【MiniLab-090】フレキシブル薄膜実験装置

MiniLab 090 Thin Film Flexible Deposition System 開発元：Moorfield Nanotechnology社（英） MiniLab-090フレキシブル薄膜実験装置 グローブボックス仕様80ℓ容積 SUS304トールチャンバー：400（W) x 400(D) x 570(H)mm 抵抗加熱蒸着源x4源, 有機材料蒸着源x4源 マグネトロンスパッタリング（マグネトロンカソード最大4源） 電子ビーム蒸着

MiniLab-090 System Feature 概要・装置特徴 【MiniLab（ミニラボ）】とは・・・ 【MiniLab-090フレキシブル薄膜実験装置】特徴 モジュラー組立式により ”Plug-and-Play” 感覚で、必要な 80ℓ容積 高さ570(H)mm SUS304製トールチャンバー。 モジュールを組合わせることにより構成された装置です。 蒸着時の均一性確保に十分な長さのT/S距離,グローブボッ その為部品交換・アップグレードの際に大掛かりな改造を クスにフィットする前面スライドドア, メンテナンス用背面ドア 必要とせず最小限度の部品交換・調整作業により対応する 等開発者の立場に立ったユーザーフレンドリー・ハイエンドシ ことが可能です。又、各ユニット種類が豊富である為、製作 ステム。抵抗加熱蒸着,EB蒸着,RF/DCマグネトロンスパッタ 範囲も幅広く、抵抗加熱蒸着・スパッタ・CVDなど多岐に ,ドライエッチ,CVD,アニールなど多彩な成膜モジュールの組 渡ります。研究開発用に多目的に活用いただけるコストパ 込が可能。回転・昇降,冷却ステージ,ロードロック機構などオ フォーマンスに優れた薄膜実験装置です。 プションが豊富。 MiniLab-090 Chamber, Deposition Modules チャンバー・成膜モジュール モジュラー組立式により構成されるMiniLab装置は、セミカスタムメイドの装置です。お客様の要望に合わせ都度構成を練り積 算～見積り、製造をしております。まずはご要望の薄膜プロセス条件：成膜モジュール構成～制御方式～オプションをご指示下 さい。ご要望に合わせた装置構成をご提案致します。 ● 金属蒸着源（最大4源） ● 有機材料蒸着源（最大4源） TE1：電極x1 TE2：電極x２ TE3：電極x3 LTE-5cc用るつぼ LTE-1cc用るつぼ （15cc） （2.4cc） LTE-5cc, 1cc ● マグネトロンカソード（最大4源 *Φ2”カソード） TE1-Box：ボックスシールド付 TE4：電極x4 バスケット ボート ロッド ● EB電子銃 ● 基板加熱ステージ 超高真空対応 回転型電子銃を採用。7cc（x6）、又は 4cc 標準Φ4inchから、最大Φ8inchまでの高温基板加熱ヒーター （x8）のルツボを回転式インデクサーモジュールで材料を自動 ステージ。ハロゲンランプヒーター（Max500℃）, C/Cコンポ 又は手動切替え。 3kw, 5kw, 10kwの3種類の電源を用意。 ジット（Max1000℃）, SiCコート（1000℃）の3種類を用意。 ● SQC薄膜コントローラー Inficon社 SQM-160（セミオート）, SQC-310（フルオート）を ▪手動モード：出力調整・シャッター等ハードウエアの手動操作 採用。0.0368Åの精度で高精度薄膜制御。設定膜厚値でのシャ ▪セミオート：手動操作に加え、設定膜厚での自動シャッター操作 ッター自動開閉操作、蒸着速度・膜厚監視などが可能。 ▪自動モード：登録レシピの自動運転

MiniLab-090 Slide open/close, Tall Chamber for Glove box system MiniLab-090 スライド開閉式 グローブボックス用トールチャンバー 90ℓ大容積 570mm高さの SUS304製トールチャンバーを採用した 090は、ストロークの長い T/S距離により蒸着時の膜厚均一性を向上。 又、スライド式前面ドアによりGB搭載時チャンバー内に容易にアクセスでき、更に背面ドアも開閉式のためメンテナンス性にも優れます。 090前面スライド式ドア 090背面開閉式ドア MiniLab-090 System Specification 基本仕様 到達真空度 5x10-5Pascal 電源 200V三相 50/60Hz 13A チャンバーサイズ 400(W) x 400(D) x 570(H)mm SUS304 製 冷却水量 3ℓ/min, 4bar 18-20℃ 基板サイズ Φ1～11inch プロセスガス 25psi, 純度 99.99%推奨 真空排気 ターボ分子 , ロータリーポンプ ベントガス 0.5ba（r N2） 真空計 WRGピラニーゲージ 圧縮空気 60～80ps（i N2, Ar, 又はドライエア） インターフェイス 7” タッチパネルHMI 装置寸法 1,180(W) x 590(D) x 1,700(H)mm インターロック 冷却水量 , ガス , 真空度 重量 約 100～200kg（ * 構成により異なる） MiniLab-090 Options オプション ビューポート Φ70mm前面ポート 冷却ステージ LN2, Glycol, ペルチェ冷却（*仕様要協議） 高精度真空計 キャパシタンスマノメーター 補助排気ポンプ ドライスクロールポンプ APC/ 自動成膜制御 ゲートバルブ+ 薄膜コントローラ PID自動制御 インターフェイス Laptop PC（Windows 10） シャッター 蒸着源用 /基板用 基板ホルダー 特殊サンプルホルダー（*仕様要協議） 回転 /上下昇降機構 30段階回転速度切替 , 上下位置制御 マスフロー MFC x 最大 3系統（協議の上対応致します） 基板加熱ステージ Max500℃ハロゲンランプ スパッタ制御機 RF/DC電源 , マッチングユニット , 基板バイアス 高温基板加熱 Max1000℃：C/Cコンポジットヒーター ロードロック ターボ分子 , ロータリーポンプ , WRGゲージ ※小型チャンバーの為、成膜モジュール、オプションの組合せには制限があります。当社までお問い合わせ下さい。 ・金属蒸着源 TE1-Box型の場合：最大 2源 ・金属蒸着源 TE1-Boxと有機蒸着源 LTEの場合：TE1 x 2, LTE x 2 ・有機蒸着源 LTEのみの場合：最大 4源 ・EB蒸着源と TE1-Boxの混在：EBx1台 , TE1x2源 ・マグネトロンカソードΦ2inchのみの場合：最大 4源

MiniLab-090 System Control Software ’Intellidep’ ’Intellidep’ソフトウエア “Intellidep” は、MiniLab series全てに共通した操作ソフトウェアです。簡単なタップ（クリック）操作でどなたでも真空引き～ プロセス実行～ベントなどの装置操作、レシピ作成編集、システム解析・データ保存などの一連の操作ができます。取扱説明書 を読まなくても直感的に操作できる様，使いやすさに配慮しています。 Main Menu Pressure Plot Process Execution System Log ● 7inch高解像度タッチパネルスクリーン操作（*Windows PC操作オプション有り） ● Windows PC操作（PC用 ”Intellinet”ソフトウエア付属）、データロギング・USB接続データ出力保存 ● 最大 50フィルムレシピ・1000レイヤー・1000プロセスまで作成登録が可能 MiniLab-090 Glove Box System MiniLab-090 グローブボックスシステム MiniLab-090は、チャンバー部を作業ベンチ内に収納できるグローブボックス用に最適なシステムとして開発されました。 又、グローブボックス以外の用途でも単独でのスタンドアローンシステムとして、様々な開発現場で優れた性能とメンテナ ンス性を発揮します。仕様によっては当社推奨のもの以外に、既設のグローブボックスへの設置も可能です。詳細は当社まで ご相談下さい。 ML-090 グローブボックス設置例 ML-090 設置例（背面）

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