【技術資料を無料ダウンロード】耐久試験・超精密ステージに使える空圧サーボ弁

空圧制御におけるハンチングを止め、目標の圧力を瞬時に保ちます。耐久試験や超精密ステージの仕様向上に貢献する空圧式のサーボ弁です。半導体を製造する露光装置の除振台において、世界トップクラスのシェアを誇る信頼の技術が活かされています。

「空気圧だから仕方がない」と、制御の精度を諦めていませんか？これまでの空気圧制御の常識を覆す、具体的な4つの解決シーンを解説します。

本製品が備える、摺動部を持たない独自の構造が、ミリ秒単位の追従性を生み出します。

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【耐久試験】急激な負荷変化によって、試験対象物が破損してしまう【押圧制御】レスポンスが遅いために、工具の押し付けムラが発生する【超精密ステージ】空気圧特有の剛性不足によって、ステージ静止までの待ち時間が生じる【精密吐出】吐出弁の微小な遅れによって、液垂れや塗布ムラが起きてしまう【超低圧検査】燃料電池などの検査において、100Paレベルの超低圧を制御したい【真空制御】真空炉などの圧力維持において、微小流量時の空気漏れを根絶したいその他　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

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日本ムーグ株式会社

Moog Inc.（ムーグ）は、精密制御機器/システムの設計、製造、構築を世界規模で展開する企業です。ムーグの高性能システムは、航空機、人工衛星、宇宙船、打ち上げロケット、一般産業用機械、風力発電機、...

〒 254-0019
神奈川県平塚市西真土1-8-37

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