スパッタリング装置のカタログ一覧 | Apérza Catalog（アペルザカタログ）

研究開発の加速から小規模生産までを実現します

当社S600/S800装置のユニットが搭載可能な小型スパッタリング装置

多層・積層成膜プロセスの改善により電子デバイスの品質強化と生産性向上に貢献します

φ6インチ基板まで成膜処理可能なロータリ式多層膜スパッタリング装置

多層・積層成膜プロセスの進化により先端デバイスのモノづくり強化に貢献します

φ8インチ基板まで成膜処理可能なマルチチャンバ式多層膜スパッタリング装置

CLUSTERLINEファミリー　ウェハーからパネルまで対応

『CLUSTERLINE』は、基板サイズに応じて名前が付けられたプラットフォームのファミリーです。すべてのプラットフォームは、カセットからカセットへの処理と完全に自動化され...

大型パネル向け成膜装置　CLUSTERLINE 600

「CLUSTERLINE600」は、大型パネル向けに特化したPVD成膜装置。すべてのプラットフォームは、カセットからカセットへの処理と完全に自動化された処理を備えたクラスターア...

縦型スパッタリング装置『LLS EVO II』

『LLS EVO II』は、縦型で動的なコンセプトを備えた多用途のバッチ式スパッタリングシステムで、最大5つの異なる材料に対応し、基板ロードチャンバーとプロセスチャンバー(LC、P...

高速ウェハー成膜装置　HEXAGON

『HEXAGON』は、FOWLPなどの用途で非常に低いコストオブオーナーシップで大気圧の脱ガス、エッチング、メタル成膜を提供する量産専用のウェーハレベルパッケージングのプラット...

当社流量計は液晶パネル製造装置の冷却水配管に使われています。液晶パネルの製造工程

スパッタリング装置