MAG ｜ 【MAG series】マグネトロンスパッタリングカソード

【MAG series】マグネトロンスパッタリングカソードの製品概要

不純物なく金属・絶縁物等を堆積するRF, DC, パルスDC対応高効率マグネトロンスパッタカソード。メンテナンス性にも優れます。

【特徴】
・高真空対応
・Φ2inch、Φ3inch、Φ4inchサイズ
・クランプリング式を採用、ボンディングが不要
・メンテナンス性に優れ、容易にターゲットの交換が可能
・シャッター、チムニーポート、ガスインジェクション、磁性材用高強度マグネット、などのオプションが豊富
・各種フランジサイズ接続に対応
【主仕様】
■RF, DC, パルスDC対応
■ターゲット厚さ：1/16"〜1/4"
■N型同軸コネクター接続
■水冷式：4ℓ/min, 0.35Mpa Φ6mmチューブ接続
■ケース材質：SUS304
■ターゲットクランプ材質：Al, or SUS304
■ベローズ（*Flexi-headタイプ）材質：SUS316
■絶縁材：PEEK/PTFE
■シール材：Viton
■高強度マグネットパック：NiFe

【モデル】
・MAG-BP（ベースポートマウント
・MAG-250T-FXH（Φ3/4" x 250mmパイプ、フレキシブル傾斜ヘッド±45°）
・MAG-250T（Φ3/4" x 250mmパイプマウント）
・MAG-ISO（ISO-Kタイプフランジ接続）
・MAG-CF（CFフランジ接続）

この製品の利用用途

半導体・電子基板などの各種真空薄膜実験、研究開発用スパッタリング装置