NEXACT® 小型ピエゾナノステッピングドライブ
n-310
わずか25×25×12mmのコンパクトサイズ・最大125mmのストローク・10Nのプッシュプルフォースの性能を備えた高性能シリーズ！
■ 10～125mmのトラベルレンジ
■ コンパクトでコスト効率に優れた設計
■ 0.03nmの分解能
■ プッシュプルフォース～10N
■ 低動作電圧
■ 静止時の自動ロック、発熱なし、
ナノメートル精度の安定性
■ 非磁性および真空対応の動作原理
| 主な用途 | ● 半導体製造 ● ウェハーの検査 ● ナノリソグラフィ ● 表面測定手法 ● 側面計測 ● 顕微鏡による検査 ● 強磁場での動作 |
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| URL | http://www.pi-japan.jp/products_category_pztdrive_pztlinmotor.html |
企業情報
ピーアイ・ジャパン株式会社
PI（Physik Instrumente）社はドイツ・カールスルーエを本拠地とし、弊社ピーアイジャパンは、日本で30年以上に渡り、半導体、計測測定、顕微鏡、機械加工、天体観測など様々なお客様に高精度...
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