このカタログについて
| ドキュメント名 | 『受託サービス：質量ガス分析』分析システムのご案内 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 529.8Kb |
| 取り扱い企業 | 東京電子株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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スライド番号 1
XHV Products for extreme high vacuum
極高真空（XHV）製品
デバイスの品質管理・工程解析に貢献
～残留ガス・放出ガスを受託分析します～
アプリケーション例（蓄積法）
破壊分析
●半導体チップの各積層間の残留・放出ガス測定
●半導体ウェハ基板からのガス放出測定
●MEMSデバイスチップ内の残留ガス測定
非破壊分析
●封止デバイスのリークテスト・放出ガス測定
質量ガス分析装置
受託分析サービスを行います！
当社のラボでサンプルをお預かりして
分析サービスを行います。
・プロセス評価
・デバイスの品質管理、品質解析
・分析装置導入前の評価、条件出し
東京電子Lab
東京電子株式会社
本社〒185-0012 東京都国分寺市本町 2-22-7 TEL 042-329-5090 FAX 042-329-5091 E-mail : sales@toel.co.jp