その他真空ポンプ/真空部品
その他真空ポンプ/真空部品
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【業界事例】シュマルツのIoT対応真空搬送ソリューション
スマートファクトリー化を加速する、シュマルツのIoT対応真空搬送ソリューション。
インダストリー4.0へ向けて、シュマルツがお届けするIoT製品と、その活用事例を紹介いたします。シュマルツのIoT真空機器は、IO-Link・EtherCAT・EtherNet/IPなど主要フィー...
電動吸着ハンド「e-VEE」 × CRX プラグイン対応
タブレットから簡単に「e-VEE」の設定・ティーチングが可能に！
電動吸着ハンド「e-VEE」は吸着搬送に役立つロボット用エンドエフェクタです。このたび、ファナック社の協働ロボット「CRX」との親和性がさらに向上いたしました。プラグイ...
TM Plug＆Play認証取得！電動吸着ハンド「e-VEE」
テックマン社 TM Plug & Play認証取得！簡単に「e-VEE」の設定・ティーチングが可能...
日東工器の電動吸着ハンド「e-VEE」は、テックマン社 TM Plug & Play認証を取得。TM Plug & Playとは、協働ロボットTMシリーズに対応した周辺機器を、簡単に接続・設定・使...
真空吸着技術の基礎知識
真空吸着技術の基礎的な知識と、真空システムを構成する機器についてご紹介
製品のハンドリングでも多く使用される、真空吸着技術について、その基礎的な知識やシステムを構成するために使用される機器についてご紹介します。
自動搬送機向け真空機器総合カタログ Edition10
市場をリードする技術革新から生まれたシュマルツ製品のご紹介
シュマルツは真空機器の専門メーカーとして、幅広い製品をラインアップしています。特徴的な機能と優れた費用対効果によって、装置や製造プロセスの最適化に貢献します。...
スペシャルグリッパー｜自動搬送機向け真空機器総合カタログ ...
マグネット式や非接触式など、特長的な機能を持ったグリッパーをご紹介します。
シュマルツでは、真空パッドを使用した吸着搬送だけでなく、様々な特長を備えたグリッパーをご用意しています。【掲載製品】・マグネットグリッパー・非接触パッド・...
ユニバーサルロボット社URシリーズ向けロボセット
真空吸着ハンドがワンセット・簡易なセットアップを実現！ ユニバーサルロボット社 ...
シュマルツでは、人と作業を行う人協働ロボットに適した真空発生器やロボットハンドを開発しています。さらにそれら機器とロボットフランジや電気接続ケーブルなどの周辺機器が...
安川電機 HC-DTPシリーズ向けロボセット
真空吸着ハンドがワンセット・簡易なセットアップを実現！ 株式会社安川電機 人協働...
シュマルツでは、人と作業を行う人協働ロボットに適した真空発生器やロボットハンドを開発しています。さらにそれら機器とロボットフランジや電気接続ケーブルなどの周辺機器が...
ファナック CRXシリーズ向けロボセット
真空吸着ハンドがワンセット・簡易なセットアップを実現！ ファナック株式会社 協働...
シュマルツでは、人と作業を行う人協働ロボットに適した真空発生器やロボットハンドを開発しています。さらにそれら機器とロボットフランジや電気接続ケーブルなどの周辺機器が...
5相ステッピングモーターPKシリーズ真空タイプ10^（-5）対応[...
■特徴・10^(-5)Paの真空環境下で使用できる5 相ステッピングモーターです。・当社ドライバと組み合わせ可能な5本リード線モーターです。・真空環境装置内で位置決め運転をおこなうことができます。・真空環境装置で回転導入機を使用しないことにより、装置のコ...
真空中の動力源ステッピングモーター真空タイプ
半導体製造装置のスパッタリングや、電子顕微鏡をはじめとする計測機器など、さまざまな用途に多数採用されています。■装置の小型化・コスタダウンに貢献■真空チャンバー内の汚染防止を考慮した設計■取付角寸法・電源入力・真空度によるラインアップ▼詳しく...
5相ステッピングモーターPKシリーズ真空タイプ10^（-4）対応
■特徴・10^(-4)Paの真空環境下で使用できる高トルク・低振動の5相ステッピングモーターです。・真空環境下装置内での位置決めをおこなうことができます。・取付角寸法42mmで3機種、取付角寸法60mmで2機種をご用意しています。・当社ドライバと組み合わせ可能な...
真空クランプの緩みに悩みは御座いませんか？
特許のデュアルロック技術で緩む事が全くなく、初期の締結量が維持出来るクランプを...
従来にはなかった特許のデュアルロック機能を採用し、クランプの緩みを完全に防ぐ事が可能な真空クランプです。相互反対方向に回る1次ネジと2次ネジの組合せで、クランプの...
RC-多段エジェクター
工場内にエアー源さえあれば、ホースを繋げるだけで、簡単に吸引できるエジェクターです
加圧エアーの噴射により真空を作り出す装置で、効率を上げる為に多段構造になっています。◆豊富なポンプモデルをラインナップ◆最高真空圧力：-90Kpa◆詳細はカタログを...
大型角型ゲートバルブ SOLVAT SERIES 06.6
PVセルおよび大型成膜装置用
お客様指定のデザインに柔軟に対応（例: 水冷、加熱プロセスからの保護）◆短い開閉時間による高いスループット◆過酷なプロセスおよび高温用の設計◆バルブのフランジ面間...
ビームストッパー/ ビームストッパーインサート SERIES 79.0...
フォトンストッパー等の多様なアプリケーション用
◆水冷部と真空部との間に溶接部やロー付け部なし◆工業用◆UHV対応◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
緊急遮断シャッターシステム SERIES 77.1 / 77.3
加速器やストレージリングの真空系を突然の大気侵入から保護
◆77.1フラップシャッター/77.3スロットシャッター◆高い信頼性◆メンテナンス不要◆研究機関向け◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
LINVAT大気ドアー SERIES 07.0
半導体製造プロセスにおけるEFEMとロードロックチャンバーの大気側の真空封止に最適
◆シリーズ07.5より更に低発塵性能が向上◆ウェハーに近い駆動機構はグリスフリーを実現◆弁体背面のトーションバー機構による均等なシール性能を有するL字型動作◆アクチュエ...
