質量分析計を使ったデバイスの品質分析、ガス分析についてわかりやすく解説
質量分析とは?あるいは質量分析計を使った真空プロセス質量分析、極微小リーク分析、大気圧サンプリング分析などの分析手法をわかりやすく解説
極微小リークを見逃さない! 高精度質量ガス分析の実現
従来のSUSに代わる真空構造材0.2%BeCuを使用することにより低ガス放出化で 究極な微小リークを検出可能。
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真空の常識を変える全く新しい真空構造材
従来の真空構造材ステンレスに対する0.2%ベリリウム銅合金。熱伝導性が良くガス放出を極限まで抑制します。 半導体製造に必要なクリーンな環境、高精度分析の実現が可能となります。