高真空アングルバルブシリーズ

No.310 HIGH VACUUM ANGLE VALVE SERIES 高真空アングルバルブシリーズ ■ ANGLE VALVES(16A～65A) ■ ANGLE VALVES(80A～100A) ■ STRAIGHT VALVES(16A～63A)

概要 / Overview 　ＩＫＣの高真空アングルバルブは豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズを内蔵した長寿 命の真空バルブです。取り扱いが非常に便利な ISO 規格の NW-KF フランジ付きと、超 高真空用及び有毒なガス系にも使用可能なコンフラットフランジ付き、又一般ＪＩＳ真空フ ランジ付きの 3 種類の接続形式に、手動及び自動 ( 圧空式 ) をシリーズ化しました。また、 バルブのメンテナンス期間を延長させる目的で、LX シリーズ（100 万回仕様）も新しく 規格品として用意しました。 IRIE KOKEN's high vacuum angle valves are long-life vacuum valves with built- in formed or welded bellows. The valves off your choice of three flanges for connection: the user-friendly NW-KF flange that conforms to ISO standards, con flat flange that can be used for handling ultra-high vacuums or toxic gases, or common vacuum flange that conforms to JIS. The series also offers both manual and automatic (pneumatic) models. The LX Series (guaranteed life of 1 million repetitions) has also been added as a standard product to extend time until next maintenance is required. 特徴 / Features 1. バルブ材質の真空側は全てステンレス（SUS）で構成されています。 2. 全体がコンパクト設計により小型、軽量化されています。 3. 正圧、逆圧、どちらも 0.15MPa の差圧でも漏れません。 4. 取り付け姿勢が自由。（特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り 付け姿勢を推奨しております。） 5. 機能設計により大きなコンダクタンスが得られます。 6. 片側回転フランジのため、取付けが容易。( コンフラットフランジ ) 1. The vacuum side of the valve is of all stainless steel (SUS) construction. 2. Compact design enables small size and lightweight construction. 3. Will not leak at pressure differential of 0.15 MPa regardless of whether pressure is positive or negative. 4. Mounting posture is unrestricted. (Unless otherwise specified, we recommend mounting posture with the valve seat facing the side with greater pressure variation.) 5. Functional design offers maximum conductance. 6. One-way rotating flange facilitates mounting. (con flat flange) 2

高真空アングルバルブ（16A～65A）/ HIGH VACUUM ANGLE VALVES（16A to 65A） ANGLE 高真空アングルバルブ（16A〜65A） VALVES High vacuum angle valves（ 16A to 65A） 型式表示方法／ Ordering Number Description 無 記 入 １０万回　※１ D 自動型、複動 No entry 100,000 repetitions (*1) Automatic, double acting C 自動型、単動(ノーマルクローズ) L X １００万回 ※２ 1 million repetitions (*2) Automatic, single acting (normally closed) O 自動型、単動(ノーマルオープン) 寿命回数 Automatic, single acting (normally open) Repetition life M 手動型 ※1：手動型は5万回 Manual ※2：LXシリーズに手動型は含みません。 *1: 50,000 repetitions for manual type. 型式 *2: LX Series does not include a manual type. Type アングルバルブの記号 Angle valve symbol 1 FLV 16 D 0 フランジ種類 フランジ種類 付属品 Flange types Flange types Accessories 1 NW-KFフランジ NW-KF flange 16 0 付属品なし None 2 コンフラットフランジ※ 25 電磁弁､近接スイッチ付き Con flat flange* ●NW-KFフランジ 1 With solenoid valve, proximity switch 3 JIS(VG,VF)フランジ 40 ●NW-KF flange 電磁弁付き JIS (VG/VF) flange ●JISフランジ 2 With solenoid valve ※片側固定、片側回転 50 ●JIS (VG/VF) flange 3 近接スイッチ付き * One-side stationary, one-side rotating With proximity switch 63(65) 70 コンフラットフランジ 114 Con flat flange 注 1)　電磁弁をオプションとして付ける場合は、必ず使用する電源仕様を明示ください。 Note 1） Be sure to specify power supply specifications if you need an optional solenoid valve. 形式・図番 アングルバルブ一部製品生産終了のお知らせ 1FLV-16M0 KF16 End of Life Notification of Certain Angle valves 1FLV-25M0 KF25 高真空アングルバルブ製品につきまして、 1FLV-40M0 KF40 1FLV-50M0 KF50 近年の受注状況及び生産設備の状況を考慮し、 2FLV-70M0 CF70 規格カタログ製品としての生産を終了させて頂く事となりました。 1FLV-25C0 KF25 尚、右記形式につきましては、 1FLV-40C0 KF40 従来通り規格カタログ製品としてご提供させていただきます。 1FLV-50C3 KF50 2FLV-70C0 CF70 3

仕様／ Specifications 使用圧力 Working pressure 大気圧 〜 1 × 10-6 Pa Atmospheric pressure to 1 x 10-6 Pa リーク量 Leak volume ＜ 1 × 10-10 Pa･m3/s Below 1 x 10-10 Pa・m3/s □ FLV( 自動 )　10 万回 FLV (automatic) 100,000 repetitions 寿命回数 Repetition life □ FLV( 手動 )　 5 万回 FLV (manual) 50,000 repetitions LX- □ FLV( 自動 )　100 万回 LX- FLV (automatic) 1 million repetitions 操作圧力 Operating pressure 0.5 〜 0.6MPa（自動） 0.5 to 0.6 MPa (automatic) バルブボディ　120℃（MAX） Valve body 120℃（MAX） ベークアウト温度（耐熱温度） Bake-out temperature (heat endurance limit) ニューマチックアクチュエータ　65℃（MAX） Pneumatic actuator 65℃（MAX） 電磁弁付きの場合　50℃（MAX） In the case of those with solenoid valve50℃（MAX） バルブボディ：SUS304 Valve body:SUS304 ベローズ：SUS316L( □ FLV) Bellows:SUS316L( □ FLV) 主要構成材料 　　　　：ハステロイ ® C-22(LX- □ FLV) : Hastelloy® C-22(LX- □ FLV) Main materials シリンダ：アルミニウム Cylinder: Aluminum 弁座シール：バイトン ® Valve seat seal: Viton® ボンネットシール：バイトン ® Bonnet seal: Viton® シリンダ Cylinder ボンネットシール Bonnet seal べローズ（成形） Bellows (formed) バルブボディ Valve body 弁座シール Valve seat seal 技術データー／Technical data 口 径 Bore 16A 25A 40A 50A (63A)65A コンダクタンス □ FLV 4ℓ／ sec 10ℓ／ sec 32ℓ／ sec 70ℓ／ sec 107ℓ／ sec Conductance LX- □ FLV 3ℓ／ sec 9ℓ／ sec 27ℓ／ sec 52ℓ／ sec 93ℓ／ sec 4

高真空アングルバルブ（16A～65A）/ HIGH VACUUM ANGLE VALVES（16A to 65A） 自動 ( 複動･単動 [ノーマルオープン･クローズ ]) Automatic (Single acting/Double acting [normally open/closed]) ■ WITH NW-KF FLANGES ■ WITH CF FLANGES ■ WITH JIS FLANGES 　1FLV SERIES　LX-1FLV SERIES 　2FLV SERIES　LX-2FLV SERIES 　3FLV SERIES　LX-3FLV SERIES 外観図／ Schematic diagram （D.Oに使用）Used for D,O （D.Oに使用）Used for D,O 　Rc1/8 （D.Cに 　Rc1/8 （D.Cに C 　使用） 　使用） 回転フランジ 　Rc1/8 　Rc1/8 Rotating 　 flange Used for 　Used for 　D,C E E N-φh D 　D,C N-φh A （D.Oに使用）Used for D,O A φH φJ φH φJ K （ D.Cに 　Rc1/8 K B 　使用） B 　Rc1/8 F 　Used for 　D,C E F φJ F A φJ F φH φJ B N-φh N-φh F 　JISB 2290 VG 　JISB 2290 VF φJ F ※フランジ穴は　振り分けとする。 ※フランジ穴は　振り分けとする。 ※Flange holes classified according to diameter. ※Flange holes classified according to diameter. 寸法表／Table of dimensions 自動型：複動D,単動C（ノーマルクローズ）,単動O（ノーマルオープン） Automatic: Double acting [D], Single acting [C] （normally closed）, Single acting [O] (normally open) Dimensions Approximate A B C D E F odel No. ∅H ∅J K N- ∅h Weight M (kg) （LX）1FLV - 16D.C.O 132.5 93 47 50 22.5 40 40 30 - - 0.7 〃 - 25D.C.O 141.5 101.5 59 62 24.5 50 54 40 - - 1.1 〃 - 40D.C.O 168 117.5 81 84.5 33 65 76 55 - - 2.1 〃 - 50D.C.O 186.5 128.5 92 92 39 70 89 75 - - 3.1 〃 - 63D.C.O 229 163.5 110 110 45.5 88 110 87 - - 5.6 （LX）2FLV - 70D.C.O 173 122.5 81 84.5 33 70 76 69.3 58.7 6-6.8 2.5 〃 - 114D.C.O 201.5 143.5 92 92 39 85 89 113.5 92.2 8-8.5 5.0 （LX）3FLV - 25D.C.O 151.5 111.5 59 62 24.5 60 54 90 70 4-10 1.8 〃 - 40D.C.O 173 122.5 81 84.5 33 70 76 105 85 4-10 3.2 〃 - 50D.C.O 199.5 141.5 92 92 39 83 89 120 100 4-10 4.5 〃 - 65D.C.O 241 175.5 110 110 45.5 100 110 145 120 4-12 7.4 5 K K

手動 / Manual ■ WITH NW-KF FLANGES ■ WITH CF FLANGES ■ WITH JIS FLANGES 　 1FLV SERIES 　 2FLV SERIES 　 3FLV SERIES 外観図／ Schematic diagram φD φD E B E 回転フランジ Rotating flange N-φh B φD N-φh A φH φJ A K E φH φJ K F F A φJ F φH φJ φJ F N-φh F N-φh JISB 2290VG φJ F JISB 2290VF ※フランジ穴は　振り分けとする。 ※フランジ穴は　振り分けとする。 ※Flange holes classified according to diameter. ※Flange holes classified according to diameter. 寸法表／Table of dimensions 手動：Ｍ／ Manual:M Dimensions Approximate A B ∅H ∅D E F ∅J K N- ∅h Weight Model No. (kg) 1FLV - 16M 124.5 47 40 43 6 40 30 _ _ 0.6 〃 - 25M 136 59 54 43 8 50 40 _ _ 1.0 〃 - 40M 163 81 76 60 15 65 55 _ _ 1.6 〃 - 50M 176.5 92 89 60 20 70 75 _ _ 2.3 〃 - 63M 204.5 110 110 60 25 88 87 _ _ 4.1 2FLV - 70M 168 81 76 60 15 70 69.3 58.7 6-6.8 2.1 〃 - 114M 191.5 92 89 60 20 85 113.5 92.2 8-8.5 4.2 3FLV - 25M 146 59 54 43 8 60 90 70 4-10 1.6 〃 - 40M 168 81 76 60 15 70 105 85 4-10 2.7 〃 - 50M 189.5 92 89 60 20 83 120 100 4-10 3.8 〃 - 65M 216.5 110 110 60 25 100 145 120 4-12 5.8 6 K K

高真空アングルバルブ（80A～100A）/ HIGH VACUUM ANGLE VALVES（80A to 100A） ANGLE 高真空アングルバルブ （80A〜100A） VALVES High vacuum angle valves（ 80A to 100A） 型式表示方法／ Ordering Number Description D 自動型、複動 Automatic, double acting M 手動型 Manual 型式 ※開閉検知用センサー Type 　D：自動型にはリードスイッチが 　標準装着となります。 *Sensor for detecting open/closed アングルバルブの記号 　　D: Automatic type is equipped 　　　with lead switch as sta Angle valve symbol 1 LV 80 D フランジ種類 口　径（呼び径） Flange types Bore (nominal diameter) 1 NW-KFフランジ NW-KF flange 80 NW-KFフランジ NW-KF flange ※2 コンフラットフランジ Con flat flange* 100 JISフランジ JIS flange ※3 JIS(VG,VF)フランジ JIS (VG/VF) flange* 152 コンフラットフランジ Con flat flange* ※印は受注生産となります。 * Indicates production by special order. 203 片側固定、片側回転 One-side stationary/rotating 注 1）　電磁弁をオプションとして付ける場合は、必ず使用する電源仕様を明示ください。 Note 1） Be sure to specify power supply specifications if you need an optional solenoid valve. 7

仕様／ Specifications 使用圧力 Working pressure 大気圧〜 1 × 10-6 Pa Atmospheric pressure to 1 x 10-6 Pa リーク量 Leak volume ＜ 1 × 10-10 Pa･m3/s Below 1 x 10-10 Pa・m3/s 寿命回数 自動：20 万回　手動：5 万回 Automatic: 200,000 repetitions Manual: 50,000 repetitions Repetition life ( 注 ) 特注品にて　100 万回対応も可 (Note): Guaranteed life of 1 million repetitions is available by special order. 操作圧力 Operating pressure 0.4 〜 0.7MPa（自動） 0.4 to 0.7MPa（automatic） ベークアウト温度（耐熱温度） バルブボディ　120℃（MAX） Valve body 120℃（MAX） Bake-out temperature (heat endurance limit) ニューマチックアクチュエータ　65℃（MAX） Pneumatic actuator 65℃（MAX） バルブボディ：SUS304 Valve body: SUS304 ベローズ：SUS316L Bellows: SUS316L 主要構成材料 Main materials その他：アルミニウム Cylinder: Aluminum 弁座シール：バイトン ® Valve seat seal: Viton® ボンネットシール：バイトン ® Bonnet seal: Viton® 近接スイッチ ( 自動 ) Proximity switch (automatic) 発光ダイオード（赤） LED (red) 型式　PD11L1 付属品 Type PD11L1 茶 Brown Accessories 使用電圧　AC110V,DC24V ダイオード Diode Working voltage 110 ACV, 24 DCV 青 使用電流　AC5 〜 20mA,DC5 〜 40mA Blue Working current 5 to 20 ACmA, 5 to 40 DCmA シリンダ Cylinder ボンネットシール Bonnet seal ベローズ（溶接） Bellows(welded) バルブボディ Valve body 弁座シール Valve seat seal 技術データー／Technical data 口 径 Bore 80A 100A コンダクタンス 123ℓ／ sec 302ℓ／ sec Conductance 8

高真空アングルバルブ（80A～100A）/ HIGH VACUUM ANGLE VALVES（80A to 100A） 自 動：複 動 手動 Automatic:double acting Manual 外観図／ Schematic diagram 80A：2－Rc1／4 100A：2－Rc3／8 φE F φE φF H A φG A φG B B D D φG φG C C 寸法表／Table of dimensions 自動型／複動：D ／ Automatic / Double acting: D Dimensions Approximate A B C D ∅E F ∅G Weight Model No. (kg) 1LV- 80D 253 147 105 90 155 84 114 6.5 1LV-100D 299.5 173 120 100 185 104 134 10.5 手動型：M ／ Manual: M Dimensions Approximate A B C D ∅E ∅F ∅G H Weight Model No. (kg) 1LV- 80M 217 147 105 90 155 125 114 38 6.3 1LV-100M 243 173 120 100 185 140 134 50 9.3 9

外観図／ Schematic diagram ■2LV-152D／2LV-203D ■2LV-152M／2LV-203M ８０Ａ：２－Ｒｃ１／４ １００Ａ：２－Ｒｃ３／８ φE F φE φF H N-M8 N-M8 A A φG φG φK φK B B D D 回転フランジ 回転フランジ φG φG C Rotating C Rotating flange flange ■3LV-80D／3LV-100D ■3LV-80M／3LV-100M ８０Ａ：２－Ｒｃ１／４ １００Ａ：２－Ｒｃ３／８ φE F φE φF H N-φh N-φh A A φG φG φK φK B B D D φG φG C C 　 JIS B 2290VG　　 JIS B 2290VF 　 JIS B 2290VG　　 JIS B 2290VF ※フランジ穴は　振り分けとする。 ※フランジ穴は　振り分けとする。 ※Flange holes classified according to diameter. ※Flange holes classified according to diameter. 寸法表／Table of dimensions 自動型：複動 D ／ Automatic: Double acting D Dimensions Approximate A B C D ∅E F ∅G ∅K N-M8 Weight Model No. (kg) 2LV-152D 253 147 105 90 155 84 151.6 130.3 16 8.9 2LV-203D 304.5 178 130 105 185 104 202.4 181.1 20 15.3 手動型：M ／ Manual : M Dimensions Approximate A B C D ∅E ∅F ∅G H ∅K N-M8 Weight Model No. (kg) 2LV-152M 217 147 105 90 155 125 151.6 38 130.3 16 8.7 2LV-203M 248 178 130 105 185 140 202.4 50 181.1 20 14.1 自動型：複動 D ／ Automatic: Double acting D Dimensions Approximate A B C D ∅E F ∅G ∅K N- ∅h Weight Model No. (kg) 3LV- 80D 253 147 105 90 155 84 160 135 4-12 8.3 3LV-100D 299.5 173 120 100 185 104 185 160 8-12 12.7 手動型：M ／ Manual : M Dimensions Approximate A B C D ∅E ∅F ∅G H ∅K N- ∅h Weight Model No. (kg) 3LV- 80M 217 147 105 90 155 125 160 38 135 4-12 8.1 3LV-100M 243 173 120 100 185 140 185 50 160 8-12 11.5 10

高真空ストレートバルブ（16A～63A）/ HIGH VACUUM STRAIGHT VALVES（16A to 63A） STRAIGHT 高真空ストレートバルブ (16A〜63A) VALVES High vacuum straight valves (16A to 63A) 型式表示方法／ Ordering Number Description 無 記 入 １０万回　※１ D 自動型、複動 No entry 100,000 repetitions (*1) Automatic, double acting L X １００万回 ※２ C 自動型、単動(ノーマルクローズ) 1 million repetitions (*2) Automatic, single acting (normally closed) 寿命回数 O 自動型、単動(ノーマルオープン) Automatic, single acting (normally open) Repetition life ※1：手動型は5万回 M 手動型 ※2：LXシリーズに手動型は含みません。 Manual *1: 50,000 repetitions for manual type. *2: LX Series does not include a manual type. 型式 Type ストレートバルブの記号 Straight valve symbol 1 FSV 16 D 0 フランジ種類 フランジ種類 付属品 Flange types Flange types Accessories 1 NW-KFフランジ 16 NW-KF flange 0 付属品なし None 25 1 電磁弁､近接スイッチ付き With solenoid valve, proximity switch 40 ●NW-KFフランジ 2 電磁弁付き ●NW-KF flange With solenoid valve 50 3 近接スイッチ付き With proximity switch 63 注 1）　電磁弁をオプションとして付ける場合は、必ず使用する電源仕様を明示ください。 Note 1） Be sure to specify power supply specifications if you need an optional solenoid valve. 11

仕様／ Specifications 使用圧力 Working pressure 大気圧〜 1 × 10-6 Pa Atmospheric pressure to 1 x 10-6 Pa リーク量 Leak volume 　＜ 1 × 10-10 Pa･m3/s Below 1 x 10-10Pa・m3/s 1FSV( 自動 )　10 万回 FSV (automatic) 100,000 repetitions 寿命回数 Repetition life 1FSV( 手動 )　 5 万回 FSV (manual) 50,000 repetitions LX-1FSV( 自動 )　100 万回 LX- FSV (automatic) 1 million repetitions 操作圧力 Operating pressure 0.5 〜 0.6MPa( 自動 ) 0.5 to 0.6 MPa (automatic) バルブボディ　120℃（MAX） Valve body 120℃（MAX） ベークアウト温度（耐熱温度） Bake-out temperature (heat endurance limit) ニューマチックアクチュエータ　65℃（MAX） Pneumatic actuator 65℃（MAX） 電磁弁付きの場合　50℃ In the case of those with solenoid valve50℃ バルブボディ：SUS304 Valve body:SUS304 ベローズ：SUS316L(1FSV) Bellows:SUS316L( □ FSV) 主要構成材料 　　　　：ハステロイ ® C-22(LX-1FSV) 　　　　: Hastelloy ® C-22(LX- □ FSV) Main materials シリンダ：アルミニウム Cylinder: Aluminum 弁座シール：バイトン ® Valve seat seal: Viton® ボンネットシール：バイトン ® Bonnet seal: Viton® シリンダ Cylinder ボンネットシール Bonnet seal べローズ（成形） Bellows (formed) バルブボディ Valve body 弁座シール Valve seat seal 技術データー／Technical data 口 径 Bore 16A 25A 40A 50A 63A コンダクタンス 1FSV 4ℓ／ sec 10ℓ／ sec 32ℓ／ sec 70ℓ／ sec 107ℓ／ sec Conductance LX-1FSV 3ℓ／ sec 9ℓ／ sec 27ℓ／ sec 52ℓ／ sec 93ℓ／ sec 12

高真空ストレートバルブ（16A～63A）/ HIGH VACUUM STRAIGHT VALVES（16A to 63A） 自 動／（複動・単動［ノーマルオープン・クローズ］） 手動 Automatic/Double acting, Single acting [normally open・normally closed] Manual 外観図／ Schematic diagram B B NAPAJ NI E Rc1/8 DAM E E C B A φ C A φ H φ H φ φ G G D D 寸法表／Table of dimensions 自動型：複動 D, 単動 C（ノーマルクローズ）, 単動 O（ノーマルオープン） Automatic: Double acting [D], Single acting [C] (normally closed), Single acting [O]（ normally open） Dimensions Approximate A B C D E ∅F ∅G ∅H Weight Model No. (kg) （LX）1FSV - 16D.C.O 110.5 47 50 80 49 30 20 40 0.7 〃 - 25D.C.O 116 59 62 100 48.5 40 27.2 54 1.2 〃 - 40D.C.O 135 81 84.5 130 59.5 55 42.7 76 2.2 〃 - 50D.C.O 159 92 92 160 67 75 60.5 89.1 3.5 〃 - 63D.C.O 196.5 110 110 190 74.5 87 76.3 110 6.0 手動型：M ／ Manual : M Dimensions Approximate A B ∅C D E ∅F ∅G ∅H Weight Model No. (kg) 1FSV - 16M 102.5 47 43 80 6 30 20 40 0.6 〃 - 25M 110.5 59 43 100 8 40 27.2 54 1.0 〃 - 40M 130 81 60 130 15 55 42.7 76 1.7 〃 - 50M 149 92 60 160 20 75 60.5 89.1 2.6 〃 - 63M 171 110 60 190 20 87 76.3 110 4.4 13 45° φF 45° φF

電磁弁及び近接スイッチの仕様（16A〜63Aへ適用） Solenoid valve and proximity switch specifications (applied for 16A to 63A) オプション／ Option ①電磁弁仕様 ②近接スイッチ仕様 　Solenoid valve specifications 　Proximity switch specifications 仕　様 Specification 仕　様 Specification 12.5 18.0 2-φ2.8 外形寸法図 External dimension φ3.4 11.0 15.0 diagram 22.5 3 外形寸法図 External dimension diagram 型式 TOH(CKD) Model AC 110V 34.0 負荷電圧 24.0 Load Voltage DC 12/24V AC 7〜 20mA 80.7 負荷電流 Load Current DC 5 〜 50mA 型　式 内部電圧降下 Model A110-4EI-PLL.DC24V（標準 Standard） 2.4VA Internal voltage drop 漏れ電流 使用電圧範囲 (DC12V) (DC24V) (AC100V) (AC200V) 0mA Leak Current Working voltage range 右記より選択可能 10.8 〜 21.6 〜 13.2 26.4 90 〜 132 180 〜 264 絶縁抵抗 DC500Vメガーにて 20M Ω以上 Insulating resistance More than 20M Ω at DC500V megohmmeter 起動 (mA) 絶縁耐圧 AC1000V　1 分間 電流値 Start - - 36 32 18 16 Breakdown Voltage AC1000V　1 minute Current 励磁 (mA) 耐衝撃 Excitation 130 65 24 20 12 10 294m/S2 Impact resistance 絶縁抵抗 使用温度範囲 －10 〜＋ 60℃（但し凍結無し事） Insulating resistance >100M Ω Operating temperature range -10 〜 +60℃ (No freezing) 結線方式 保護構造 IP67（IEC 規格）,JIS C0920（防浸形）耐油 Connection type プラグコネクタ式 Plug connector Protective Structure IP67(IEC Standard), JIS C0920(Water tight type) Oil proof 茶（+） 赤（+） 表示灯 発行ダイオード（ON 時点灯） リード線色 Brown (+) Red (+) 黄 白 Indicator light LEDs ON Lead wire color 黒（-） 黒（-） Yellow White Black (-) Black (-) 青 LED インジケータの色 赤 黄 緑 Blue LED indicator color Red Yellow Green 電気回路 Electrical circuit サージ対策 フライホイルダイオード バリスタ Countermeasures against surge current Fly wheel diode Variable resistor 茶 Brown 使用圧力範囲 Working pressure range 0.15MPa 〜 0.7MPa(1.5 〜 7kg/cm2) 適合負荷 リレー・プログラマブルコンコントローラー 発光ダイオード Load Impedance Relay / Programable controller LED リード線 電気回路 DC 結線要領 Lead wir（e ＋） + Working pressure range DC12V：茶色 Brown DC24V：赤色 Red　 DC connection scheme リード線 Lead wir（e －）：黒色 Black － 14

高真空アングルバルブ オプション / HIGH VACUUM ANGLE VALVES OPTION 外観図／ Schematic diagram ③近接スイッチ、電磁弁付 　With proximity switch/solenoid valve B マニホールド A Manifold 近接スイッチ Proximity switch Rc1/8 電磁弁 Solenoid valve 寸法表／Table of dimensions Dimensions A B C D Model No. （LX）1FLV - 16D.C.O − − 50 70 （81.7） （81.2） 〃 - 25D.C.O − （LX）3FLV - 25D.C.O 62 82 （88.7） （79.7） 〃 - 40D.C.O （LX）2FLV - 70D.C.O 〃 - 40D.C.O 84.5 104.5 （101.7） （81.7） 〃 - 50D.C.O 〃 - 114D.C.O 〃 - 50D.C.O 92 112 （107.2） （83.2） 〃 - 63D.C.O − 〃 - 65D.C.O 110 130 （116.2） （82.2） 15 D C

IKCの主要製品 MAIN PRODUCTS べローズ ゲートバルブ 真空機器 Bellows Gate valves Vacuum components ■ 溶接べローズ ■ 角型ゲートバルブ ■ チャンバー Welded bellows Rectangular type gate valves Chambers ■ 成形べローズ ■ 丸型ゲートバルブ ■ 導入機 Formed bellows Round type gate valves Feedthroughs ■ フレキシブルチューブ ■ 大型ゲートバルブ（角型） Flexible tubes Large-size rectangular type gate valves ■ L 型バルブ（アングルバルブ） L-shape valves ※製品改良のため仕様寸法等を適宜変更することがありますのでご了承ください。 ※最新の情報は、入江工研 Web サイト https://www.ikc.co.jp/ にてご確認下さい。 ※ Specifications subject to change without notice. ※ Please confirm the latest information on the website of IRIE KOKEN CO., LTD. 　[ https://www.ikc.co.jp/ ] 1. 取付／接続／ご使用にあたっては、取付姿勢にご注意ください。その他ご利用に当たっては製品仕様をご確認ください。 2. 本製品の保証期間は弊社工場出荷後18 ヶ月とさせていただきます。 3. 保証期間内において、弊社の製品に不具合が生じた場合、無償にて修理または交換をさせていただきます。 4. 当社の保証ポリシーについては、入江工研 web サイト https://www.ikc.co.jp/company/Product_Warranty.htmlに記載させていただいております。 ご確認ください。 ご注意 1. Be sure to note mounting posture when mounting, connecting or using. Be sure to check the specifications if you plan to use the Cautions product for use other than it is designed for. 2. These products are guaranteed for a period of 18 months after the day they are shipped from the factory. 3. If a defect occurred to the product during warranty period, it will be repaired or replaced free of charge. 4. Our warranty policy is described on the website of IRIE KOKEN CO.,LTD. at https://www.ikc.co.jp/company/Product_Warranty.html. Please check it. ■ 本 社 〒 100-0011 東京都千代田区内幸町 2-2-3 日比谷国際ビル 414 Head Office TEL：03-3507-9611　FAX：03-3507-9615 HibiyaKokusai-bldg 414, 2-2-3 Uchisaiwaicho, Chiyoda-ku, Tokyo, Japan 100-0011 ■ 大 阪 営 業 所 〒 550-0002 大阪市西区江戸堀 1-2-11 大同生命南館 Osaka Office TEL：06-6445-2630　FAX：06-6459-3350 Daido Seimei Minami-Kan 1-2-11 Edobori, Nishi-ku, Osaka, Japan 550-0002 ■ 工 　 　 場 埼玉県（テクニカルセンター），愛媛県（内子工場・中山工場） F a c t o r y Saitama-ken（Technical Center）, Ehime-ken（ Uchiko Factory・Nakayama Factory） 販売代理店 Distributor W1805