244 Japan SP室+重合室 2室構成 TEL:+81-42-764-0370 FAX:+81-42-764-0377 Chamber system 2 chambers system(sputter chamber and polymerized chamber) スパッタ室 ハイレートカソード(ターゲットサイズ540×240mm)、40kW DC電源 Sputter chamber High rate cathode(target size540×240mm), 40KW DC power supply 本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略 物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国 重合室 グロー放電式重合電極×1 1kW RF電源 外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、 Polymerized chamber Polymerized electrode using glow discharge×1 1kW RF power supply 必要な手続きをお取りください。 This product may be applicable to export control products such as strategic raw materials スパッタ材料 Al等 which are regulated by the Foreign Exchange and Foreign Trade Control Law. Accordingly Sputter Materials Al etc. when you bring out the applicable products outside Japan, you should take a necessary action such as application of an export permit to the Government of Japan. 重合ガス HMDSO(SiOx用)等 Polymerized HMDSO(for SiOx)etc. ◇オプション 基板回転機構 Web site 製品情報ページ ◇ Option Board rotation mechanism 真空中で特定の基板に薄膜を形成させ る装置を主とした、真空蒸着装置やス 新しい成膜方法をお考えのお客様は、ぜひ当社へご相談ください! パッタリング装置等の真空技術応用装 置(真空装置)を製造販売しております。 ※本仕様・外観については、改良のため予告なく変更になることがあります。あらかじめご了承ください。 If you are looking for new film coating technology, Please ask our company! https://www.showashinku.co.jp/product/ * For the improvement of the product, please understand in advance that the specifications and external views are subject to change without prior notice. OEJE13701-1910 Reflectance[%]