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スパッタリングとは

ハンドブック

スパッタリングって何?

「スパッタリング」と聞いたときに
真空技術を応用した成膜方法と分かる人は少ないかもしれません。
実は、この技術を使用することで
「ナノレベル」の薄い膜「薄膜」を作ることができます。
また、スパッタした膜の種類によっては、
「耐食」や「装飾」などの機能もあるため
身近な自動車の部品、内装等にも使用されています。
この資料では、スパッタリングの原理とは何なのか。
装置はどのような構造なのか。
図や写真を使用しながら紹介していきます。
真空に触れたことの無い方にも理解していただけるよう作成したので
是非一度ご覧になって下さい。

このカタログについて

ドキュメント名 スパッタリングとは
ドキュメント種別 ハンドブック
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取り扱い企業 株式会社昭和真空 (この企業の取り扱いカタログ一覧)