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高真空アニール装置 SAF-52T-Ⅱ型

製品カタログ

効率的なサイクルタイム/省スペース化を実現した高真空アニール装置

このカタログについて

ドキュメント名 高真空アニール装置 SAF-52T-Ⅱ型
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 536.9Kb
登録カテゴリ
取り扱い企業 株式会社昭和真空 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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このカタログの内容

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水晶デバイス用装置 SAFシリーズ 高真空 アニール装置 SAF-52T-Ⅱ 効率的な サイクルタイム/省スペース化 内部機構 特徴 1. 本装置は、主に水晶振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去、 電極膜の安定化のための熱処理を行うことを目的として開発された装置です。 2. W460×D350×H35mm の加熱棚が左右計 10 段、170×134mm の標準トレーを 最大 60 枚収納可能です。 3. 独立して稼動可能な処理室を 2 室有しており、生産の効率化、サイクルタイムの 短縮が図れます。
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外観図 タッチパネル図 温度分布データ ※参考値 350 300 250 各棚段の中央部の 2 00 表面温度を測定 1 50 1 00 50 0 0:00 0:10 0:20 0:30 0:40 0:50 1:00 1:10 1:20 1:30 1:40 1:50 2:00 2:10 2:20 2:30 2:40 時間 所要諸元及び性能 ●装置 名 高真空アニール炉 ●性能 ●装置 型式 SAF-52T 到達圧力 -46.7×10 Pa以下(2槽排気) ●寸法 ・重量 排気時間 -3 6.7×10 Pa迄20分(2槽排気)  巾×奥 行き×高さ W1700mm×D900mm×H1700mm 最高温度 300℃  装置重量 1200Kg (試料用トレーの中央部の表面温度) ●所要諸元 常用温度 250℃  所要電力量 3相,200V,22.4KVA(64.7A) (試料用トレーの中央部の表面温度)  所要水 量 入圧:0.3~0.4MPa    差圧:0.2MPa以上 温度調整精度 ±15℃以内 水温:20~25℃(但し、運転中結露無き事) (250℃にて、試料用トレーの中央部の表面温度) 3流量:約0.66m /hr(11L/min) 昇温時間 常温より250℃に達する迄約60分  所要空 圧 供給圧:0.5~0.7MPa    設定圧:0.5MPa 処理数 60枚(ワークトレー170mm×134mmにて)  所要ガ ス 排気系 ターボ分子ポンプ、ロータリーポンプ供給圧:0.2MPa以上   設定圧:0.05~0.1MPa (N2ガス リーク用) 真空計 ペニング真空計×2、ピラニ真空計×2 ※本仕様・外 観については、改良のため予告なく変更することがあります。あらかじめご了承下さい。 お問合せ先 ご質問・詳細につきまして は、営業所までお気軽にお TEL:042-764-0370 FAX:042-764-0377 【営業部 】 問合せ下さい。 E-Mail:sales-pamphlet@showashinku.co.jp 本社・相模原工場 〒229-1124 神奈川県相模原市田名 3062-10 TEL:042-764-0321 URL http://www.showashinku.co.jp 本製品は、 外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、 日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。 IQJ07902-0903 温度(℃)