P-733.Z
高 い平面度と真直度が要求される位置決めに最適!Z軸ピエゾステージ
P-733.Zピエゾ垂直ステージは、100μmのポジショニングおよびスキャニングレンジをサブナノメーターの分解能で提供します。50 ×50mmのクリアアパーチャは、走査または共焦点顕微...
P-517~P-527
サブナノメートルの分解能!多軸ステージ
高い動作性をもつP-517およびP-527多軸ピエゾナノポジショニングステージは、XYθZ、XY、およびXYZの構成で、リニアストロークが最大200×200×20μm、回転レンジは最大4mradの範囲...
P-518
多軸・精密制御に最適!1~3軸タイプあり・開口付ピエゾステージ
P-5x8シリーズ、Z/チップ/チルトナノポジショニングステージは、開口型の高分解能ピエゾ駆動ステージで、最大200μmおよび2.4mradの動作範囲と、最大0.5nmおよび50nradの分解能...
P-611.3
44mm□ときわめてコンパクト・0.2nmまでの分解能と高速応答!
P-611 NanoCube®ピエゾステージは、用途が広い多軸ピエゾナノポジショニングシステムです。100×100×100μmのポジショニングおよびスキャニングレンジを、わずか44×44×44mmのきわ...
P-561
66×66mmのセンター開口部は光透過式アプリケーションに最適!最大6軸のカスタマイズも...
PIMars™ピエゾステージは、高速かつ高精度の多軸スキャニング/ナノポジショニングシステムで、ナノメートルレンジの平坦度と直進度を誇ります。66×66mmのセンター開口部は、ニ...
P-587
表面計測において6軸すべてのスキャニングと位置決めが可能!ロングストロークピエゾス...
P-587.6CDは、ピエゾフレクシャ駆動に基づく、独自の高精度6軸スキャニング/ポジショニングステージです。800×800×200μmのリニアストロークレンジと最大8mradの回転レンジを誇...
S-310~S-316
ミラーシフタ位置あわせ・スキャニング・光学位置あわせに最適!チルトステージ
■ 10mmのセンター開口部 ■ トライポッド型ピエゾ素子設計 ■ 光ビームの偏向~2.4mrad ■ 最大12μmのピストン動作(位相シフタ) ■ サブミリセカンドの応答、 サブマイクロラ...
S-334
小型ながら大きな偏向角が可能!チルトピエゾミラーステージ
■ コンパクト設計 ■ 光ビームの偏向~120mrad(~6.8°) ■ 同一平面回転軸と固定ピボットポイントが 分極回転を回避 ■ ミラーは工場取り付け済み ■ ミリセカンドの応答、0....
S-330
分解能~20nrad、優れた位置安定性を約束!チルトピエゾステージ
■ 分解能~20nrad、優れた位置安定性 ■ 光ビームの偏向~20mrad(>1°) ■ パラレル制御設計によるダイナミクス、安定性、 およびリニアリティの向上 ■ 同一平面回転軸と固...
N-111.2
最大10mmのトラベルレンジ・高分解能・最大で50Nの発生力!強磁場での動作にも対応可...
■ ストローク10mm ■ オープンループ分解能:0.025nm、 クローズドループ分解能:5nm ■ プッシュプルフォース~50Nおよび 70Nの保持力 ■ 静止時の自動ロック・発熱なし ■ ...