【MiniLab-026】フレキシブル薄膜実験装置

開発元：Moorfield Nanotechnology社（英） MiniLab-026フレキシブル薄膜実験装置 小型26ℓ容積 SUS304’Clam-Shell’型チャンバー 抵抗加熱蒸着源 x4源 , 有機材料蒸着源 x4源搭載 マグネトロンスパッタリング（Φ2inchマグネトロンカソード最大3源） グローブボックス組込も可能（MiniLab-026-GB） Φ4～6inch用加熱ステージ , RFエッチングシステムも製作致します。 ●TE1蒸着源 x 2源 ● LTE1有機材蒸着源 ● マグネトロン, TE1蒸着源 ● RFエッチ（左）, 加熱ステージ（右） テルモセラ・ジャパン株式会社 MiniLab 026 Thin Film Flexible Deposition System

MiniLab-026 System Feature 概要・装置特徴 【MiniLab（ミニラボ）】とは・・・ 【MiniLab-026小型薄膜実験装置】特徴 モジュラー組立式により” Plug-and-Play” 感覚で、必要な MiniLab-026 は、シリーズ最小の小型薄膜実験装置です。 モジュールを組合わせることにより構成された装置です。 抵抗加熱蒸着源（金属 / 絶縁物蒸着源最大 x2, 有機源最大 その為部品交換・アップグレードの際に大掛かりな改造を x4）,蒸着コントローラ「TE1」～「TE4」,「LTE1」～「LTE4」 必要とせず最小限度の部品交換・調整作業により対応する を組合せ、自動、又は手動制御を行います。スパッタカソード ことが可能です。又、各ユニット種類が豊富である為、製作 （最大 3源）, シャッター、膜厚計、真空計、基板加熱・バイアス・ 範囲も幅広く、抵抗加熱蒸着・スパッタ・CVDなど多岐に 昇降・回転ステージ , ドライポンプなど豊富なオプションも 渡ります。研究開発用に多目的に活用いただけるコストパ 用意。又、026はグローブボックスにも収納でき、酸素・水分 フォーマンスに優れた薄膜実験装置です。 に晒さず全て管理雰囲気内で操作可能なシステムも提案致 MiniLab-026 Deposition Sources 成膜モジュール モジュラー組立式により構成されるMiniLab装置は、セミカスタムメイドの装置です。お客様の要望に合わせ都度構成を練り積 算～見積り、製造をしております。まずはご要望の薄膜プロセス条件：成膜モジュール構成～制御方式～オプションをご指示下 さい。ご要望に合わせた装置構成をご提案致します。 トップフランジ（”Clam-shell”型） 金属蒸着源（最大4源） 026チャンバーは「デポアップ」のみとなります。 トップフランジにステージ、ヒーター、シャッターを搭載します。 TE1：電極x1 TE2：電極x２ TE3：電極x3 TE4：電極x4 TE1-Box：電極x1（ボックスシールド付） バスケット ボート ロッド 有機材料蒸着源（最大4源） LTE-5cc用るつぼ LTE-1cc用るつぼ （15cc） （2.4cc） LTE-5cc, 1cc マグネトロンカソード（Φ2”カソード x 最大3源） 蒸着コントローラー 操作HMI 標準は、MiniLab制御ソフトエウア”Intellidep”を タッチパネルスクリーンで制御します。 Windows PCを組込、PCで Intellidepを制御する TEC-1：TE金属蒸着源1ch制御 LTEC-1：LTE有機蒸着源1ch制御 オプションもございます。 TEC-4：TE金属蒸着源4ch制御 LTEC-4：LTE有機蒸着源4ch制御

MiniLab-026 System Specification 基本仕様 到達真空度 5x10-5Pascal 電源 200V三相 50/60Hz 13A チャンバーサイズ Φ305（内径）x 350(H) mm SUS304 製 冷却水量 3ℓ/min, 4bar 18-20℃ 基板サイズ Φ1～4inch（Φ6inch 応相談） プロセスガス 25psi, 純度 99.99%推奨 真空排気 ターボ分子 , ロータリーポンプ ベントガス 0.5ba（r N2） 真空計 WRGピラニーゲージ 圧縮空気 60～80ps（i N2, Ar, 又はドライエア） インターフェイス 7”タッチパネルHMI 装置寸法 590(W) x 590(D) x 1,050(H) mm インターロック 冷却水量 , ガス , 真空度 重量 約 100～200kg（ * 構成により異なる） MiniLab-026 Options オプション ビューポート Φ70mm前面ポート 冷却ステージ LN2, Glycol, ペルチェ冷却（*仕様要協議） 高精度真空計 キャパシタンスマノメーター 補助排気ポンプ ドライスクロールポンプ APC/ 自動成膜制御 ゲートバルブ+薄膜コントローラ PID自動制御 インターフェイス Laptop PC（Windows） シャッター 蒸着源用 /基板用 膜厚計 水晶振動子膜厚モニタ 回転 /上下昇降機構 30段階回転速度切替 , 上下位置制御 基板ホルダー 特殊サンプルホルダー（*仕様要協議） 基板加熱ステージ Max500℃ハロゲンランプ マスフロー MFC x 最大 3系統（協議の上対応致します） 高温基板加熱 Max1000℃：C/Cコンポジットヒーター スパッタ制御機 RF/DC電源 , マッチングユニット , 基板バイアス ※小型チャンバーの為、成膜モジュール、オプションの組合せには制限があります。当社までお問い合わせ下さい。 ・金属蒸着源 TE1 Box型の場合：最大 2源 ・金属蒸着源 TE1 Boxと有機蒸着源 LTEの場合：TE1 x 2, LTE x 2 ・有機蒸着源 LTEのみの場合：最大 4極（TE4） ・マグネトロンカソードΦ2inchと TE1 Boxの混在：各 1台 ・マグネトロンカソードΦ2inchのみの場合：最大 3源 MiniLab-026-Etch/Anneal Station MiniLab-026 エッチング・アニール・ステーション MiniLab-026型にRF/DCエッチングステージ と加熱ステージを組込んだシステム”Etch/Anneal Station”を追加しました。 Manchester大学の協力による , グラフェン /Nanotube/TMDCデバイス装置開発で培った”Soft-Etching”技術と、均一性 に優れた加熱ステージを組込むことにより , MiniLabシリーズの可能性を広げました。加熱ステージはランプヒーター , CCコ ンポジット , SiCコーティングを用意。目的により最高 1000℃までの均一加熱を可能にします。装置本体型式は 19”ラック式ス タンドアロン型 ,もしくはGB組込式の２機種 , Etch&Anneal,Etch又は Annealの組合せいずれも構成可能です。 ●【 エッチングステージ：RF, DC】 ●【 基板加熱ヒーターステージ：Max1000℃】 - ハロゲンランプヒーター：Max500℃ - C/Cコンポジットヒーター：Max1000℃ - SiCコーティング・グラファイトヒーター：Max1000℃

MiniLab-026 System Control Software ’Intellidep’ ’Intellidep’ソフトウエア “Intellidep” は、MiniLab series全てに共通した操作ソフトウェアです。簡単なタップ（クリック）操作でどなたでも真空引き～ プロセス実行～ベントなどの装置操作、レシピ作成編集、システム解析・データ保存などの一連の操作ができます。取扱説明書 を読まなくても直感的に操作できる様，使いやすさに配慮しています。 ● 7inch高解像度タッチパネルスクリーン操作（*Windows PC操作オプション有り） ● Windows PC操作（PC用”Intellinet”ソフトウエア付属）、データロギング・USB接続データ出力保存 ● 最大 50フィルムレシピ・1000レイヤー・1000プロセスまで作成登録が可能 MiniLab-026/090-GB Glovebox-comaptible system for atmosphere sensitive applications. MiniLab-026/090 グローブボックス式薄膜実験装置 MiniLab シリーズのチャンバー部をグローブボックス作業ベンチ内に収納した装置です。制御ラック部をベンチ下に収納、ラ ボ内の限られたスペースを有効活用できる、スパッタ・真空蒸着などの成膜装置とグローブボックス設置エリアを一体化した 省スペース装置です。 ・対応機種：MiniLab-026（チャンバー容積 26ℓ）及びMiniLab-090（容積 90ℓ） ・成膜モジュール： 抵抗加熱蒸着 , スパッタ,電子ビーム蒸着（*090）, CVD（*090）, RF/DCエッチング , アニール ・作業エリア内雰囲気：N2, Ar, He, CDAなど ● 省スペース：グローブボックス本体寸法内に成膜装置が収まります。 ● 成膜後の試料を大気（成膜プロセス雰囲気外）に露出せずにGBで作業を行うことができます。 ● MiniLabを収納したGBシステムをパスボックスで連結し、増設することも可能です。 テルモセラ・ジャパン株式会社 〒103-0027 中央区日本橋3-2-14 新槇町ビル別館第一2F Tel:03-6214-3033 www.thermocera.com E-mail sales@thermocera.com Copyright© 2020. Thermocera Japan Ltd. All Rights Reserved World Wide.