東京電子　会社案内

1000兆分の1の世界から1000年先の未来へ 極高真空技術で パルスパワー技術で 1000兆分の１を計る 1000年先の次世代社会を創る 最先端の車載用MEMSセンサーや半導体デバイスなどの品質を 1000年先の未来まで永続的なエネルギーを供給する手段、それは 保持するためには、チップ内部の極微小ガスを計る必要がありま フュージョンエナジー「核融合」です。ウランもプルトニウムも使わない す。 その値は1000兆分の 1。 脱炭素社会の次世代エネルギー。 東京電子は極高真空技術で最先端デバイスが創り出す先進社会を 東京電子はパルスパワー技術で核融合の高周波加熱を起こす加速電源を 支えます。 デバイス破壊分析 造ってます。 核融合装置 Business Field Vacuum Analysis Power Instruments Services Electronics 真空機器 受託質量ガス分析 （破壊・非破壊） 電源装置 ■ 真空計　■ 質量ガス分析計　　　　　　　 ■ プラズマ用パルス電源 ■ 0.2%BeCuチャンバー、フランジ・配管類 ■ デバイスガス分析 ■ 成膜用パルス電源 ■ NEGポンプ　■ 質量ガス分析システム ■ ウエハーガス分析 ■ HiPIMS電源 ■ 真空排気装置 ■ M EM Sガス分析 ■ 加速器用電磁石電源 ■ 核融合用加速電源 フルレンジゲージ 0.2%BeCuチャンバー MEMS用破壊型 CC-10 質量ガス分析システム 東京電子ラボ HiPIMSパルス電源 核融合用加速電源 質量ガス分析計 WATMASS-MPH Histor沿y革 主要顧客 Main customers 1957.06 東京都板橋区前野町 1 丁目１２番 3号において株式会社総合精機研究所設立 2011 .03 北関東事業所開設 【官公庁・大学】 【民間】 .07 第 1 号製品静電気測定器販売開始 2013.03 日本原子力研究開発機構那珂研究所（現量子科学研究開発機構）と ● 宇宙航空研究開発機構 ● 大阪大学 ● 東北大学 ● 株式会社アルバック ● 株式会社昭和真空 ● 萩原テクノソリューションズ 1961 .05 東京電子株式会社に社名変更 ITER計画向け加速電源の開発を開始、核融合ビジネスに参入する。 ● 誠南工業株式会社 　 株式会社 1978.01 自社ブランド真空計第１号機「GI-100」販売開始 2014.09 HiPIMS用パルス電源販売開始 ● 産業技術総合研究所 ● 岡山大学 ● 名古屋大学 ● アズビル株式会社 1987.04 文部省高エネルギー物理学研究所において、加速器トリスタンの建設に寄与し、表彰を受ける 2016.11 極高真空計「3B Gauge」、超低ガス放出残留ガス分析計「WATMASS」 ● 高エネルギー加速器研究機構 ● 九州大学 ● 広島大学 ● SMC株式会社 ● 積水化学工業株式会社 ● 浜松ホトニクス株式会社 1997.04 日本真空工業会入会（正会員） 販売開始 ● TDK株式会社 ● VISTA株式会社 ● 高輝度光科学研究センター ● 京都大学 ● 北陸先端科学技術 ● 京都フュージョニアリング 2005.01 クリスタル／コールドカソード複合真空計「CC-10」販売開始 2017.04 BeCu真空構造材販売開始 ● 株式会社デンソー ● 日立造船株式会社 2006 .12 環境マネジメントシステム ISO-14001 認証取得 2018.02 本社を東京都国分寺市へ移転 ● 日本原子力研究開発機構 ● 筑波大学 　 大学院大学 　 株式会社 ● 高和電氣工業株式会社 ● 株式会社トヤマ ● 株式会社日立ハイテク 2007.02 日本真空協会（現日本表面真空学会）理事選任 .02 埼玉事業所開設 ● 物質・材料研究機構 ● 東京大学 ● 北海道大学 2008.05 2019.09 破壊分析型超高感度質量ガス分析装置販売開始 ● 佐藤真空株式会社 ● 株式会社豊田中央研究所 ● HOYA株式会社 日本真空工業会理事選任 ● 理化学研究所 ● 東京工業大学 ● 三重大学 2010.04 電源事業を開始 2020.03 ITER機構にジャイロトロン用加速電源を納入 ● 三弘エマテック株式会社 ● 日亜化学工業株式会社 ● 株式会社リガク 2010.09 品質マネジメントシステム ISO-9001 認証取得 .11 ミニマルファブ推進機構ファブシステム研究会入会 ● 量子科学技術研究開発機構 ● 東京都立大学 ● 芝浦エレテック株式会社 ● 日本電子株式会社 ● 株式会社レゾナック