P-517~P-527
高い動作性をもつP-517およびP-527多軸ピエゾナノポジショニングステージは、XYθZ、XY、およびXYZの構成で、リニアストロークが最大200×200×20μm、回転レンジは最大4mradの範囲での位置決めが可能です。66×66mmのセンター開口部は光透過式アプリケーションに最適です。同じサイズのZ/チップ/チルトバージョンとして、モデルP-518、P-528、およびP-558が有り、また、最大6軸のステージ製品があります。
主な用途 | ● メトロロジー ● 干渉計 ● 光学 ● リソグラフィ ● ナノポジショニング ● 走査型顕微鏡 ● マスストレージ装置試験 ● レーザーテクノロジー ● マイクロ機械加工 |
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URL | http://www.pi-japan.jp/products_category_pztpos_nanopos_3to6.html |
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