高真空アングルバルブシリーズ

Page 1:HIGH VACUUM ANGLEVALVE SERIES■ ANGLE VALVES(16A∼65A)■ ANGLE VALVES(80A∼100A)■ STRAIGHT VALVES(16A∼63A)高真空アングルバルブシリーズNo.310

Page 2:2概要 / Overview ＩＫＣの高真空アングルバルブは豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズを内蔵した長寿命の真空バルブです。取り扱いが非常に便利な ISO 規格の NW-KF フランジ付きと、超高真空用及び有毒なガス系にも使用可能なコンフラットフランジ付き、又一般ＪＩＳ真空フランジ付きの 3 種類の接続形式に、手動及び自動 ( 圧空式 ) をシリーズ化しました。また、バルブのメンテナンス期間を延長させる目的で、LX シリーズ（100 万回仕様）も新しく規格品として用意しました。1. バルブ材質の真空側は全てステンレス（SUS）で構成されています。2. 全体がコンパクト設計により小型、軽量化されています。3. 正圧、逆圧、どちらも 0.15MPa の差圧でも漏れません。4. 取り付け姿勢が自由。（特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り付け姿勢を推奨しております。）5. 機能設計により大きなコンダクタンスが得られます。6. 片側回転フランジのため、取付けが容易。( コンフラットフランジ )1. The vacuum side of the valve is of all stainless steel (SUS) construction.2. Compact design enables small size and lightweight construction.3. Will not leak at pressure differential of 0.15 MPa regardless of whetherpressure is positive or negative.4. Mounting posture is unrestricted. (Unless otherwise specified, werecommend mounting posture with the valve seat facing the side withgreater pressure variation.)5. Functional design offers maximum conductance.6. One-way rotating flange facilitates mounting. (con flat flange)IRIE KOKEN's high vacuum angle valves are long-life vacuum valves with built-in formed or welded bellows. The valves off your choice of three flanges forconnection: the user-friendly NW-KF flange that conforms to ISO standards, con flatflange that can be used for handling ultra-high vacuums or toxic gases, or commonvacuum flange that conforms to JIS. The series also offers both manual andautomatic (pneumatic) models.The LX Series (guaranteed life of 1 million repetitions) has also been added as astandard product to extend time until next maintenance is required.特徴 / Features

Page 3:3高真空アングルバルブ（16A ∼ 65A）/ HIGH VACUUM ANGLE VALVES（16A to 65A）FLV 16 D 01付属品Accessoriesフランジ種類Flange typesフランジ種類Flange types無 記 入L X123１０万回 ※１１００万回 ※２No entry 100,000 repetitions (*1)1 million repetitions (*2)※1：手動型は5万回※2：LXシリーズに手動型は含みません。*1: 50,000 repetitions for manual type.*2: LX Series does not include a manual type.NW-KFフランジコンフラットフランジ※JIS(VG,VF)フランジNW-KF flangeCon flat flange*JIS (VG/VF) flangeDCOM自動型、複動自動型、単動(ノーマルクローズ)自動型、単動(ノーマルオープン)手動型Automatic, double actingAutomatic, single acting (normally closed)Automatic, single acting (normally open)Manual0123付属品なし電磁弁､近接スイッチ付き電磁弁付き近接スイッチ付きNoneWith solenoid valve, proximity switchWith solenoid valveWith proximity switch1625405063(65)70114●NW-KFフランジ●JISフランジコンフラットフランジ※片側固定、片側回転* One-side stationary, one-side rotatingアングルバルブの記号Angle valve symbol●NW-KF flange●JIS (VG/VF) flangeCon flat flange型式Type寿命回数Repetition life注 1) 電磁弁をオプションとして付ける場合は、必ず使用する電源仕様を明示ください。Note 1）Be sure to specify power supply specifications if you need an optional solenoid valve.型式表示方法／ Ordering Number Description高真空アングルバルブ（16A ∼ 65A）High vacuum angle valves（16A to 65A）ANGLEVALVES

Page 4:4シリンダCylinderボンネットシールBonnet sealべローズ（成形）Bellows (formed)バルブボディValve body弁座シールValve seat seal技術データー／Technical data仕様／ Specifications使用圧力Working pressure大気圧 ∼ 1 × 10-6Pa Atmospheric pressure to 1 x 10-6Paリーク量Leak volume＜ 1 × 10-10Pa･m3/s Below 1 x 10-10Pa・m3/s寿命回数Repetition life□ FLV( 自動 ) 10 万回 FLV (automatic) 100,000 repetitions□ FLV( 手動 )  5 万回 FLV (manual) 50,000 repetitionsLX- □ FLV( 自動 ) 100 万回 LX- FLV (automatic) 1 million repetitions操作圧力Operating pressure0.5 ∼ 0.6MPa（自動） 0.5 to 0.6 MPa (automatic)ベークアウト温度（耐熱温度）Bake-out temperature (heat endurance limit)バルブボディ 120℃（MAX） Valve body 120℃（MAX）ニューマチックアクチュエータ 65℃（MAX） Pneumatic actuator 65℃（MAX）電磁弁付きの場合 50℃（MAX） In the case of those with solenoid valve50℃（MAX）主要構成材料Main materialsバルブボディ：SUS304 Valve body:SUS304ベローズ：SUS316L( □ FLV) Bellows:SUS316L( □ FLV)    ：ハステロイ ®C-22(LX- □ FLV) : Hastelloy®C-22(LX- □ FLV)シリンダ：アルミニウム Cylinder: Aluminum弁座シール：バイトン ®Valve seat seal: Viton®ボンネットシール：バイトン ®Bonnet seal: Viton®口 径 Bore 16A 25A 40A 50A (63A)65AコンダクタンスConductance□ FLV 4ℓ／ sec 10ℓ／ sec 32ℓ／ sec 70ℓ／ sec 107ℓ／ secLX- □ FLV 3ℓ／ sec 9ℓ／ sec 27ℓ／ sec 52ℓ／ sec 93ℓ／ sec

Page 5:5高真空アングルバルブ（16A ∼ 65A）/ HIGH VACUUM ANGLE VALVES（16A to 65A）自動 ( 複動 ･ 単動 [ ノーマルオープン ･ クローズ ])Automatic (Single acting/Double acting [normally open/closed])■ WITH NW-KF FLANGES 1FLV SERIES LX-1FLV SERIES■ WITH CF FLANGES 2FLV SERIES LX-2FLV SERIES■ WITH JIS FLANGES 3FLV SERIES LX-3FLV SERIES寸法表／ Table of dimensions外観図／ Schematic diagram自動型：複動D,単動C（ノーマルクローズ）,単動O（ノーマルオープン）Automatic: Double acting [D], Single acting [C] （normally closed）, Single acting [O] (normally open)AEBφH φJφJN-φhFF（D.Oに使用）Used for D,O Rc1/8KN-φhKAEBφH φJφJN-φhFF（D.Oに使用）Used for D,O Rc1/8KN-φhKDCAEBφH φJφJFF（D.Oに使用）Used for D,O Rc1/8（D.Cに 使用） Rc1/8 Used for D,C（D.Cに 使用） Rc1/8 Used for D,C（D.Cに 使用） Rc1/8 Used for D,C回転フランジRotatingflange JISB 2290 VG JISB 2290 VF※フランジ穴は 振り分けとする。※Flange holes classified according to diameter.※フランジ穴は 振り分けとする。※Flange holes classified according to diameter.DimensionsA B C D E F ∅H ∅J K N- ∅hWeight(kg)Model No.（LX）1FLV - 16D.C.O 132.5 93 47 50 22.5 40 40 30 - - 0.7〃 - 25D.C.O 141.5 101.5 59 62 24.5 50 54 40 - - 1.1〃 - 40D.C.O 168 117.5 81 84.5 33 65 76 55 - - 2.1〃 - 50D.C.O 186.5 128.5 92 92 39 70 89 75 - - 3.3〃 - 63D.C.O 229 163.5 110 110 45.5 88 110 87 - - 8.4（LX）2FLV - 70D.C.O 173 122.5 81 84.5 33 70 76 69.3 58.7 6-6.8 2.5〃 - 114D.C.O 201.5 143.5 92 92 39 85 89 113.5 92.2 8-8.5 5.2（LX）3FLV - 25D.C.O 151.5 111.5 59 62 24.5 60 54 90 70 4-10 1.8〃 - 40D.C.O 173 122.5 81 84.5 33 70 76 105 85 4-10 3.2〃 - 50D.C.O 199.5 141.5 92 92 39 83 89 120 100 4-10 4.5〃 - 65D.C.O 241 175.5 110 110 45.5 100 110 145 120 4-12 9.8

Page 6:6手動 / Manual■ WITH NW-KF FLANGES  1FLV SERIES■ WITH CF FLANGES  2FLV SERIES■ WITH JIS FLANGES  3FLV SERIES手動：Ｍ／ Manual:MBBEAφHφDφJφJFFφJφJN-φhFFKN-φhKEAφHφDφJφJN-φhFFKN-φhKEA φHφDJISB 2290VGJISB 2290VF※フランジ穴は 振り分けとする。※Flange holes classified according to diameter.※フランジ穴は 振り分けとする。※Flange holes classified according to diameter.回転フランジRotating flange寸法表／ Table of dimensions外観図／ Schematic diagramDimensionsA B ∅H ∅D E F ∅J K N- ∅hWeight(kg)Model No.1FLV - 16M 124.5 47 40 43 6 40 30 _ _ 0.6〃 - 25M 136 59 54 43 8 50 40 _ _ 1.0〃 - 40M 163 81 76 60 15 65 55 _ _ 1.6〃 - 50M 176.5 92 89 60 20 70 75 _ _ 2.5〃 - 63M 204.5 110 110 60 25 88 87 _ _ 6.62FLV - 70M 168 81 76 60 15 70 69.3 58.7 6-6.8 2.1〃 - 114M 191.5 92 89 60 20 85 113.5 92.2 8-8.5 4.43FLV - 25M 146 59 54 43 8 60 90 70 4-10 1.6〃 - 40M 168 81 76 60 15 70 105 85 4-10 2.7〃 - 50M 189.5 92 89 60 20 83 120 100 4-10 3.8〃 - 65M 216.5 110 110 60 25 100 145 120 4-12 8.0

Page 7:高真空アングルバルブ（80A ∼ 100A）/ HIGH VACUUM ANGLE VALVES（80A to 100A）7LV 80 D180100152203NW-KFフランジJISフランジコンフラットフランジ片側固定、片側回転※印は受注生産となります。* Indicates production by special order.※開閉検知用センサー D：自動型にはリードスイッチが 標準装着となります。*Sensor for detecting open/closed  D: Automatic type is equipped   with lead switch as staNW-KF flangeJIS flangeCon flat flange*One-side stationary/rotating1※2※3NW-KFフランジコンフラットフランジJIS(VG,VF)フランジNW-KF flangeCon flat flange*JIS (VG/VF) flange*DM自動型、複動手動型Automatic, double actingManualフランジ種類Flange typesアングルバルブの記号Angle valve symbol型式Type口 径（呼び径）Bore (nominal diameter)型式表示方法／ Ordering Number Description高真空アングルバルブ (80A ∼ 100A）High vacuum angle valves（80A to 100A）注 1） 電磁弁をオプションとして付ける場合は、必ず使用する電源仕様を明示ください。Note 1）Be sure to specify power supply specifications if you need an optional solenoid valve.ANGLEVALVES

Page 8:8Valve seat sealValve bodyBellows(welded)Bonnet sealCylinder弁座シールベローズ（溶接）バルブボディボンネットシールシリンダ技術データー／Technical data仕様／ Specifications使用圧力Working pressure大気圧∼ 1 × 10-6Pa Atmospheric pressure to 1 x 10-6Paリーク量Leak volume＜ 1 × 10-10Pa･m3/s Below 1 x 10-10Pa・m3/s寿命回数Repetition life自動：20 万回 手動：5 万回( 注 ) 特注品にて 100 万回対応も可Automatic: 200,000 repetitionsManual: 50,000 repetitions(Note): Guaranteed life of 1 millionrepetitions is available by special order.操作圧力Operating pressure0.4 ∼ 0.7MPa（自動） 0.4 to 0.7MPa（automatic）ベークアウト温度（耐熱温度）Bake-out temperature (heat endurance limit)バルブボディ 120℃（MAX） Valve body 120℃（MAX）ニューマチックアクチュエータ 65℃（MAX） Pneumatic actuator 65℃（MAX）主要構成材料Main materialsバルブボディ：SUS304 Valve body: SUS304ベローズ：SUS316L Bellows: SUS316Lその他：アルミニウム Cylinder: Aluminum弁座シール：バイトン ®Valve seat seal: Viton®ボンネットシール：バイトン ®Bonnet seal: Viton®付属品Accessories近接スイッチ ( 自動 )Proximity switch (automatic)型式 PD11L1Type PD11L1使用電圧 AC110V,DC24VWorking voltage 110 ACV, 24 DCV使用電流 AC5 ∼ 20mA,DC5 ∼ 40mAWorking current 5 to 20 ACmA, 5 to 40 DCmA口 径 Bore 80A 100AコンダクタンスConductance123ℓ／ sec 302ℓ／ sec茶Brown青Blue発光ダイオード（赤）LED (red)ダイオード Diode

Page 9:高真空アングルバルブ（80A ∼ 100A）/ HIGH VACUUM ANGLE VALVES（80A to 100A）9自 動：複 動Automatic:double acting手動ManualAFφEBφGφGDC80A：2−Rc1／4100A：2−Rc3／8AφFφEBφGφGDCH自動型／複動：D ／ Automatic / Double acting: D手動型：M ／ Manual: M寸法表／ Table of dimensions外観図／ Schematic diagramDimensionsA B C D ∅E ∅F ∅G HWeight(kg)Model No.1LV- 80M 217 147 105 90 155 125 114 38 5.41LV-100M 243 173 120 100 185 140 134 50 8.2DimensionsA B C D ∅E F ∅GWeight(kg)Model No.1LV- 80D 253 147 105 90 155 84 114 6.91LV-100D 299.5 173 120 100 185 104 134 10.5

Page 10:1010寸法表／ Table of dimensions外観図／ Schematic diagramAFφEBφGφGDCN-M8φKAφFφEBφGφGDCHN-M8φKAFφEBφGφGDCN-φhφKAφFφEBφGφGDCN-φhφKH■2LV-152D／2LV-203D ■2LV-152M／2LV-203M■3LV-80D／3LV-100D ■3LV-80M／3LV-100M回転フランジRotatingflange回転フランジRotatingflange  JIS B 2290VG   JIS B 2290VF※フランジ穴は 振り分けとする。※Flange holes classified according to diameter.  JIS B 2290VG   JIS B 2290VF※フランジ穴は 振り分けとする。※Flange holes classified according to diameter.８０Ａ：２−Ｒｃ１／４１００Ａ：２−Ｒｃ３／８８０Ａ：２−Ｒｃ１／４１００Ａ：２−Ｒｃ３／８自動型：複動 D ／ Automatic: Double acting D手動型：M ／ Manual : M自動型：複動 D ／ Automatic: Double acting D手動型：M ／ Manual : MDimensionsA B C D ∅E F ∅G ∅K N-M8Weight(kg)Model No.2LV-152D 253 147 105 90 155 84 151.6 130.3 16 7.72LV-203D 304.5 178 130 105 185 104 202.4 181.1 20 13.0DimensionsA B C D ∅E ∅F ∅G H ∅K N-M8Weight(kg)Model No.2LV-152M 217 147 105 90 155 125 151.6 38 130.3 16 6.22LV-203M 248 178 130 105 185 140 202.4 50 181.1 20 10.7DimensionsA B C D ∅E F ∅G ∅K N- ∅hWeight(kg)Model No.3LV- 80D 253 147 105 90 155 84 160 135 4-12 7.23LV-100D 299.5 173 120 100 185 104 185 160 8-12 10.6DimensionsA B C D ∅E ∅F ∅G H ∅K N- ∅hWeight(kg)Model No.3LV- 80M 217 147 105 90 155 125 160 38 135 4-12 5.73LV-100M 243 173 120 100 185 140 185 50 160 8-12 8.3

Page 11:11高真空ストレートバルブ（16A ∼ 63A）/ HIGH VACUUM STRAIGHT VALVES（16A to 63A）11高真空ストレートバルブ (16A ∼ 63A)High vacuum straight valves (16A to 63A)型式表示方法／ Ordering Number DescriptionFSV 16 D 01ストレートバルブの記号Straight valve symbol1 NW-KFフランジNW-KF flange1625405063●NW-KFフランジ●NW-KF flange付属品Accessoriesフランジ種類Flange typesフランジ種類Flange typesDCOM自動型、複動自動型、単動(ノーマルクローズ)自動型、単動(ノーマルオープン)手動型Automatic, double actingAutomatic, single acting (normally closed)Automatic, single acting (normally open)Manual0123付属品なし電磁弁､近接スイッチ付き電磁弁付き近接スイッチ付きNoneWith solenoid valve, proximity switchWith solenoid valveWith proximity switch型式Type無 記 入L X１０万回 ※１１００万回 ※２No entry 100,000 repetitions (*1)1 million repetitions (*2)※1：手動型は5万回※2：LXシリーズに手動型は含みません。*1: 50,000 repetitions for manual type.*2: LX Series does not include a manual type.寿命回数Repetition life注 1） 電磁弁をオプションとして付ける場合は、必ず使用する電源仕様を明示ください。Note 1）Be sure to specify power supply specifications if you need an optional solenoid valve.STRAIGHTVALVES

Page 12:1212バルブボディValve bodyシリンダCylinderボンネットシールBonnet sealべローズ（成形）Bellows (formed)弁座シールValve seat seal技術データー／Technical data仕様／ Specifications使用圧力Working pressure大気圧∼ 1 × 10-6Pa Atmospheric pressure to 1 x 10-6Paリーク量Leak volume ＜ 1 × 10-10Pa･m3/s Below 1 x 10-10Pa・m3/s寿命回数Repetition life1FSV( 自動 ) 10 万回 FSV (automatic) 100,000 repetitions1FSV( 手動 )  5 万回 FSV (manual) 50,000 repetitionsLX-1FSV( 自動 ) 100 万回 LX- FSV (automatic) 1 million repetitions操作圧力Operating pressure0.5 ∼ 0.6MPa( 自動 ) 0.5 to 0.6 MPa (automatic)ベークアウト温度（耐熱温度）Bake-out temperature (heat endurance limit)バルブボディ 120℃（MAX） Valve body 120℃（MAX）ニューマチックアクチュエータ 65℃（MAX） Pneumatic actuator 65℃（MAX）電磁弁付きの場合 50℃ In the case of those with solenoid valve50℃主要構成材料Main materialsバルブボディ：SUS304 Valve body:SUS304ベローズ：SUS316L(1FSV) Bellows:SUS316L( □ FSV)    ：ハステロイ ®C-22(LX-1FSV)     : Hastelloy ®C-22(LX- □ FSV)シリンダ：アルミニウム Cylinder: Aluminum弁座シール：バイトン ®Valve seat seal: Viton®ボンネットシール：バイトン ®Bonnet seal: Viton®口 径 Bore 16A 25A 40A 50A 63AコンダクタンスConductance1FSV 4ℓ／ sec 10ℓ／ sec 32ℓ／ sec 70ℓ／ sec 107ℓ／ secLX-1FSV 3ℓ／ sec 9ℓ／ sec 27ℓ／ sec 52ℓ／ sec 93ℓ／ sec

Page 13:13高真空ストレートバルブ（16A ∼ 63A）/ HIGH VACUUM STRAIGHT VALVES（16A to 63A）13寸法表／ Table of dimensionsBEAφHφGφCBDφF45°EAφHφGDφF45°BCRc1/8MADEINJAPAN自 動／（複動・単動［ノーマルオープン・クローズ］）Automatic/Double acting, Single acting [normally open・normally closed]手動Manual自動型：複動 D, 単動 C（ノーマルクローズ）, 単動 O（ノーマルオープン）Automatic: Double acting [D], Single acting [C] (normally closed), Single acting [O]（normally open）手動型：M ／ Manual : MDimensionsA B C D E ∅F ∅G ∅HWeight(kg)Model No.（LX）1FSV 16D.C.O 110.5 47 50 80 49 30 20 40 0.7〃 25D.C.O 116 59 62 100 48.5 40 27.2 54 1.2〃 40D.C.O 135 81 84.5 130 59.5 55 42.7 76 2.2〃 50D.C.O 159 92 92 160 67 75 60.5 89.1 3.5〃 63D.C.O 196.5 110 110 190 74.5 87 76.3 110 9.0DimensionsA B ∅C D E ∅F ∅G ∅HWeight(kg)Model No.1FSV 16M 102.5 47 43 80 6 30 20 40 0.6〃 25M 110.5 59 43 100 8 40 27.2 54 1.0〃 40M 130 81 60 130 15 55 42.7 76 1.7〃 50M 149 92 60 160 20 75 60.5 89.1 2.8〃 63M 171 110 60 190 20 87 76.3 110 7.2外観図／ Schematic diagram

Page 14:14オプション／ Option電磁弁及び近接スイッチの仕様（16A ∼ 63A へ適用）Solenoid valve and proximity switch specifications (applied for 16A to 63A)①電磁弁仕様 Solenoid valve specifications②近接スイッチ仕様 Proximity switch specifications仕 様 Specification外形寸法図External dimension diagram型 式ModelA110-4EI-PLL.DC24V（標準 Standard）使用電圧範囲Working voltage range右記より選択可能(DC12V) (DC24V) (AC100V) (AC200V)10.8 ∼13.221.6 ∼26.490 ∼ 132 180 ∼ 264電流値Current起動 (mA)Start- - 36 32 18 16励磁 (mA)Excitation130 65 24 20 12 10絶縁抵抗Insulating resistance>100M Ω結線方式Connection typeプラグコネクタ式 Plug connectorリード線色Lead wire color茶（ ）Brown ( )赤（ ）Red ( ) 黄Yellow白White黒（-）Black (-)黒（-）Black (-)LED インジケータの色LED indicator color赤Red黄Yellow緑Greenサージ対策Countermeasures against surge currentフライホイルダイオードFly wheel diodeバリスタVariable resistor使用圧力範囲Working pressure range0.15MPa ∼ 0.7MPa(1.5 ∼ 7kg/cm2)電気回路 DC 結線要領Working pressure rangeDC connection scheme仕 様 Specification外形寸法図External dimensiondiagram型式ModelTOH(CKD)負荷電圧Load VoltageAC 110VDC 12/24V負荷電流Load CurrentAC 7∼ 20mADC 5 ∼ 50mA内部電圧降下Internal voltage drop2.4VA漏れ電流Leak Current0mA絶縁抵抗Insulating resistanceDC500Vメガーにて 20M Ω以上More than 20M Ω at DC500V megohmmeter絶縁耐圧Breakdown VoltageAC1000V 1 分間AC1000V 1 minute耐衝撃Impact resistance294m/S2使用温度範囲Operating temperature range−10 ∼＋ 60℃（但し凍結無し事）-10 ∼ 60℃ (No freezing)保護構造Protective StructureIP67（IEC 規格）,JIS C0920（防浸形）耐油IP67(IEC Standard), JIS C0920(Water tight type) Oil proof表示灯Indicator light発行ダイオード（ON 時点灯）LEDs ON電気回路Electrical circuit適合負荷Load Impedanceリレー・プログラマブルコンコントローラーRelay / Programable controller18.012.5 2-φ2.811.0 15.034.080.724.0− リード線Lead wire（＋）DC12V：茶色 BrownDC24V：赤色 Red リード線Lead wire（−）：黒色 Black発光ダイオードLEDφ3.4322.5茶Brown青Blue

Page 15:高真空アングルバルブ オプション / HIGH VACUUM ANGLE VALVES OPTION15寸法表／ Table of dimensions外観図／ Schematic diagramSolenoid valveProximity switchManifold近接スイッチ電磁弁Rc1/8DマニホールドACB③近接スイッチ、電磁弁付 With proximity switch/solenoid valveDimensionsA B C DModel No.（LX）1FLV 16D.C.O − − 50 70 （81.7） （81.2）〃 25D.C.O − （LX）3FLV 25D.C.O 62 82 （88.7） （79.7）〃 40D.C.O （LX）2FLV 70D.C.O 〃 40D.C.O 84.5 104.5 （101.7） （81.7）〃 50D.C.O 〃 114D.C.O 〃 50D.C.O 92 112 （107.2） （83.2）〃 63D.C.O − 〃 65D.C.O 110 130 （116.2） （82.2）

Page 16:■ 本 社Head Office〒 100-0005 東京都千代田区丸の内 3-1-1 国際ビル 813TEL：03-3211-7111 FAX：03-3211-7110813 Kokusai-bldg. 3-1-1 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo, Japan 100-0005■ 大 阪 営 業 所Osaka Office〒 550-0002 大阪市西区江戸堀 1-2-11 大同生命南館TEL：06-6445-2630 FAX：06-6459-3350Daido Seimei Minami-Kan 1-2-11 Edobori, Nishi-ku, Osaka, Japan 550-0002■ 工 場 埼玉県（テクニカルセンター），愛媛県（内子工場・中山工場）F a c t o r y Saitama-ken（Technical Center）, Ehime-ken（Uchiko Factory・Nakayama Factory）ご注意Cautions1. 取付／接続／ご使用にあたっては、取付姿勢にご注意ください。その他ご利用に当たっては製品仕様をご確認ください。2. 本製品の保証期間は弊社工場出荷後 18 ヶ月とさせていただきます。3. 保証期間内において、弊社の製品に不具合が生じた場合、無償にて修理または交換をさせていただきます。4. 下記項目に対しては、保証対象外とさせていただきます。① 異常な使用方法による故障② 弊社の合意なく行われた修理や改造等による故障③ 火災、天災等の不可抗力な災害による故障5. 本製品の故障についてのみの責任範囲とさせていただきます。1. Be sure to note mounting posture when mounting, connecting or using. Be sure to check the specifications if you plan to use theproduct for use other than it is designed for.2. These products are guaranteed for a period of 18 months after the day they are shipped from the factory.3. If a defect occurred to the product during warranty period, it will be repaired or replaced free of charge.4. The following are not covered by the guarantee:① Mechanical failure caused by use in manner other than specified.② Mechanical failure caused by unauthorized repair or modification.③ Mechanical failure caused by fire or natural disaster.5. IRIE KOKEN assumes that the responsibility for mechanical failure covers this product only.※製品改良のため仕様寸法等を適宜変更することがありますのでご了承ください。※最新の情報は、入江工研 Web サイト http://www.ikc.co.jp/ にてご確認下さい。※ Specifications subject to change without notice.※ Please confirm the latest information on the website of IRIE KOKEN CO., LTD.  [ http://www.ikc.co.jp/ ]販売代理店Distributor■ 溶接べローズWelded bellows■ 成形べローズFormed bellows■ フレキシブルチューブFlexible tubes■ 角型ゲートバルブRectangular type gate valves■ 丸型ゲートバルブRound type gate valves■ 大型ゲートバルブ（角型）Large-size rectangular type gate valves■ L 型バルブ（アングルバルブ）L-shape valves■ チャンバーChambers■ 導入機FeedthroughsべローズBellows真空機器Vacuum componentsゲートバルブGate valvesIKCの主要製品MAIN PRODUCTSW1609