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【技術資料】広帯域計測をこの1台で_ワイドレンジ真空計_CC-10

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ドキュメント名 【技術資料】広帯域計測をこの1台で_ワイドレンジ真空計_CC-10
ドキュメント種別 製品カタログ
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このカタログの内容

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広帯域計測をこの1台で ワイドレンジ真空計 CC-10 技術資料 東京電⼦株式会社 1 Copyright©2010 Tokyo Electronics Co.,Ltd. All Rights Reserved.
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広帯域計測をこの1台で 1.0×10-7〜1.0×105[Pa] 測定原理の違う真 空計を組み合わせ ることで広帯域の 圧⼒領域測定を可 能にした⾼性能の 真空計 ワイドレンジ真空計 CC-10 2 Copyright©2010 Tokyo Electronics Co.,Ltd. All Rights Reserved.
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CC-10のコンセプト 計測に必要なものはたったこれだけです。 3 Copyright©2010 Tokyo Electronics Co.,Ltd. All Rights Reserved.
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CC-10のコンセプト ・クリスタルゲージとコールドカソードゲージを 組み合わせた複合型の真空計 ・⼤気圧(1E5[Pa])〜超⾼真空（1E-7[Pa]）の12桁に 及ぶ広い範囲を計測可能 ・回路とセンサーが⼀体で、コントローラーの 設置スペースを節減 4 Copyright©2010 Tokyo Electronics Co.,Ltd. All Rights Reserved.
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CC-10の特⻑ ＜操作不要＞ DC24Vを接続するだけで、圧⼒がデジタル表⽰されます。⼤気圧から超⾼真空まで何 の操作も必要なく⾃動計測アナログ出⼒、RS485、セットポイント3点付標準装備 ＜タフで安全なゲージ＞ ⾼真空測定にはB-Aゲージに⽐べて丈夫なコールドカソードゲージを使⽤しています。 ⾼温のフィラメントが無いので安⼼安全漏洩磁場が少ない（DIM⽅式CCG 使⽤） ＜優れた精度と安定性＞ ピラニゲージに⽐べて遥かに安定なクリスタルゲージを⼤気圧から荒引き圧⼒の測定に 使⽤しています ＜イージーメンテナンス＞ ゲージのクリーニング、交換等のメンテナンスが、簡単にお客様ご⾃⾝で可能（分解/ 組み⽴てはわずか1分） ＜アクセサリ、拡張性＞ 外部表⽰器、ACアダプタ、データーロガーソフトをアクセサリで⽤意しています ＜省エネルギ省スペース＞ トランスデューサ型で、省スペース、省配線、省スペース 5
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CC-10の計測範囲 CC-10の計測範囲 6 Copyright©2010 Tokyo Electronics Co.,Ltd. All Rights Reserved.
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CC-10の外観形状 ICF-70タイプ 7 Copyright©2010 Tokyo Electronics Co.,Ltd. All Rights Reserved.
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CC-10の主な仕様 8 Copyright©2010 Tokyo Electronics Co.,Ltd. All Rights Reserved.
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CC-10の構造 センサー部 CC-10本体背⾯ CC-10本体 取外しが容易 センサー部詳細 9 Copyright©2010 Tokyo Electronics Co.,Ltd. All Rights Reserved.
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クリスタルセンサーの特性 CC-10の⼤気圧と荒引圧⼒測定に使⽤しているクリス タルセンサーは⽔晶振動⼦の振動抵抗が圧⼒によって 変化する現象を利⽤して圧⼒を計っています。熱伝導 現象を利⽤したピラニゲージなどに⽐べて抜群の安定 性を持っています。このためにチャンバーを⼤気に戻 す（パージ）時の圧⼒検出に安定して使⽤できます。 （下図に⽰すように±1%以内の繰り返し安定性が得ら れています）また、温度変化に対する安定性も優れて いるために、液体窒素の蒸気などの低温ガスに晒され クリスタル素⼦ ても全く安定に測定ができます。 インピーダンスと圧⼒ ⼤気圧計測の再現性 10 Copyright©2010 Tokyo Electronics Co.,Ltd. All Rights Reserved.
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コールドカソードセンサーの特性 デュアルインバーテッドマグネトロン CC-10の⾼・超⾼真空領域の測定に使⽤してい るコールドカソードゲージはデュアルインバー テッドマグネトロンという放電空間を2つ持つ新 しい構造のCCGです。放電電流が⼤きいため感 度がよく、⾼真空側での計測がより精確になり ます。2つのマグネットは同極同⼠を向かい合わ せていますので漏洩磁場が少なく、周囲の機器 に与える影響が低減します。 11 Copyright©2010 Tokyo Electronics Co.,Ltd. All Rights Reserved.
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P-LOGGER CC-10 データーロガーソフト Product of 真空装置のIoT化︕ 装置の排気特性を⾒える化し 状況をいち早くメールでお知らせします ■真空計の圧⼒データをPCのUSBポートに取込み、圧⼒をリアルタ イムにグラフ表⽰し、またCSVファイルとして記録します。 ■実験開始圧⼒に到達した、あるいは想定した時間内 に規定圧⼒に達しないなどの装置の状況をお使いの スマートフォンやPCへメールで即座にお知らせします ので、装置を離れていても⼤丈夫 スプラッシュウィンドウ_20140320_v001.png ■データ測定中にグラフ上の任意の点にマークを付けてコメント を書き込むことができるので、チャートレコーダーのような使い⽅ が可能です。 ■最⼤16台の真空計まで1台のPCで記録できます。 12 Copyright©2010 Tokyo Electronics Co.,Ltd. All Rights Reserved.
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P-LOGGER CC-10 データーロガーソフト Product of グラフ表⽰ ・スタートボタンを押すだけでデータのグラフ表⽰ が開始します。 ・オートスケールで、時間の経過とともに⾃動的に 桁が拡⼤されるので、操作は不要です。 ・X軸（時間）、Y軸（圧⼒）のズームイン、ズーム アウトが⾃由にできます。スクロールも可能。 ・時間の単位は、秒、分、時間から選択できます。 測定中も⾃由に変更が可能。 ・グラフのコピー、印刷も可能。グラフ描画のラ イン⾊を選択できます。 ・グラフにタイトルやノートを付けることができま す。測定条件などのメモに便利。 13 Copyright©2010 Tokyo Electronics Co.,Ltd. All Rights Reserved.
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P-LOGGER CC-10 データーロガーソフト Product of データーの記録 ・グラフ表⽰だけでなくデータをログファイルとしてリアルタイムに収録保存をします。 ・データはCSV形式で保存されますのでEXCEL等の表計算ソフトで加⼯、解析が可能です。 ・タイトル、測定開始時間、測定条件等のノートがヘッダーとして保存されます。 ・グラフの任意の場所にマークを付けて、その時のイベントや条件などのコメント、ノートを書き込むことができ ます。ノートはログファイルにも記録されますので、実験データの解析の際の参考として役⽴ちます。 14 Copyright©2010 Tokyo Electronics Co.,Ltd. All Rights Reserved.
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P-LOGGER CC-10 データーロガーソフト Product of 装置の排気監視 ・過去のデータや編集したデータをリファレンスデータとしてグラフに同時に表⽰ができます。装置の標準特性をリ ファレンスデータに登録すれば、装置の健全性の判定ができます。 ・時間および圧⼒のセットポイントを複数設定することができます。このセットポイントを⽤いれば、決められた時 間内に設定圧⼒に到達しない場合にアラームを出⼒したり、所定圧⼒に到達した場合の通知を⾏うことができます。 ・セットポイント（圧⼒や時間）に達した時点で任意のアドレスにデータをお知らせメールをする機能がついていますの で、装置から離れて別の仕事をしていても装置の異常や所定圧⼒への到達をいち早く知ることができます。 15 Copyright©2010 Tokyo Electronics Co.,Ltd. All Rights Reserved.
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P-LOGGER CC-10 データーロガーソフト Product of ポータブル 軽量なCC-10真空計はPCと⼀緒に持ち歩くことが容易なので、出先でのデータ収録に便利。 複数のCC-10を同時監視 最⼤16台までのCC-10の圧⼒をRS485経由で取り込み、同時に表⽰、記録、 セットポイントの監視が可能です。 測定ケーブル・コネクタ ・RS-485からUSBに変換してPCに接続。1台⽤通信⽤、複数台時の増設⽤。 ・あとからの増設も可。複数台CC-10でもソフトウェアは1ライセンスで可。 対応OS Windows XP/Vista/7/8/10に対応。 Copyright©2010 Tokyo Electronics Co.,Ltd. All Rights Reserved. 16
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P-LOGGER CC-10 データーロガーソフト Product of 必要な構成品 1台のCC-10通信⽤ 2台⽬以降ののCC-10通信⽤追加構成品（増設1台あたり） Copyright©2010 Tokyo Electronics Co.,Ltd. All Rights Reserved. 17
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CC-10 専⽤アダプタ Copyright©2010 Tokyo Electronics Co.,Ltd. All Rights Reserved. 18
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CC-10 専⽤表⽰器 ⼩型なボディーでパネル組み込みに最適︕ 本体のセットポイントに加えDS-10でさらに3点設定可 専用表示機 DS-10 Copyright©2010 Tokyo Electronics Co.,Ltd. All Rights Reserved. 19
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CC-10の⽤途 実験装置の簡易真空計として DC24Vを接続するだけで⼤気圧から超⾼真空までの計測が⾃動で⾏えます。 CC-10⾃体に圧⼒表⽰がついていますし、オプションのP-LOGGERを使⽤する ことで圧⼒データをPCにグラフ表⽰させることも可能です。 CC-10 CC-10 24VDC ACアダプタ P-LOGGER 100VAC PC 20 Copyright©2010 Tokyo Electronics Co.,Ltd. All Rights Reserved.