【Mini-BENCH 】超高温卓上型実験炉 Max2000℃

Mini-BENCH 超高温卓上型実験炉 Max 2000℃ ● 真空中 ● 不活性ガス置換雰囲気 ● 還元雰囲気 大学・研究機関の基礎実験に最適な、コンパクトサイズ超高温実験用カーボン炉・メタル炉です。 最小構成（ヒーター・チャンバー・温度制御）から、ご予算・目的に応じて最適なシステムをご 提案致します。ご要望に合わせて特注仕様も製作致します。 省スペース： 328(W) x 220(D) x 250(H)mm* *Φ2inchの場合 *加熱範囲によりチャンバー外形寸法異なります） 円筒ヒータ（坩堝用）・面状ヒータ（Φ1”～Φ4”基板用） フレキシブルな装置構成：ご予算に応じた装置構成をご提案致します。 (A)チャンバー + Mini-BENCHコントロールボックス (B)チャンバー + Mini-BENCHコントロールボックス + 真空排気ユニット ● 面状ヒーター ● 円筒状ヒーター ● 温度制御ユニット 真空・ガス置換炉（カーボン炉） 主仕様 還元雰囲気炉（メタル炉） 主仕様 最高使用温度 Max2000℃（カーボン炉） 最高使用温度 Max2000℃（メタル炉） ヒーター グラファイト, 又はC/Cコンポジットヒーター ヒーター タングステンヒーター 断熱材 グラファイトフェルト材 断熱材 タングステン、モリブデン多層ヒートシールド 真空チャンバ SUS304水冷ジャケット構造 真空チャンバ SUS304水冷ジャケット構造 使用雰囲気 真空中、又は不活性ガス（Ar） 使用雰囲気 真空中、不活性ガス（Ar）、還元性ガス（H2, He等） 有効加熱範囲 Φ1”～Φ4（” 面状ヒーター） , Φ50 x 100(H)mm（円筒ヒーター） 有効加熱範囲 Φ50 x 100(H)mm（円筒ヒーター） 到達真空度 1x10-2 Pasca（l *但し空炉の状態） 到達真空度 1x10-2 Pasca（l *但し空炉の状態） 真空ポンプ ロータリーポンプ（オプション：ドライポンプ, 高真空ポンプ） 真空ポンプ ロータリーポンプ（オプション：ドライポンプ, 高真空ポンプ） 熱電対 Cタイプ熱電対付属 熱電対 Cタイプ熱電対付属 容量・冷却水 ヒータ容量：3KVA max, 冷却水：2ℓ/min 0.4Mpa 容量・冷却水 ヒータ容量：*13KVA max, 冷却水：2ℓ/min 0.4Mpa  R&D high temperature furnace

外形寸法・各部名称 ● Φ1～2inch用チャンバー ● Φ3～4inch用チャンバー ※面状ヒーターの場合の参考図面です。円筒ヒーター、および坩堝の仕様により上記寸法と異なる場合があります。 予備ポート チャンバーアーム リニアモータードライブ駆動 15PIN D型 水冷ジャケット式チャンバー サーモスタット（N.C.） 流量スイッチ リニアモータードライブ（24VDC） 冷却水 OUT ガス IN/ソレノイド弁（24VDC） 冷却水 IN 過圧安全バルブ 熱電対（Cタイプ）コネクタ NW16真空排気ポート ヒーター電極 真空排気系（*オプションB構成の場合） Mini-BENCHコントロールボックス 真空ポンプ ロータリーポンプ RV3（Edwards社製 3m3/hr） 寸法 260(W) x 330(D) x 200(H)mm *部品構成により変更有り。 真空計 サーモカプル真空計（200Pa～5x10-1Pa バーグラフ表示） 温度調節計 プログラム温度調節計 バルブ類 手動ベローズバルブ, 手動リークバルブ（RPリーク用） 操作端 サイリスタレギュレータ、又はSSR 真空配管 25A, SUS304, RP用フレキシブルホース 外部配線 背面端子台接続 架台 キャスター, アジャスター付属 制御電源 DC電源、又は外付トランス（保護ボックス付） ピラニー真空計（大気圧～5x10-2Pa） 計器類 電流計・電圧計（フロントパネル配置） オプション ドライスクロールポンプ スイッチ類 チャンバー開閉スイッチ（Lid Open/Closeボタン）, ヒーターSW 高真空ポンプ 付属ケーブル 電源ケーブル, ヒーターケーブル, 熱電対保証導線（Cタイプ用） ※「真空排気系」はオプションです。

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