成形ベローズ

No.230 FORMED BELLOWS 成形ベローズ

目次 / Contents 1. 概要 / Overview ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 3 ２. 成形べローズ / Formed Bellows ・・・・・・・・・・・・・・・・・ 4 ２-１ IF規格成形べローズ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 5 IF standard formed bellows ２-２ CF規格成形べローズ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 6 CF standard formed bellows ２-３ IC規格成形べローズ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 7 IC standard formed bellows ２-４ KF規格成形べローズ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 8 KF standard formed bellows ２-５ KP規格成形べローズ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 9 KP standard formed bellows ２-６ PF規格成形べローズ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 9 PF standard formed bellows ３. べローズ継手の種類 / Types of bellows coupling ・・・ 10 ４. 成形べローズ標準金型寸法表 / ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 12 　　Formed bellows standard dimensions ５. 取り扱い上のお願い / Precautions when using ・・・・・ 13 ６. お引き合いに際して / Inquiries ・・・・・・・・・・・・・・・・・ 14

成形ベローズ / FORMED BELLOWS 概要 / Overview 金属べローズは半導体・液晶・真空機器・加速器・核融合・原子力・石油化学・建築分野をはじめとし、 気体・流体の気密封止のシール用部材とし使用されております。その利用として、真空中の搬送 部に用いる大気とのシール材として、又「完全漏洩防止」シール材とし真空バルブや、一般産業 用のバルブへの採用が多くなってきております。 昨今では特殊な材質の要求や、べローズ表面のクリーン度、大型化、長寿命など年々高度な仕 様が求められています。 べローズ仕様に対して、規格品、応用品、特注品とに分けて、ご要求に対応させていただきます。 ①規格品一定量の数量を常備しております。ご事情の許す限り規格品をご使用いただければ、納期・ 価格面で大変経済的な選択と納期の短縮が計れます。 ②応用品 (個別設計 )規格品サイズであれば、常時生産されておりますので個別設計品であって も、短納期で対応が出来ます。又、標準金型寸法のものであれば、部材においては常備を心が けておりますので、比較的短納期で対応が出来ます。 ③特注品 ( 新規設計 )主に真空用（差圧 0.1MPa）を基本として生産をしておりますが、加圧用 としても対応が出来るよう、金型等を用意しております。又、標準金型寸法表（P12 参照）にな いもの（特に大口径）でも、ご要求に応じ設計・生産いたします。 ※様々なご使用に対して対応させていただきますので、お気軽にご相談下さい。 Metal bellows are used to provide an airtight seal for gases and liquids in fields including semiconductors, liquid crystal, vacuum equipment, particle accelerators, nuclear fusion, atomic power, petrochemicals and construction. IRIE KOKEN metal bellows are used as sealing materials against atmospheric pressure for transport in vacuums, as "ultimate leak prevention" sealing materials, and in vacuum valves and valves for general industry. Nowadays there is a demand for special materials and advanced specifications such as clean bellows surfaces, larger size and longer life. Specifications are divided into those for standard products, those for user specification products and those for custom products as follows to meet customer's demand: ① Standard products A certain quantity of standard products is kept on hand. If circumstances permit, using standard products provides an extremely economical selection and reduces the amount of time it takes to deliver. ②User specification products (separate design) Standard sizes are constantly produced, so products with user specifications can also be delivered in a short period of time. IRIE KOKEN makes it a point to keep standard die dimensions in stock, so we can deliver in a comparatively short period of time. ③ Custom products (new design) IRIE KOKEN primarily produces bellows for vacuums (differential pressure of 0.1 MPa), but we also have dies, etc., to handle pressurization as well. IRIE KOKEN can design and produce items not in the standard die dimensions table on page 12 (especially large diameters) if needed. ※ We can provide the right product for you. Just contact us and let us know what you need. 3

成形べローズ Formed Bellows 成形べローズについて／ Formed bellows 成形べローズは、溶接べローズに比べて歴史的に古くいろ Formed bellows have been around longer than welded いろな製造方法が考案されていますが、一般的に広く採用 bellows and various manufacturing methods have been されているのは、機械的に成形するロール成形法と、液圧 devised. The most widely used is the mechanical roll forming method and the hydraulic forming method by によるバルジ成形法があります。 bulge. 弊社は独自の液圧成形法により製作します。 IRIE KOKEN uses its own original hydraulic forming method. 特　徴／ Features １. ロール成形法に比べて精度の高いものが得られる。 １．Offers higher precision than roll forming. ２. 応力のバラツキを防止出来る。 ２．Prevents disparity in stress. ３. 量産製作での品質の均一化が図れる。 ３．Provides uniform quality for mass roduction. ４．Low price ４. 廉価である。 各部の名称／Name of parts t Bi ＝ べローズ内径 Bellows inner diameter Bo ＝ べローズ外径 Bellows outer diameter BA ＝ 有効径（Bi+Bo）／ 2 Effective diameter (Bi + Bo) / 2 φBi t ＝ 板厚 φBo Plate thickness H ＝ スパン（山の高さ） H Span (thread height) P ＝ ピッチ（山と山の間隔） Pitch (interval between threads) ℓ ＝ べローズ自由長 Unrestricted length of bellows φBA LY ＝ べローズ端部長さ Bellows end length 4 P ℓ LY

成形ベローズ / FORMED BELLOWS FORMED IF規格成形べローズ IF standard formed bellows 標準仕様／ Standard Specifications 内　　部 真　空 Internal Vacuum 外　　部 大気圧 External Atmospheric pressure 使用温度 20℃（ベーキング時 Max250℃） Working temperature 20℃（Max. 250℃） He ガスリーク リークテスト He gas leak Leak test 1 × 10-7 Pa・m3 ／ s 以下 Max. 1 x 10-7 Pa・m3/s L フランジA フランジB べローズ材質 SUS316L Flange A T ℓ Flange B Bellows material フランジ材質 SUS304 Flange material 繰り返し寿命 1 × 104 回 Repetition life 1 × 104 repetitions 単位（Unit）：mm べローズ Bellows フランジ Flange 軸方向 型　式 内　径 外　径 板　厚 長　さ 外　径 板　厚 穴ピッチ 取付穴 L の作動範囲 バネ定数 有効面積 Model Inner diameter Outer diameter Plate thickness Length Outer diameter Plate thickness Hole pitch Mounting holes Operating range of L Axial direction Effective area （cm2 Bi Bo t ℓ D T C － spring constant ） （N/mm） IF20 22.9 33.0 0.15 44 80 8 60 4-10 54 ～ 64 10.0 6.1 IF25 28.6 40.0 0.15 49 90 8 70 4-10 57 ～ 70 8.4 9.2 IF40 43.6 58.0 0.15 70 105 10 85 4-10 74 ～ 100 5.1 20.3 IF50 50.1 65.0 0.15 85 120 10 100 4-10 85 ～ 118 5.0 26.0 IF65 61.9 80.0 0.15 90 145 10 120 4-12 83 ～ 128 3.6 39.5 IF80 77.6 95.0 0.15 86 160 12 135 4-12 89 ～ 124 6.0 58.5 IF100 106.5 125.0 0.15 86 185 12 160 8-12 88 ～ 124 7.8 105.2 IF125 134.7 153.0 0.15 76 210 12 185 8-12 82 ～ 112 11.7 162.5 IF150 157.2 176.0 0.15 76 235 12 210 8-12 82 ～ 112 13.6 218.0 IF200 199.8 230.0 0.30 93 300 16 270 8-15 98 ～ 144 33.2 362.7 IF250 254.3 290.0 0.40 93 350 16 320 12-15 105 ～ 140 80.9 581.7 IF300 306.0 340.0 0.40 118 400 16 370 12-15 130 ～ 162 92.9 819.4 IF350 340.2 378.2 0.40 110 450 20 420 12-15 128 ～ 162 90.5 1013.4 IF400 380.9 423.7 0.40 110 520 20 480 12-19 128 ～ 163 80.3 1271.1 IF500 497.0 528.0 0.50 106 625 22 585 16-19 134 ～ 160 530.6 2062.9 ※フランジ A は旧 JIS 規格 VG、VF フランジを使用しています／ Flange A uses old JIS VG, VF flange. ※フランジ B は旧 JIS 規格 VG、VF フランジを使用しています／ Flange B uses old JIS VG, VF flange. 5 φD φC φBi φBo

CF規格成形べローズ<コンフラットフランジ付> FORMED CF standard formed bellows (with conflat flange) 標準仕様／ Standard Specifications 内　　部 真　空 Internal Vacuum 外　　部 大気圧 External Atmospheric pressure 使用温度 20℃（ベーキング時 Max250℃） Working temperature 20℃（Max. 250℃） He ガスリーク リークテスト He gas leak Leak test 1 × 10-9 Pa・m3 ／ s 以下 Max. 1 x 10-9 Pa・m3/s L べローズ材質 SUS316L Bellows material T ℓ フランジ材質 SUS304L Flange material 繰り返し寿命 1 × 104 回 Repetition life 1 × 104 repetitions 単位（Unit）：mm べローズ Bellows フランジ Flange 軸方向 型　式 内　径 外　径 板　厚 長　さ 外　径 板　厚 穴ピッチ 取付穴 L の作動範囲 バネ定数 有効面積 Model Inner diameter Outer diameter Plate thickness Length Outer diameter Plate thickness Hole pitch Mounting holes Operating range of L Axial direction Effective area spring constant （cm2） Bi Bo t ℓ D T C － （N/mm） CF34 9.7 13.5 0.15 30.6 33.8 7.2 27.0 6-4.4 44 ～ 46 58.5 1.1 CF70 30.2 41.0 0.15 54.6 69.3 12.7 58.7 6-6.8 72 ～ 88 9.1 10.0 CF114 50.1 65.0 0.15 60.0 113.5 17.5 92.2 8-8.5 83 ～ 107 6.8 26.0 CF152 90.1 107.0 0.15 65.4 151.6 19.8 130.3 16-8.5 92 ～ 118 9.7 76.3 CF203 134.7 153.0 0.15 70.2 202.4 22.4 181.1 20-8.5 101 ～ 129 12.8 162.5 CF253 180.0 208.0 0.30 80.8 253.2 24.6 231.9 24-8.5 114 ～ 146 42.5 295.6 （注）標準型は、固定フランジ通し穴型です。回転フランジ通し穴型もご用命により製作致します。 Note: The standard type flange is a stationary type with through holes. Rotating flange with through holes can be made if needed. 6 φD φC φBi φBo

成形ベローズ / FORMED BELLOWS FORMED IC規格成形べローズ<コンフラットフランジ接続及び端管接続用> IC standard formed bellows (for conflat flange and end pipe connection) 標準仕様／ Standard Specifications 内　　部 真　空 Internal Vacuum 外　　部 大気圧 External Atmospheric pressure 使用温度 20℃（ベーキング時 Max250℃） Working temperature 20℃（Max. 250℃） He ガスリーク リークテスト He gas leak Leak test 1 × 10-9 L Pa・m3 ／ s 以下 Max. 1 x 10-9 Pa・m3/s LY ℓ べローズ材質 SUS316L Bellows material フランジ材質 SUS304L Flange material 繰り返し寿命 1 × 104 回 Repetition life 1 × 104 repetitions ■ IC-A型べローズ／ IC-A type bellows 単位（Unit）：mm べローズ Bellows フランジ Flange 軸方向 型　式 内　径 外　径 板　厚 長　さ 外　径 板　厚 長さ L の作動範囲 バネ定数 有効面積 Model Inner diameter Outer diameter Plate thickness Length Outer diameter Plate thickness Length Operating range of L Axial direction Effective area （cm2 spring constant ） Bi Bo t ℓ D t LY （N/mm） IC 18A 12.9 19 0.15 50 18.0 1.0 10 67 ～ 72 17.0 2.0 IC 25A 17.4 26 0.15 50 25.4 1.5 10 65 ～ 73 9.2 3.7 IC 32A 22.9 33 0.15 50 31.8 1.5 10 64 ～ 74 9.4 6.1 IC 40A 30.2 42 0.15 50 38.1 1.5 10 63 ～ 74 7.7 10.2 IC 65A 50.1 65 0.15 50 63.5 2.0 15 67 ～ 88 8.1 26.0 IC100A 90.1 109 0.15 50 101.6 2.0 15 64 ～ 90 9.3 77.8 IC150A 134.7 153 0.15 50 152.4 3.0 20 77 ～ 98 17.1 162.5 IC200A 180.0 213 0.30 45 203.2 3.0 30 86 ～ 117 47.1 303.3 ■ IC-B型べローズ／ IC-B type bellows 単位（Unit）：mm べローズ Bellows フランジ Flange 軸方向 型　式 内　径 外　径 板　厚 長　さ 外　径 板　厚 長さ L の作動範囲 バネ定数 有効面積 Model Inner diameter Outer diameter Plate thickness Length Outer diameter Plate thickness Length Operating range of L Axial direction Effective area （cm2 spring constant ） Bi Bo t ℓ D t LY （N/mm） IC 18B 12.9 19 0.15 100 18.0 1.0 10 114 ～ 124 8.6 2.0 IC 25B 17.4 26 0.15 100 25.4 1.5 10 110 ～ 126 4.7 3.7 IC 32B 22.9 33 0.15 100 31.8 1.5 10 108 ～ 128 4.8 6.1 IC 40B 30.2 42 0.15 100 38.1 1.5 10 105 ～ 130 3.9 10.2 IC 65B 50.1 65 0.15 100 63.5 2.0 15 108 ～ 144 4.3 26.0 IC100B 90.1 109 0.15 100 101.6 2.0 15 102 ～ 148 5.0 77.8 IC150B 134.7 153 0.15 100 152.4 3.0 20 115 ～ 156 9.0 162.5 IC200B 180.0 213 0.30 90 203.2 3.0 30 112 ～ 175 24.1 303.3 7 φD t φBi φBo

FORMED KF規格成形べローズ<ISO KFフランジ付> KF standard formed bellows (with ISO KF flange) 標準仕様／ Standard Specifications 内　　部 真　空 Internal Vacuum 外　　部 大気圧 External Atmospheric pressure 使用温度 20℃（ベーキング時 Max250℃） Working temperature 20℃（Max. 250℃） He ガスリーク リークテスト He gas leak L Leak test 1 × 10-9 Pa・m3 ／ s 以下 Max. 1 x 10-9 Pa・m3 t ℓ /s べローズ材質 SUS316L Bellows material フランジ材質 SUS316 Flange material 繰り返し寿命 1 × 104 回 Repetition life 1 × 104 repetitions 単位（Unit）：mm べローズ Bellows フランジ Flange 軸方向 型　式 内　径 外　径 板　厚 長　さ 外　径 内　径 長さ L の作動範囲 バネ定数 有効面積 Model Inner diameter Outer diameter Plate thickness Length Outer diameter Inner diameter Length Operating range of L Axial direction Effective area （cm2 spring constant ） Bi Bo t ℓ D A t （N/mm） KF 10 12.9 19 0.15 50 30 12.2 20 87 ～ 93 15.7 2.0 KF 16 16.1 23 0.15 50 30 17.2 20 86 ～ 94 14.7 3.0 KF 25 22.9 33 0.15 65 40 26.2 20 96 ～ 111 7.0 6.1 KF 40 43.6 58 0.15 75 55 41.2 20 100 ～ 130 5.4 20.3 KF 50 50.1 65 0.15 85 75 52.2 20 110 ～ 140 5.2 26.0 KF 63 76.3 92 0.15 85 87 70.2 20 108 ～ 142 7.6 55.6 KF 80 90.1 109 0.15 100 114 83.2 25 130 ～ 170 5.3 77.8 KF 100 106.5 125 0.15 100 134 102.2 25 130 ～ 170 6.9 105.2 8 φD φA φBi φBo

成形ベローズ / FORMED BELLOWS FORMED KP規格成形べローズ<KFフランジ+端管付> KP standard formed bellows (with KF flange + end pipe) 標準仕様／ Standard Specifications 内　　部 真　空 Internal Vacuum 外　　部 大気圧 L External Atmospheric pressure 使用温度 20℃（ベーキング時 Max250℃） T T Working temperature 20℃（Max. 250℃） He ガスリーク リークテスト He gas leak Leak test 1 × 10-9 Pa・m3 ／ s 以下 Max. 1 x 10-9 Pa・m3/s べローズ材質 Bellows material SUS316L フランジ材質 Flange material SUS316 繰り返し寿命 1 × 104 回 Repetition life 1 × 104 repetitions 単位（Unit）：mm べ ロ ー ズ Bellows フランジ Flange 端　管 End pipe 全 長 All length 軸方向 型　式 内 径 外 径 板 厚 長 さ 外 径 長 さ 外 径 厚 さ 長 さ 自由長 作動範囲 バネ定数 有効面積 Model Inner diameter Outer diameter Plate thickness Length Outer diameter Length Outer diameter Thickness Length Unrestricted length Operating range Axial direction Effective spring constant area(cm2) Bi Bo t ℓ D T A t1 T L L （N/mm） KP 10 12.9 19 0.15 50 30 20 17.3 1.65 10 80 77 ～ 83 15.7 2.0 KP 16 16.1 23 0.15 50 30 20 21.7 2.1 10 80 76 ～ 84 14.7 3.0 KP 25 22.9 33 0.15 65 40 20 27.2 2.1 15 100 92 ～ 108 7.0 6.1 KP 40 43.6 58 0.15 75 55 20 42.7 2.8 15 110 95 ～ 125 5.4 20.3 KP 50 50.1 65 0.15 85 75 20 60.5 2.8 20 125 110 ～ 140 5.2 26.0 KP 63 76.3 92 0.15 85 87 20 76.3 3.0 20 125 108 ～ 142 7.6 55.6 KP 80 90.1 109 0.15 100 114 25 89.1 3.0 20 145 125 ～ 165 5.3 77.8 KP 100 106.5 125 0.15 100 134 25 114.3 3.0 25 150 130 ～ 170 6.9 105.0 FORMED PF 規格成形べローズ<端管付> PF standard formed bellows (with end pipe) 標準仕様／ Standard Specifications 内　　部 真　空 Internal Vacuum 外　　部 大気圧 L External Atmospheric pressure T T 使用温度 20℃（ベーキング時 Max250℃） Working temperature 20℃（Max. 250℃） He ガスリーク リークテスト He gas leak Leak test 1 × 10-9 Pa・m3 ／ s 以下 Max. 1 x 10-9 Pa・m3/s べローズ材質 Bellows material SUS316L フランジ材質 Flange material SUS316 繰り返し寿命 1 × 104 回 Repetition life 1 × 104 repetitions 単位（Unit）：mm べ ロ ー ズ Bellows 端 管 End pipe 全 長 All length 軸方向 型　式 内 径 外 径 板 厚 長 さ 外 径 厚 さ 長 さ 自由長 作動範囲 バネ定数 有効面積 Model Inner diameter Outer diameter Plate thickness Length Outer diameter Thickness Length Unrestricted length Operating range Axial direction Effective area(cm2) spring constant（N/ Bi Bo t ℓ A t1 T L L mm） PF 10 12.9 19 0.15 50 17.3 1.65 10 70 67 ～ 73 15.7 2.0 PF 16 16.1 23 0.15 50 21.7 2.1 10 70 66 ～ 74 14.7 3.0 PF 25 22.9 33 0.15 65 27.2 2.1 15 95 87 ～ 103 7.0 6.1 PF 40 43.6 58 0.15 75 42.7 2.8 15 105 90 ～ 120 5.4 20.3 PF 50 50.1 65 0.15 85 60.5 2.8 20 125 110 ～ 140 5.2 26.0 PF 63 76.3 92 0.15 85 76.3 3.0 20 125 108 ～ 142 7.6 55.6 PF 80 90.1 109 0.15 100 89.1 3.0 20 140 120 ～ 160 5.3 77.8 PF 100 106.5 125 0.15 100 114.3 3.0 25 150 130 ～ 170 6.9 105.0 9 φD φBi φBi φBo φBo t1 t1 φA φA

べローズ継手の種類 Types of bellows coupling べローズ両端に各種の金具を溶接した場合の代表例です。 これら以外にも、お客様のご要求に応じて様々な金型の製作からべローズへの溶接まで一括して承ることも可能です。 お気軽にご相談下さい。 The following are typical examples of various fittings welded to both ends of bellows. IRIE KOKEN handles everything from fabrication of other types of dies to welding them onto the bellows if the customer so desires. Please contact us for more information. IF規格型べローズ継手 CF規格型べローズ継手 IF standard bellows coupling CF standard bellows coupling L VGフランジ VFフランジ VG flange VF flange L ★フランジ規格は旧 JIS 規格を採用 ★両端 VG、又は VF タイプも製作致します。 ★圧縮防止用のストッパー取付可能な構造のものも製作致します。 ★ Flange conforms to old JIS. ★ Bellows with VG or VF flange on both ends can also be fabricated. ★ Bellow can also be configured to enable mounting of a stopper to ★片側ルーズフランジタイプも製作致します。 prevent compression. ★ Bellows with a loose flange on one side can also be fabricated. ●規格品の寸法 5 頁をご参照下さい。 ●規格品の寸法 6 頁をご参照下さい。 　See page 5 for dimensions of standard item. 　See page 6 for dimensions of standard item. IC 規格型べローズ継手 KF規格型べローズ継手 IC standard bellows coupling KF standard bellows coupling L L ★φ d の寸法はインチサイズのパイプの径に合わせてあります。 ★両端にコンフラットフランジを溶接したものも製作します。 ★ The φ d dimension can also be made to match U.S. customary ★規格品は NW10 ～ NW100 です。 units. ★他のサイズもご指示頂ければ製作致します。 ★ Bellows with a con flat flange on both ends can also be ★ Standard item is NW10 to NW100. fabricated. ★ Other sizes can be fabricated if so instructed. ●規格品の寸法 7 頁をご参照下さい。 ●規格品の寸法 8 頁をご参照下さい。 　See page 7 for dimensions of standard item. 　See page 8 for dimensions of standard item. ISO-K 又は ISO-F 型べローズ継手 内側フランジ型べローズ継手 ISO-K or ISO-F standard bellows coupling Inside flange bellows coupling L L ★フランジサイズをご指示頂ければ設計製作致します。 ★フランジサイズをご指示頂ければ設計製作致します。 ★ Flange of any size can be designed and fabricated if so ★ Flange of any size can be designed and fabricated if so instructed. instructed. 10 φd

成形ベローズ / FORMED BELLOWS 各種フランジ型べローズ継手（A） 各種フランジ型べローズ継手（B） Bellows coupling for various flanges (A) Bellows coupling for various flanges (B) L L ★ JIS、5K、10K、20K の規格フランジその他特殊形状のフラン ジ付も設計製作いたします。 ★特にコンパクトに設計したい場合はこのタイプをご利用下さい。 ★ Bellows with flanges having special shape as well as flanges con forming to JIS, 5K, 10K and 20K standards can also be designed and fabricated. ★ルーズタイプも設計製作致します。 ★ This type should be used especially for compact design. ★ We can also design and fabricate loose type. PF 規格型べローズ継手（A） パイプエンド型べローズ継手（B） PF standard bellows coupling (A) Pipe end bellows coupling (B) L L ★端管サイズをご指示頂ければ設計製作致します。 ★φ d、t、ℓ、L をご指示頂ければ製作致します。 ★ End pipe of any size can be designed and fabricated if so ★ Custom sizes can be fabricated if customer supplies φ d,t,ℓ and instructed. L dimensions. ●規格品の寸法 9 頁をご参照下さい。 　See page 9 for dimensions of standard item. 金具エンド型べローズ継手（A） 金具エンド型べローズ継手（B） Fitting end bellows coupling (A) Fitting end bellows coupling (B) L L プレス成形品 ★ 1ロット100 ヶ以上の場合、プレスにて成形した金具を使用して均 ★φ d、ℓ、L をご指示頂ければ製作致します。 一廉価を図ります。 ★ Custom sizes can be fabricated if customer supplies φ d, ℓ and ★ Uniform low cost can be realized using press-formed fitting if lot L dimensions. consists of at least 100 units. 11 φd t φd φd t φd

成形べローズ標準寸法表 Formed bellows standard dimensions 下表は、弊社で標準として取り扱っている金型寸法の一覧表です。 また、材質としては SUS316L を標準扱いとしてお りますが、お客さまのご要求に応じて、これら以外の金型・材質にも対応可能です。お気軽にご相談下さい。 ＊標準材質 SUS316L Dimensions of standard dies handled by IRIE KOKEN are as given in the following list. The standard material is SUS 316L. Other dies and materials can however be provided if desired. Please contact us for more information. *Standard material: SUS316L ■真空用べローズ／ Bellows for vacuum 単位（Unit）：mm 型　番 内　径 外　径 板　厚 型　番 内　径 外　径 板　厚 Ordering number Inner diameter Outer diameter Plate thickness Ordering number Inner diameter Outer diameter Plate thickness 0 － 9 9.7 13.5 0.15 70 － 7 77.6 95.0 0.15 10 － 2 12.9 19.0 0.15 80 － 0 80.4 98.0 0.20 10 － 5 15.9 23.0 0.15 80 － 6 86.3 102.0 0.15 10 － 7 17.4 26.0 0.15 90 － 0 90.1 107.0 0.15 20 － 1 21.2 31.0 0.15 90 － 6 96.4 112.0 0.15 20 － 2 22.9 33.0 0.15 100 － 6 106.5 125.0 0.15 20 － 5 25.8 36.0 0.15 110 － 5 115.2 130.0 0.15 20 － 7 27.3 35.5 0.15 120 － 1 121.9 146.0 0.30 20 － 8 28.6 40.0 0.15 130 － 4 134.7 153.0 0.15 30 － 0 30.2 42.0 0.15 140 － 0 140.5 160.0 0.15 30 － 2 32.3 48.0 0.15 150 － 6 157.3 194.0 0.40 30 － 4 34.3 50.0 0.15 150 － 7 157.2 176.0 0.15 30 － 5 35.4 50.0 0.15 160 － 3 163.8 185.0 0.15 30 － 6 36.1 50.0 0.20 170 － 0 170.2 200.0 0.40 30 － 8 38.1 48.0 0.15 180 － 0 180.0 220.0 0.30 40 － 0 40.4 60.0 0.15 190 － 9 199.8 230.0 0.30 40 － 2 43.1 63.0 0.20 210 － 7 217.3 241.0 0.30 40 － 3 43.6 58.0 0.15 250 － 4 254.3 290.0 0.40 40 － 8 48.6 67.0 0.15 300 － 6 306.0 340.0 0.40 50 － 0 50.1 65.0 0.15 340 － 0 340.2 378.2 0.40 50 － 1 51.6 64.0 0.15 380 － 0 380.9 423.7 0.40 50 － 3 53.7 68.0 0.15 480 － 2 482.0 529.0 0.50 50 － 9 59.0 73.0 0.15 490 － 7 497.0 538.0 0.50 60 － 1 61.9 80.0 0.15 60 － 4 64.9 76.0 0.30 70 － 6 76.3 92.0 0.15 ※上記サイズ以外の金型も保有致しております。お気軽にご相談下さい。 ※ Sizes listed above are kept in stock. Please contact us for more information. 12

成形ベローズ / FORMED BELLOWS 取り扱い上のお願い PRECAUTIONS WHEN USING 弊社べローズは、性能、品質ともにお客様のご要求に充分お答えできるものと確信しておりますが、取り扱いを誤ります とべローズの特性を充分発揮できなくなるばかりか、耐久性を著しく縮めたり極端な場合は、損傷のため据え付け時から 使用できない場合があります。品質保証上の観点より、製品の取り扱いには下記事項について充分ご配慮をお願いいたし ます。 1. 検収について 製品が到着しましたら、まずご注文通りの品物かどうかご確認ください。べローズは仕様書に基づいて、 細部にわたり検査し出荷しておりますが、御社到着までの輸送中の取り扱い等により万一変形等が起こる場合も考えられ ますので、到着後直ちに検収を行って下さい。尚、ポリ袋からの開封は、ゴミ・粉塵のない環境下で行って下さい。（ゴミ・ 粉塵がべローズの内部や谷間に混入しますと、早期破損の原因になります。） 2. 保管について 製品を長期にわたり保管する場合は、外力による変形防止はもちろんのこと、ゴミ・粉塵の付着、直射 日光への暴露などの防止とともに、発錆環境中（高湿度、塩害、腐食性物質を含む大気との接触）での保管は避けて下さい。 3. 運搬について 製品を運搬する場合は、納入時の荷姿で運搬することをお奨めいたします。万一、製品単体で運搬され る場合は、傷を付けたり、曲げたり、あるいは衝撃を与えて変形することのないよう、充分注意して取り扱って下さい。 4. 取り付けについて 製品を取り付ける際、特にべローズにねじれが加わらないように取り付けて下さい。べローズの特 性上回転やねじり方向に変位させることはできません。又、軸芯がずれたり、ご指定寸法以外の長さでは取り付けないで 下さい。（寿命低下の原因となります。）べローズの損傷が最も多いのは、ボルト締め付け時のスパナ等の工具による打ち 傷や、べローズ内部にシャフトが通る場合に安易に差し込み、傷を付けてしまう場合があります。特に内部については、取 り付け後の確認ができませんので充分な注意が必要です。 5. 使用範囲について 使用範囲（圧力、伸縮量等）は、仕様書あるいはカタログに記載している範囲内で使用して下さい。 使用範囲を超えて使用しますと、早期破損の原因になるばかりか、事故の原因にもなりますので充分確認をしてご使用下 さい。 IRIE KOKEN is confident that our bellows offer the required performance and quality to satisfy your needs. If not handled properly, not only will the product not function to its full capability, but in extreme cases durability could be dramatically affected as well. This could result in damage, rendering the product unusable before it is even mounted. In order to ensure quality, be sure to heed the following advice when handling the product. 1. Examine the product when delivered. When you receive the product, first make sure it's what you ordered. The bellows are inspected in detail prior to delivery to make sure they conform to specifications, but could become deformed during transport, so be sure to check the product immediately after you receive it. Be sure to remove the product from its plastic bag in a place free of dust and dirt. (If dust or dirt gets inside the bellows or in the grooves it could result in premature damage. 2. Storage If the product is to be stored for an extended period of time, be sure to store in a place free from external force (to prevent deformation) where it is not exposed to dust, dirt or direct sunlight. Corrosive environments should also be avoided (place subject to excessive humidity, salt or other corrosive materials) 3. Transport For subsequent transport, we recommend using the packaging in which the product was delivered. If the product happens to be delivered by itself, handle with care to avoid damaging, bending, or deforming the product by exposing it to impact. 4. Mounting Be sure not to twist the bellows when mounting. The characteristics of the product does not allow displacement by turning or twisting. Do not alter the center alignment or mount at length other than the specified dimension. (Doing so could reduce life of the product.) Most damage to bellows is caused by bumping with tools such as a spanner when tightening bolts. If a shaft is to pass through the bellows, the bellows can be damaged when the shaft is easily inserted. Particular attention should be paid when doing so because the inside cannot be checked once the product is mounted. 5. Usage range The product should be used within the range (pressure, expansion/contraction, etc.) given in the specifications or catalog. Particular attention should be paid as it could result in premature damage or accident if usage exceeds the usage range. 13

お引き合いに際して 入江工研（株）行 成形べローズ検討仕様書 年　　　　月　　　　日 御社名 所在地 所属 TEL ご担当者名 FAX 氏名 メールアドレス べローズ仕様（項目は必ず記入、又該当項目は○で囲んで下さい。 1 材 質 SUS316L　　　　その他（　　　　　　　　） 2 べ ロ ー ズ サ イ ズ 内径　　　　　　　　　　　　　mm　外径　　　　　　　　　　　　 　　mm 圧力変動はありますか？ YES 　NO 3 使 用 圧 力 大気圧での動作はありますか？ YES 　NO 内部　　　　　　　　　（MPa）　　　外部　　　　　　　　　（MPa） 4 使 用 温 度 常温　　　　　　　　　℃　　　　　MAX　　　　　　　　　　℃ 5 使 用 流 体 軸方向　　：　　　　　　　　　　　　　mm　 6 変 位 量 軸直角方向：　　　　　　　　　　　　　mm　変位のパターン： 角度方向　：　　　　　　　　　　　　　deg　変位のパターン： 希望面間・動作範囲：　　　　　　　　　　mm 7 要 求 繰り返し寿 命 　　　　　　　　　　　　　回 8 バ ネ 定 数 　　　　　　　　　　　　N／mm（ご希望があれば記入下さい。） 9 取 付 姿 勢 水　平　・　垂　直　・　その他 10 シ ャ フ ト 径 無　し　・　有　り； （　　　　　　　　　　mm） 11 H e リ ー ク 試 験 1×10－9Pa・m3/s以下　・　その他 12 耐 圧 試 験 内圧・外圧：　　　　　　　　　　　　　（MPa） 13 お 見 積 り ロ ット 　　　　　　　　　　　　　　　個／ロット 14 お 引 き 合 い 内 容 新規品・ 置き換え品　：　単　品・ 流れ品 15 提 出 書 類 お見積り書　・　申請図面　・　納期回答 16 提 出 期 日 　　　　　　　年　　　　　　月　　　　　　日 ●製品形状等又、仕様項目に優先順位及び注意点があればお書き下さい。 14

成形ベローズ / FORMED BELLOWS INQUIRIES IRIE KOKEN CO., LTD. FORMED BELLOWS STUDY SPECS. Date Company name Address Department TEL Person in charge FAX Name E-mail address Bellows specications (Be sure to enter the item and circle applicable items.) 1 Material SUS316L　　　 other( ) 2 B e l l o w s s i z e Inner diameter　　　　　　　　　mm　　Outer diameter　　　　　　　　　　mm Operating pressure Are you using any pressure variation? YES 　NO 3 Are you operating at atmospheric pressure? YES 　NO Internal　　　　　　　（MPa）　　　 External　　　　　　　　　（MPa） 4 Operating temperature Normal temperature　　　　　　　　　℃　　　　　MAX　　　　　　　　　　℃ 5 Liquid or gas used Level of displacement Axial direction：　　　　　　　　mm　 6 Perpendicular direction to an axis：　　　　　mm　Displacement pattern： Perpendicular direction to an axis：　　　　　deg　Displacement pattern： Desired pitch and operation range：　　　　　　　　　　mm 7 Required repetition life 　　　　　　　　　　　　Repetitions 8 S p r i n g c o n s t a n t 　　　　　　　　　　　　N／mm (Enter if desired.) 9 M ounting posture Horizontal/vertical/other 10 S h a f t d i a m e t e r No applicable/applicable：（　　　　　　　　　　mm） 11 H e l e a k t e s t Max. 1 x 10-9Pa・m3/s / other 12 Pressure endurance test Internal pressure/external pressure：　　　　　　　　　　　　　（MPa） 13 E s t i m a t e d l o t 　　　　　　　　　　　　Units/lot 14 Description of inquiry New parts/replaced parts: Single product/ow product 15 Presented documents Estimate/application drawing/delivery response 16 D a t e p r e s e n t e d Date ●Please enter the order of preference for part shape/specications or anything else we should know about. 15

IKCの主要製品 MAIN PRODUCTS べローズ ゲートバルブ 真空機器 Bellows Gate valves Vacuum components ■ 溶接べローズ ■ 角型ゲートバルブ ■ チャンバー Welded bellows Rectangular type gate valves Chambers ■ 成形べローズ ■ 丸型ゲートバルブ ■ 導入機 Formed bellows Round type gate valves Feedthroughs ■ フレキシブルチューブ ■ 大型ゲートバルブ（角型） Flexible tubes Large-size rectangular type gate valves ■ L 型バルブ（アングルバルブ） L-shape valves ※製品改良のため仕様寸法等を適宜変更することがありますのでご了承ください。 ※最新の情報は、入江工研 Web サイト https://www.ikc.co.jp/ にてご確認下さい。 ※ Specifications subject to change without notice. ※ Please confirm the latest information on the website of IRIE KOKEN CO., LTD. 　[ https://www.ikc.co.jp/ ] 1. 取付／接続／ご使用にあたっては、取付姿勢にご注意ください。その他ご利用に当たっては製品仕様をご確認ください。 2. 本製品の保証期間は弊社工場出荷後18 ヶ月とさせていただきます。 3. 保証期間内において、弊社の製品に不具合が生じた場合、無償にて修理または交換をさせていただきます。 4. 当社の保証ポリシーについては、入江工研 web サイト https://www.ikc.co.jp/company/Product_Warranty.html に記載させていただいております。 ご確認ください。 ご注意 1. Be sure to note mounting posture when mounting, connecting or using. Be sure to check the specifications if you plan to use the Cautions product for use other than it is designed for. 2. These products are guaranteed for a period of 18 months after the day they are shipped from the factory. 3. If a defect occurred to the product during warranty period, it will be repaired or replaced free of charge. 4. Our warranty policy is described on the website of IRIE KOKEN CO.,LTD. at https://www.ikc.co.jp/company/Product_Warranty.html. Please check it. ■ 本 社 〒 100-0011 東京都千代田区内幸町 2-2-3 日比谷国際ビル 414 Head Office TEL：03-3507-9611　FAX：03-3507-9615 HibiyaKokusai-bldg 414, 2-2-3 Uchisaiwaicho, Chiyoda-ku, Tokyo, Japan 100-0011 ■ 大 阪 営 業 所 〒 550-0002 大阪市西区江戸堀 1-2-11 大同生命南館 Osaka Office TEL：06-6445-2630　FAX：06-6459-3350 Daido Seimei Minami-Kan 1-2-11 Edobori, Nishi-ku, Osaka, Japan 550-0002 ■ 工 　 　 場 埼玉県（テクニカルセンター），愛媛県（内子工場・中山工場） F a c t o r y Saitama-ken（Technical Center）, Ehime-ken（ Uchiko Factory・Nakayama Factory） 販売代理店 Distributor W1706