多軸開口付ピエゾステージ

P-517~P-527

サブナノメートルの分解能!多軸ステージ

ピーアイ・ジャパン株式会社

高い動作性をもつP-517およびP-527多軸ピエゾナノポジショニングステージは、XYθZ、XY、およびXYZの構成で、リニアストロークが最大200×200×20μm、回転レンジは最大4mradの範囲での位置決めが可能です。66×66mmのセンター開口部は光透過式アプリケーションに最適です。同じサイズのZ/チップ/チルトバージョンとして、モデルP-518、P-528、およびP-558が有り、また、最大6軸のステージ製品があります。

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主な用途 ● メトロロジー
● 干渉計
● 光学
● リソグラフィ
● ナノポジショニング
● 走査型顕微鏡
● マスストレージ装置試験
● レーザーテクノロジー
● マイクロ機械加工
URL http://www.pi-japan.jp/products_category_pztpos_nanopos_3to6.html

ピーアイ・ジャパン株式会社

PI(Physik Instrumente)社はドイツ・カールスルーエを本拠地とし、弊社ピーアイジャパンは、日本で30年以上に渡り、半導体、計測測定、顕微鏡、機械加工、天体観測など様々なお客様に高精度...

〒 212-0013
神奈川県川崎市幸区堀川町580 ソリッドスクエア西館17F

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