アクチュエータ
アクチュエータ
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電動スライダ 「EZSHシリーズ」
高速・高精度・ロングストロークの位置決めを実現
αSTEP ARシリーズ、AZシリーズを搭載したTHK製スライダ ■ボールねじ軸の大径化で最大ストローク1300mmのロングストローク ■ステンレスシートによる簡易防塵構造で外部から...
PILine®ピエゾモーター顕微鏡用ＸＹ軸ステージ
M-687
リファレンスクラスのXY顕微鏡ステージ
■ 最高水準の安定性 ■ 0.1μmの分解能 ■ 最大135mm × 85mmのトラベルレンジ ■ 倒立...
コンパクトリニアステージ
U-521
わずか35mm角高さ10ｍｍのコンパクトサイズのリニアステージ
■ わずか35mm角高さ10ｍｍのコンパクトサイズ ■ 最高速度200mm/秒 ■ トラベルレン...
ピエゾマイクリニアアクチュエータ
N-470
PIShift ピエゾモーターを備えたリニアアクチュエータ・低価格で高性能！
■ 保持力>100N ■ ステップサイズ30nm ■ 移動範囲7.4mm ■ コンパクト設計 ■ 軸力22N
NEXACT® 小型ピエゾナノステッピングドライブ
n-310
わずか25×25×12mmのコンパクトサイズ・最大125mmのストローク・10Nのプッシュプルフ...
■ 10～125mmのトラベルレンジ ■ コンパクトでコスト効率に優れた設計 ■ 0.03nmの分...
NEXLINE® ハイパワーピエゾナノステッピングドライブ
n-216
NEXLINE® PiezoWalk®ドライブによるロングストロークと高分解能、高剛性ステージ
■ ストローク：20mm ■ 分解能：0.03nm（オープンループ）、 5nm（クローズドループ...
NEXLINE®ピエゾナノステッピングドライブ
N-111.2
最大10ｍｍのトラベルレンジ・高分解能・最大で50Nの発生力！強磁場での動作にも対応...
■ ストローク10mm ■ オープンループ分解能：0.025nm、 クローズドループ分解能：5n...
高速Z・チップ・チルト開口部ピエゾステージ
S-310～S-316
ミラーシフタ位置あわせ・スキャニング・光学位置あわせに最適！チルトステージ
■ 10mmのセンター開口部 ■ トライポッド型ピエゾ素子設計 ■ 光ビームの偏向～2.4mr...
6軸ロングストロークピエゾステージ
P-587
表面計測において6軸すべてのスキャニングと位置決めが可能！ロングストロークピエゾ...
P-587.6CDは、ピエゾフレクシャ駆動に基づく、独自の高精度6軸スキャニング／ポジシ...
PIMars™ XYZ軸開口部付ピエゾステージ
P-561
66×66mmのセンター開口部は光透過式アプリケーションに最適！最大６軸のカスタマイズ...
PIMars™ピエゾステージは、高速かつ高精度の多軸スキャニング／ナノポジショニングシ...
NanoCubeXYZ軸ピエゾステージ
P-611.3
44mm□ときわめてコンパクト・0.2nmまでの分解能と高速応答！
P-611 NanoCube®ピエゾステージは、用途が広い多軸ピエゾナノポジショニングシステム...
Z・チップ・チルト開口付ピエゾステージ
P-518
多軸・精密制御に最適！１～３軸タイプあり・開口付ピエゾステージ
P-5x8シリーズ、Z／チップ／チルトナノポジショニングステージは、開口型の高分解能...
高剛性Z軸ピエゾステージ
P-733.Z
高 い平面度と真直度が要求される位置決めに最適！Z軸ピエゾステージ
P-733.Zピエゾ垂直ステージは、100μmのポジショニングおよびスキャニングレンジをサ...
PIFOC対物レンズ用ピエゾステージシステム
ND72Z2LAQ
トータルシステムでご提案！顕微鏡用ピエゾシステム
顕微鏡用PIFOC® 対物レンズ用ピエゾシステム 3μm ステップ単位で、広移動範囲や高速...
PIFOC高剛性＆高速対物レンズピエゾステージ
P-726
高分解能を求められる顕微鏡のアプリケーションに最適！
P-726 PIFOC®高剛性＆高速対物レンズピエゾステージは、高分解能が求められる今日の...
PIFOC® ハイダイナミクス対物レンズピエゾステージ
P-725K085
PIFOC®1 軸対物レンズスキャナー
摩擦の無いフレクシャーガイドデザイン。静電容量型センサーによる最高の安定性とリ...
PIFOC®ロングストローク対物レンズピエゾステージ
P-725
～460μmとロングストロークの対物レンズ用位置決めステージ
P725 PIFOC®ナノフォーカスシステムは、ロ ングストローク、高速、ピエゾ駆動の顕微...
高速・高精度開口付ピエゾステージ
P-733.2～P-733.3
透過光アプリケーションに適した50×50mm・高精度XYステージ
P-733 XYおよびXYZピエゾステージは、高速かつ高精度のナノポジショニング／スキャニ...
薄型・大型開口部付きピエゾＸＹステージ
P-541.2
薄型で組み込みが簡単！開口部付きピエゾXYステージ
薄型で、顕微鏡検査アプリケーション用に最適化 P-541/P-542ナノポジショニング／ス...
小型ピエゾステージ
P-611.1
44x44mmのコンパクト設計でナノメートルの精度！超高性能小型ステージ
P-611.1ピエゾステージは、わずか44×44mmのフレクシャガイドナノポジショニングシス...
小型ロングストロークステージ・HERAシリーズ
P-620
高精度・低コスト・小型ロングストロークのPI社HERAシリーズ
PIHera®システムは。ロングストロークで、サイズは極めてコンパクト、高速応答とガイ...
PICA積層リングアクチュエータ
P-010~P-025
高サイクルでも安定性の高いアクチュエータ！センター開口部により透過光アプリケー...
超高精度、高変位量、低消費電力 PICA™ピエゾアクチュエータは、サイクル数の高いア...
PICAプリロード付きアクチュエータ
P-225/P-235
高出力・超高剛性！ダイナミックアプリケーションに最適のアクチュエータ
超高信頼性を備えた高変位 PICA™高出力アクチュエータは、高温の動作条件とサイクル...
PICAプリロード付きピエゾアクチュエータ
P-212~P-216
高出力アクチュエータ・高温の動作条件と高サイクル数のダイナミックアプリケーショ...
超高信頼性を備えた大きな変位置 PICA™高出力アクチュエータは、高温の動作条件とサ...
PICMA積層ピエゾアクチュエータ
P-882~P-885
長寿命アクチュエータ！サブミリセカンド応答・サブナノメートルの分解能
P-842/P-843およびP-844/P-845シリーズピエゾトランスレータは、スタティックおよび...
プリロード付きピエゾアクチュエータ
P-840シリーズ
サブミリセカンド応答・サブナノメートルの分解能の超寿命アクチュエータ
P-840/P-841シリーズは信頼性の高い積層型ピエゾセラミックスで構成され、非磁性ステ...
