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CG-20取扱い説明書

製品カタログ

このカタログについて

ドキュメント名 CG-20取扱い説明書
ドキュメント種別 製品カタログ
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取り扱い企業 東京電子株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

このカタログの内容

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コールドカソードゲージコントローラ CG-20 取 扱 説 明 書 Ver1.0
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目次 目次 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P1 1.各部の説明 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P2 2.仕様 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P3 3.構成 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P3 4.取り付け方法 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P3 5.操作方法 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P4 (1)準備(センサー、センサーケーブル及び電源の接続) ・・・・・・・・・・・・・・・・・P4 (2)測定 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P4 (3)セットポイントの設定 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P5 6.外部入出力コネクタ[I/O] ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P6 (1)ピンアサイン ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P6 (2)内部回路 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P6 (3)詳細説明 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P7 7.アナログ出力特性 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P8 8.注意事項 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P8 9.外観 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P9 1
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1. 各部の説明 【コントローラ前面部】 計測中の圧力値を表示します 圧力変化方向表示 △上昇中 ▽下降中 断線時点灯(赤) x10 Pa セットポイント(SP) の設定値を表示します HV出力時点灯(緑) FAIL SP1 x10 HV SP2 x10 SP状態表示LED 測定値>設定値・・・緑 測定値<設定値・・・赤 HV FUNC ENT COLD CATHODE GAUGE CONTROLLER CG-20 TOKYO ELECTRONICS 「HV ON/OFF」ボタン 「SP設定モード」 数値の変更 レンジの切替 決定・終了 ボタン 【コントローラ背面部】 POWER 電源スイッチ AC100V I/O 電源コンセント HV OUT 1 9 付属の電源ケーブル SENSOR HVがONの時に高電圧(3.0kV)が を接続します 出力されますので注意してくだ さい。 センサーコネクタ 8 15 センサーケーブルを接続 します。 I/Oコネクタ 付属のI/O用コネクタ を接続します 2
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2. 仕様 測定圧力範囲 4.0×10-7~3.0×10-2[Pa] 適用センサー S-360T 高電圧出力 +3.2kV 高電圧出力コネクタ リヤパネル面 SHV コネクタ 対応ケーブル長さ 最大 100m 仕様温度範囲 0~40℃ 湿度 90%以下 表示 デジタル表示 □.□×10-□ 電源 AC85~125V 15W 外部 I/O コネクタ D サブ 15pin メス 外部入力 HV ON/OFF 外部出力 アナログ出力 DC 0~5V (1V/1 桁) セットポイント出力 (2 点) ステータス出力 (HV ON、Fail) 状態表示 HV ON、Fail、セットポイント(SP1、SP2) 重量 1.0kg 外形寸法 96(H)×96(W)×160(D)[mm] 3. 構成 1)本体(コントローラ)・・・・・・・・・1 台 2)付属品 ・電源ケーブル(3m)・・・・・・・・・1 本 ・固定金具・・・・・・・・・・・・・・・・・2 個 ・I/O 用コネクタ・・・・・・・・・・・1 個 ・取扱説明書(本書)・・・・・・・・・1 冊 4. 取り付け方法 装置パネル面への取り付けは、92×92 にカットさ れたパネル全面より本機を挿入し、後方より固定金 具を付け、○+ドライバーでネジを締めることで固定 できます。固定金具は、左右側板の角穴に、爪の部 分を挿入し後方へ引いてから、ネジ締めを行ってく ださい。(図 1参照) *注意* ネジは、強く締めすぎないようにして下さい。ま た、振動の激しい場所に設置する場合は、付属のナ ットにて固定して下さい。 3
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5. 操作方法 (1)準備(センサー、センサーケーブル及び電源ケーブルの接続) ①センサー、センサーケーブル及び電源ケーブルを接続し、[POWER]スイッチを投入して下さ い。(下図参照) *注意* 必ず電源を切った状態でケーブル等を接続してください。特にセンサーコネクタは、高電圧 (3.0kV)の出力する恐れがありますのでご注意下さい。 POWER 電源ケーブル AC100V I/O HV OUT 1 9 SENSOR センサーケーブル 8 15 SHV-SHVコネクタの ケーブルをご用意くだ さい 図2. 接続方法 (2)測定 ①接続後に、 HV を押すと高電圧が出力され 3秒後に測定を開始します。 (I/O コネクタのリモート HV ON/OFF でも同様に行えます。) この時、I/O コネクタの④-⑫間がトランジスタ ON します。(HV ステータス出力) ②圧力値は、「仮数 2桁(1.0~9.9)+指数(-7~-2)」と表示され直読できます。また、圧力変化 の方向性を△、▽で表しています。 ③測定範囲外においては、下限以下では「4.0×10-7」、上限以上では「3.0×10-2」が固定表示とな ります。 ③また、圧力が3.0×10-2[Pa]以上になると「3.0×10-2」が点滅し、Fail のランプが点灯(赤)し、 HV が OFF します。(Fail 状態) この時、I/O コネクタの⑤-⑬がトランジスタ ON します。(FAIL ステータス出力) *補足* a. Fail 状態は、 HV を押して解除します。(電源 OFF でも解除できます。) 4
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(3)セットポイントの設定方法 セットポイント 1、2(以下 SP1、SP2)の設定値は、計測範囲内において自由に設定可能です。 ① FUNC を押すと設定値変更モードに入ります。この時、SP1 の数値の一つが点滅します。 ②数値の変更は、 5 で行います。 ③レンジの変更は、 4 で行います。 ④上記の②、③を繰り返して希望の設定値が入力できたら、 ENT を押して確定してください。 ⑤圧力値>設定値の場合には、SP1、SP2 の状態表示 LED が「赤」になります。この時、I/O コネ クタの②-⑩ (SP1) 、③-⑪(SP2)間が接点オープンします。 圧力値≦設定値の場合には、SP1、SP2 の状態表示 LED が「緑」になります。この時、I/O コネ クタの②-⑩ (SP1)、③-⑪(SP2)間が接点クローズします。 *補足* a. 4 や 5 は、FUNC を押しながら押すと、逆送りとなります。 b. ENT は、FUNC を押しながら押すと、設定値を変更せずに元の状態に戻ります。 c.誤って FUNC を押してしまった場合、 ENT を押してください。また、 FUNC を押した後、 10 秒程度操作がない場合は、自動的に元の状態に戻ります。 計測中の圧力値を表示します 圧力変化方向表示 △上昇中 ▽下降中 断線時点灯(赤) x10 Pa セットポイント(SP) の設定値を表示します HV出力時点灯(緑) FAIL SP1 x10 HV SP2 x10 SP状態表示LED 測定値>設定値・・・緑 測定値<設定値・・・赤 HV FUNC ENT COLD CATHODE GAUGE CONTROLLER CG-20 TOKYO ELECTRONICS 「HV ON/OFF」ボタン 「SP設定モード」 数値の変更 レンジの切替 決定・終了 ボタン 図3.フロントパネル 5
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6. 外部入出力コネクタ[I/O] (1)ピンアサイン 表 1.ピンアサイン ピン No 信号 1 アナログ出力(+) (INPUT) 9 アナログ出力(-) (INPUT) 2 セットポイント 1 出力 (OUTPUT) 10 3 セットポイント 2 出力 (OUTPUT) 11 4 HV ステータス出力 (OUTPUT) 12 5 FAIL ステータス出力 (OUTPUT) 13 6 リモート HV ON/OFF(+) (INPUT) 14 リモート HV ON/OFF(-) (INPUT) 7,8,15 N.C 使用しません *ケーブル側適合コネクタ:Dサブコネクタ 15pin オス(付属品) (2)内部回路 1 + アナログ出力 9 - I/O 2 10 セットポイント1出力 1 9 3 セットポイント2出力 11 4 HVステータス出力 8 15 12 5 13 FAILステータス出力 内部+5V 6 リモートHV ON/OFF 14 図4. I/Oコネクタ内部回路 6
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3)詳細説明 ①リモート HV ON/OFF 内部+5V I/O コネクタの⑥-⑭間に 300ms 以上の瞬時無 電圧接点を加えることにより、リモートで HV 6 の ON/OFF 制御が行えます。 14 ← 瞬時無電圧接点 図5. リモートHV ON/OFF内部回路 ②セットポイント出力/ステータス出力 圧力値>設定値の場合には接点オープンします。 2 圧力値≦設定値の場合には接点クローズします。 セットポイント1出力 10 3 セットポイント2出力 接点の容量は、 11 DC24[V]、1.0[A] となっております。 図 6.セットポイント 1、2 内部回路 4 HV ON の時、トランジスタ ON します。 12 HVステータス出力 5 FAIL の時、トランジスタ ON します。 13 FAILステータス出力 図 7. HV ステータス/FAIL ステータス 内部回路 出力形式はエミッタコモンのオープンコレクタ出力です。 トランジスタの容量は コレクタ・エミッタ間の最大電圧は 80[V] 最大コレクタ電流は 50[mA] となっております。 7
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7. アナログ出力特性 リヤパネルのI/Oコネクタ①-⑨より出力されるアナログ出力は、表1のようになっております。 計測領域における圧力-電圧換算式は、圧力を P[Pa]、アナログ出力を V[V]とすると、 V=logP+6.5V ⇔ P=10(V-6.5) となります。 表2 アナログ出力特性 6 5 4 3 2 1 0 1.0E-07 1.0E-06 1.0E-05 1.0E-04 1.0E-03 1.0E-02 1.0E-01 圧力(Pa) 8. 注意事項 (1)セットポイント出力は、必ず接点容量以下でご使用下さい。容量以上で使用した場合、機器が 破損いたします。(接点容量:DC24V、1.0A) (2)リヤパネルの[SENSOR]コネクタは、HV が ON の時に 3.0[kV]の高電圧を出力しますので、取り 扱いには十分注意して下さい。 8 出力電圧(V)
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9. 外観 □96 160 □90 POWER x10 Pa FAIL SP1 x10 AC100V I/O HV SP2 HV OUT x10 1 9 SENSOR HV FUNC ENT 8 15 COLD CATHODE GAUGE CONTROLLER CG-20 TOKYO ELECTRONICS 9