NEXLINE®ピエゾナノステッピングドライブ
N-111.2
最大10ｍｍのトラベルレンジ・高分解能・最大で50Nの発生力！強磁場での動作にも対応可能！
■ ストローク10mm
■ オープンループ分解能：0.025nm、
クローズドループ分解能：5nm
■ プッシュプルフォース～50Nおよび
70Nの保持力
■ 静止時の自動ロック・発熱なし
■ 非磁性および真空対応の動作原理
■ クリーンルーム対応
| 主な用途 | ● 半導体製造 ● 半導体の試験 ● ウェハー検査 ● ナノリソグラフィ ● ナノインプリント ● ナノ計測 ● アクティブ振動ダンピング ● 強磁場での動作 |
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| URL | http://www.pi-japan.jp/products_category_pztdrive_pztlinmotor.html |
企業情報
ピーアイ・ジャパン株式会社
PI（Physik Instrumente）社はドイツ・カールスルーエを本拠地とし、弊社ピーアイジャパンは、日本で30年以上に渡り、半導体、計測測定、顕微鏡、機械加工、天体観測など様々なお客様に高精度...
〒 212-0013
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