超高真空ポンプ【NEGLAZE】

IKCの主要製品 MAIN PRODUCTS べローズ ゲートバルブ 真空機器 Bellows Gate valves Vacuum components ■ 溶接べローズ ■ 角型ゲートバルブ ■ チャンバー Welded bellows Rectangular type gate valves Chambers ■ 成形べローズ ■ 丸型ゲートバルブ ■ 導入機 Formed bellows Round type gate valves Feedthroughs ■ フレキシブルチューブ ■ 大型ゲートバルブ（角型） Flexible tubes Large-size rectangular type gate valves ■ L 型バルブ（アングルバルブ） L-shape valves ※製品改良のため仕様寸法等を適宜変更することがありますのでご了承ください。 ※最新の情報は、入江工研Webサイト https://www.ikc.co.jp/ にてご確認下さい。 ※Specifications subject to change without notice. ※ Please confirm the latest information on the website of IRIE KOKEN CO., LTD. 　[ https://www.ikc.co.jp/ ] 1. 取付／接続／ご使用にあたっては、取付姿勢にご注意ください。その他ご利用に当たっては本製品の取扱説明書をご確認ください。 2. 本製品の保証期間は弊社工場出荷後 6ヶ月とさせていただきます。 3. 保証期間内において、製品に不具合が生じた場合、無償にて修理または交換をさせていただきます。 4. 本製品の保証ポリシーは、取扱説明書に記載させていただいておりますのでご確認ください。 ご注意 Cautions 1. Be sure to note mounting posture when mounting, connecting, or using. Be sure to check the NEGLAZE instruction manual if you plan to use the product for use other than it is designed for. 2. These products are guaranteed for a period of 6 months after the day they are shipped from the factory. 3. If a defect occurs to the product during warranty period, it will be repaired or replaced free of charge. 4. This products warranty policy is outlined in the instruction manual. Please confirm it. ■本 社 〒 100-0011 東京都千代田区内幸町2-2-3 日比谷国際ビル414 Head Office TEL：03-3507-9611　FAX：03-3507-9615 HibiyaKokusai-bldg 414, 2-2-3 Uchisaiwaicho, Chiyoda-ku, Tokyo, Japan 100-0011 ■大阪営業所 〒550-0002 大阪市西区江戸堀1-2-11 大同生命南館 Osaka Offi ce TEL：06-6445-2630　FAX：06-6459-3350 Daido Seimei Minami-Kan 1-2-11 Edobori, Nishi-ku, Osaka, Japan 550-0002 ■工 　 　 場 埼玉県（テクニカルセンター），愛媛県（内子工場・中山工場） F a c t o r y Saitama-ken（Technical Center）, Ehime-ken（ Uchiko Factory・Nakayama Factory） 販売代理店 Distributor W2511-2511-100

No.610 超高真空ポンプ ネグレーズ NEGLAZE® Oxygen-free Pd/Ti deposition Non-Evaporable Getter pump 無酸素Pd/Ti 蒸着非蒸発型ゲッターポンプ

無酸素Pd/Ti 蒸着 ICF203ゼロレングスNEGポンプ NEGLAZE Oxygen-free Pd/Ti deposited ICF203 zero length NEG pump 本製品は、大学共同利用期間法人 高エネルギー加速器研究機構が有する【特許 第6916537】「非蒸発型ゲッタコーティング部品、容器、製法、装置」の許諾を受けています。 本製品は、ドライポンプ、ターボ分子ポンプと組み合わせて 真空排気・ベーキングを行うことで10-8Pa 台以下の超高真空を実現する排気ポンプです。 125℃ ～ 175℃のベーキング ( 推奨温度150度 ) によって排気を開始します。 つまり、チャンバーベーキングと同じ温度帯で継続的な加熱処理を必要とせず活性化できます。 This product functions as a vacuum pump, capable of achieving an ultra-high vacuum of 10-8Pa or lower when used for evacuation or baking in together with a dry pump or turbo molecular pump. NEGLAZE is activated and starts pumping when baked at temperatures between 125 ℃ and 175 ℃ with 150 ℃ being the recommended activation temperature. This means that NEGLAZE can be activated under the same .temperature conditions as chamber baking and can be used without continuous heating. 図番 Product Number HBD02805000 規格・サイズ Specifi cations / Dimensions ICF203 ( Φ 203＊t22mm ) 重量 ( 本体のみ ) Weight ( Main body only ) 2.85 kg PCD 181.1mm 厚み t Thickness t 22.0mm 突起部 無し 0mm Protrusions None 0mm 材質 Material SUS304L 排気可能ガス 水素　　一酸化炭素 Exhatible gases Hydrogen(H2)　Carbon monoxide(CO) 再活性化回数 10回以上 Number of reactivations >10 times 排気速度 Exhaust velocity H2：2,200L/s 使用可能範囲 Operating Range 10∧ -5Pa～ 10∧ -9Pa 電力 ベーキング後の電源不要 Electricity No Power supply required after baking 2

無酸素Pd/Ti 蒸着 ICF203 ゼロレングスNEGポンプ /Oxygen-free Pd/Ti deposited ICF203 zero length NEG pump 特徴／ The feature 大気導入、真空排気、ベーキングを繰り返しても排気性能を維持 Maintains pumping performance even after repeated atmospheric pumping, vacuum pumping and baking ベーキング時以外は電源不要 オイルフリーで排気可能 No power supply required after baking Oil-free pumping. 蒸発、スパッタを伴わない ゼロレングス ( 高さ 0mm ) No evaporation or sputtering Zero length（Hight size : 0㎜） 軽量でコンパクト ICFポートに設置可能 無騒音パーティクル無し Noise-free/ Particle-free Lightweight / Compact/Can be installed to ICF Port 高速排気 (H2：2,200L/s) チューブ特性表／ High-speed exhaust (H2 : 2,200L/s) Tube Characteristics chart "NEG" とは NEGLAZE What is a "NEG pumps"? NEG（Non-Evaporable Getter）は、ゲッター作用を用いて排気を行うことで超高真空を生成すること のできる真空ポンプです。加熱、昇華によって真空を得るゲッターポンプとは異なり、真空部品の内側に 形成した膜を加熱後に冷却することによって水素などの気体分子を膜の表面・内部に吸着します。一般に ターボ分子ポンプなどと組合わせて使用します。 NEG (Non-Evaporable Getter) is a type of vacuum pump that employs getter action to achieve ultra-high vacuum. Unlike getter pumps, which create a vacuum by heating and sublimation, NEG pumps adsorb hydrogen and other active gases molecules onto a getter fi lm. These gases are pumped by heating and subsequently cooling a thin fi lm that forms on the inner surface of the vacuum component. These NEG pumps operate in conjunction with high-vacuum pumps such as turbomolecular pumps and other dry pumps. NEG（Non-Evaporable Getter）は、ゲッター作用によって化学的に活性な固体表面に気体分子を吸着す る作用する材料です。ベーキング後の真空容器の内面から常時放出される水素（H2）、一酸化炭素（CO）な どの気体を吸着し、超高真空を維持します。コンパクト設計の最新型NEGは、機能性を高めながら性能と コストの両面で最適化されており、お客様の用途において比較的容易に超高真空環境を作り出すことができ ます。例えば、超高真空環境を必要とする容器・機器・装置（分析装置や試料保管容器など）に応用できます。 当社は、このNEGの技術活かした『NEGLAZE（ネグレーズ）』を開発しました。 NEG (Non-Evaporable Getter) is a material that captures gas molecules through getter action, in which active gases chemically adhere to the surface of a reactive solid. It continuously absorbs gases such as hydrogen (H2) and carbon monoxide (CO) that outgas from the inner surface of a vacuum chamber after baking, thereby enabling the establishment and maintenance of an ultra-high vacuum environment. The latest compact NEG models are optimized for performance, functionality and cost effi ciency. They allow ultra-high vacuum conditions, to be created in a relatively straightforward manner and are suitable for a wide range of applications, including analytical instruments, vacuum equipment and sample storage systems that require ultra-high vacuum. Irie Koken has developed "NEGLAZE", which applies Oxygen-Free Pd/Ti deposition technology. 3