ゲートバルブ

No.320 GATE VALVE ゲートバルブ ■ KOSLARZE ■ GARIVA ■ CDV/MARINA/LINK/ROLL to ROLL

概要 / Overview 　当社は、半導体製造における微細加工技術の進歩とともに歩み、無摺動ゲートバルブ「コ スラーズ」を完成させました。またディスプレイ製造装置においても、基板の大型化と高 いシール性を両立させるため、メタルベローズ技術を応用した大型ゲートバルブ「GARIVA」 を完成し、30 年以上に渡り真空ゲートバルブを半導体市場、FPD 市場にご提供してま いりました。 We have completed the non-sliding gate valve“ Koslarze” with the progress of microfabrication technology in semiconductor manufacturing. In display manufacturing equipment, we have completed the large gate valve“ GARIVA” that applies metal bellows technology in order to achieve both large substrate size and high sealing performance, and have been using vacuum gate valves in the semiconductor market and FPD market for over 30 years. GATE VALVE 同圧－逆圧対応（真空 - 真空 / メンテ時逆圧仕切り） S a m e p r e s s u r e - r e v e r s e p r e s s u r e correspondence (vacuum-vacuum / reverse pressure partition during maintenance) ANGLE VALVE GATE VALVE（Door Valve） 正圧対応（大気 - 真空仕切り） Supports positive pressure ( a t m o s p h e r e - v a c u u m partition) GATE VALVE（Main Valve） BELLOWS 同圧対応（オプション 逆圧） Same pressure support (option: reverse pressure) 　この 30 年の間、半導体市場は Moore の法則に縛られない発展を遂げ、微細化はマイ クロスケールからナノスケールへ急激に進歩してきました。製造装置も弛まぬ技術開発に より微細化を実現し、それに搭載される真空ゲートバルブも絶えず性能向上が求められて います。当社は市場要求の高まりに対応すべく、日々高機能化に取り組んでおります。 Over the last three decades, the semiconductor market has evolved without being bound by Moore's Law, and miniaturization has made rapid progress from Microscale to nanoscale. Manufacturing equipment has also been miniaturized through continuous technological development, and the vacuum gate valves mounted on it are also required to constantly improve their performance. We are working on high functionality every day to meet the growing market demand. ショックレス、ノンパーティクル、メンテフリー Shockless、Non-particle、maintenance-free ポスト５G Post 5G パーティクルフリー Particle free AI step3 5G 5nm step2 イージーメンテナンス 高いシール性 7nm Easy maintenance High sealability step1 10nm ゲートバルブに求められる 3 要素 半導体産業のトレンド Three elements required for gate valves Semiconductor industry trends 2

ゲートバルブカタログ /GATEVALVES　CATALOG 真空ゲートバルブの種類 /Type of GATE VALVE 真空装置には、気体や液体が通過する経路の遮断、真空環境の制御に様々なゲートバル ブが用いられます。開口部形状が丸型のものは主に気体、光等の導入、仕切り弁として用 いるため、主に真空配管の接続部に使用されます。開口部形状が角型のものは真空装置 の中で主に半導体製造装置、フラットパネルディスプレイ製造装置（以下 FPD 製造装置） において、搬送される基板の投入口や二つの真空チャンバーの間に配し、仕切り弁として 使用されます。下記表は代表的な当社ゲートバルブです。 Various gate valves are used in vacuum equipment to block the path through which gases and liquids pass and to control the vacuum environment. The round opening is mainly used for introducing gas, light, etc., and as a sluice valve, so it is mainly used for the connection part of vacuum piping. Among vacuum equipment, those with a square opening are mainly placed in semiconductor manufacturing equipment and flat panel display manufacturing equipment (hereinafter referred to as FPD manufacturing equipment) at the input port of the substrate to be transported or between two vacuum chambers. It is used as a sluice valve. The table below shows our typical gate valves. 真空チャンバー ゲートバルブ Vacuum chamber Gate valve 基板 Substrate 真空ポンプ Vacuum pump 基板通過後、弁体が開口をシールする After passing through the substrate, the valve plate seals the opening ■ Normal type 『無摺動』を設計思想として開発し､ 発展させたゲートバルブです。誕生以来その確かな性能を評価され、現在で は様々な市場､ 環境で御使用頂いております。開口サイズ、圧力条件、高温対応、弁箱有無等々お客様の多種多 様なニーズに合わせてカスタマイズ致します。 ■ Normal type KOSLARZE A gate valve developed and developed with "non-sliding" as a design concept. Since its birth, its reliable performance has been evaluated, and it is now used in various markets and environments. We will customize it according to the diverse needs of our customers, such as opening size, pressure conditions, high temperature compatibility, and the presence or absence of a valve box. ■ seal 方向切替 type Normal type に更なる機能を持たせたゲートバルブです。seal 方向をトランスファーチャンバー側へ切り替える ことにより、大気開放するプロセスチャンバー以外の真空を保持､ それによりプロセスチャンバーのメンテナンス 中も装置の稼働を継続できます。その状態でプロセスチャンバー側の弁板 seal 用 O-ring の交換も容易に可能で す。 ■ seal direction switching type A gate valve with additional functions added to the Normal type. By switching the seal direction to the transfer chamber side, a vacuum other than the process chamber that is open to the atmosphere is maintained, so that the equipment can continue to operate even during maintenance of the process chamber. In that state, the O-ring for the valve plate seal on the process chamber side can be easily replaced. ■ L-motion type 大開口サイズを得意とする当社の代名詞であるゲートバルブです。弁板ユニットに自社製ベローズを組み合わせた シリンダーを搭載することで大開口であっても安定した seal 性を確保することができます。また差圧キャンセル 構造を取り入れることにより、逆圧対応時に弁板に作用する圧力差を大幅に低減することも可能です。 GARIVA ■ L-motion type It is a gate valve that is synonymous with our company, which specializes in large opening sizes. By mounting a cylinder that combines an in-house bellows on the valve plate unit, stable sealability can be ensured even with a large opening. In addition, by incorporating a differential pressure canceling structure, it is possible to significantly reduce the pressure difference that acts on the valve plate when dealing with reverse pressure. ■ T-motion type L-motion type を進化させたゲートバルブです。Lock ～ Free 時に 2 枚の弁板を同時に動作させることで動作 時間の短縮が可能です。またロッドの変形も無いことから、反力による振動の発生も抑えられます。運転モード の切替もオプションとして選択することができます。 ■ T-motion type A gate valve that is an evolution of the L-motion type. The operating time can be shortened by operating the two valve plates at the same time during Lock to Free. In addition, since there is no deformation of the rod, the generation of vibration due to the reaction force can be suppressed. Switching of operation mode can also be selected as an option. 3

真空ゲートバルブの種類 /Type of GATE VALVE 次世代機開発 1990 1996 2003 2013 2017 Next-generation valve development 無摺動ゲートバルブ 半導体 12in 対応 大型 FPD 対応 需要拡大に伴い 半導体向け モータ駆動タイプ 丸形コスラーズ開発 コスラーズⅡ開発 差圧キャンセルバルブ開発 新型リリース 低パーティクル仕様 FPD 両方向シール 東北大学向け 1993 For 12-inch semiconductors MARINA,GARIVA New GARIVA リリース Motor drive type 超高真空対応 半導体対応 KOSLARZE II development For large FPDs 基板サイズ G6 ～ For semiconductors FPD bidirectional seal Non-sliding gate valve 角型コスラーズ開発 Differential pressure cancel New release due to growing Low particle specification release Round-type KOSLARZE 8in 向けリリース 1995 2000 valve development demand 2018 development Development of square- MARINA,GARIVA New GARIVA For Tohoku University FPD 向け量産 FPD 向け拡大 半導体向け type KOSLARZE for For substrate size G6 and Ultra high vacuum 基板サイズ ~G3 基板サイズ G4 コスラーズⅡ semiconductors above シール切替仕様開発 compatible ・角型コスラーズ Expansion for FPD For semiconductors Release for 8-inch ・排気用メインバルブ For substrate size G4 KOSLARZE II Development of seal switching コンパック開発 specifications 1994 Mass production for FPD 2001 2005 2015 2017 For substrate size G3 FPD 向け参入 Development of main valve 半導体向け FPD 向け需要拡大 OLED 向け需要拡大 中国市場拡大 基板サイズ G2 対応 COMPAQ for exhaust コンパクトコスラーズ GARIVA New GARIVA New GARIVA 角型コスラーズ リリース 基板サイズ G5~G8 基板サイズ G6 基板サイズ G8.5~10.5 COMPAQ KOSLARZE Expanding demand for FPD Expanding demand for Chinese market expansion For the FPD Release for Semiconductors GARIVA OLED New GARIVA For substrate size G2 Square-type KOSLARZE For substrate size G5-G8 New GARIVA For substrate size G8.5 ~ 10.5 For substrate size G6 拠点 /Offices and factories Gate Valves IKC Korea IKC KOREA CO.,Ltd. テクニカルセンター Technical Center HIKC Hangzhou Ye Rong Trade Co., Ltd. 本社 Head Quarter 四国事業所 大阪営業所 Shikoku Plant Osaka Sales Office CIKC Changzhou IRIE Precision Co.,Ltd. 台湾代理店 生産拠点　　　　　　　 Production Sites Po Hsuan Enterprises Co., Ltd. 営業拠点　　　　　　　 Sales Sites 海外メンテナンス拠点　　 Overseas Maintenance Sites 開発拠点　　　　　　　 Development Sites 4

ゲートバルブカタログ /GATEVALVES　CATALOG 真空ゲートバルブ　コスラーズ　片面シール /Normal type KOSLARZE Vacuum gate valve KOSLARZE　Single-sided seal 仕様／ Specifications リーク量 本体：1 × 10-10[Pa･m3/s] Body：1 × 10-10[Pa･m3/s] -10 3 -10 3 Leak rate 弁体：5 × 10 [Pa･m /s] Gate：5 × 10 [Pa･m /s] （ 逆圧） （ Negative pressure） 使用温度 本体 :120[℃ ] Body/Gate:120[℃ ] Temperature アクチュエータ :60[℃ ] Actuator:60[℃ ] 開閉時間 Open/Close moving time 1.0 ～ 3.0[s] 1.0 ～ 3.0[s] 弁箱 :A5052/SUS304 Body:A5052/SUS304 材質 ベローズ :AM350 Bellows:AM350 Material 弁板 :A5052/SUS304 Gate:A5052/SUS304 シール材 :FKM Sealing:FKM 操作圧力 Operating Air pressure 0.45 ～ 0.55[MPa] 0.45 ～ 0.55[MPa] 寿命 Service life 100 万回 1M[Cycles] オプション 加熱仕様の追加 : 弁体 , 本体 Heating function:Gate,Body Option 圧力方向 : 同圧 , 正圧 Sealing direction:Equal,Positive pressure パーティクルフリー Particle free シンプルな構造 Simple structure 長寿命（自社ベローズ採用） Long life (using in-house bellows) 5

真空ゲートバルブ　コスラーズ　両面シール / Seal 方向切替えType KOSLARZE Vacuum gate valve KOSLARZE　Both-sided seal 仕様／ Specifications リーク量 本体：1 × 10-10[Pa･m3/s] Body：1 × 10-10[Pa･m3/s] -10 Leak rate 弁体：5 × 10 [Pa･m3/s] Gate：5 × 10-10[Pa･m3/s] （ 同圧） （ Equal pressure） 使用温度 本体 :120[℃ ] Body/Gate:120[℃ ] Temperature アクチュエータ :60[℃ ] Actuator:60[℃ ] 開閉時間 Open/Close moving time 1.0 ～ 3.0[s] 1.0 ～ 3.0[s] 弁箱 :A5052/SUS304 Body:A5052/SUS304 材質 ベローズ :AM350、SUS316L Bellows:AM350、SUS316L Material 弁板 :A5052 Gate:A5052 シール材 :FKM Sealing:FKM 操作圧力 Operating Air pressure 0.45 ～ 0.55[MPa] 0.45 ～ 0.55[MPa] 寿命 Service life 100 ～ 300 万回 1 ～ 3M[Cycles] オプション 加熱仕様の追加 : 弁体 , 本体 Heating function:Gate,Body Option 圧力方向 : 逆圧 Sealing direction:Negative pressure 高負荷プロセス向け For high load processes 弁体イージーメンテナンス Valve body easy maintenance 長寿命（自社ベローズ採用） Long life (using in-house bellows) 6

ゲートバルブカタログ /GATEVALVES　CATALOG GARIVA 高真空ゲートバルブ　ガリバー　片面シール / L-motion Vacuum gate valve GARIVA　Single-sided seal 仕様／ Specifications 本体：1 × 10-10 リーク量 [Pa･m3/s] Body：1 × 10-10[Pa･m3/s] 弁体：5 × 10-10 Leak rate [Pa･m3/s] Gate：5 × 10-10[Pa･m3/s] （ 逆圧） （ Negative pressure） 使用温度 本体 :120[℃ ] Body/Gate:120[℃ ] Temperature アクチュエータ :60[℃ ] Actuator:60[℃ ] 開閉時間 Open/Close moving time 2.5 ～ 5.0[s] 2.5 ～ 5.0[s] 弁箱 :A5052/SUS304 Body:A5052/SUS304 材質 ベローズ :AM350、SUS304 Bellows:AM350、SUS304 Material （ 圧力キャンセル） (Pressure cancellation)　 弁板 :A5052 Gate:A5052 シール材 :FKM Sealing:FKM 操作圧力 Operating Air pressure 0.45 ～ 0.60[MPa] 0.45 ～ 0.60[MPa] 寿命 Service life 100 万回 1M[Cycles] オプション 圧力キャンセル無し仕様　 Spec without Pressure Option cancellation FPD/OLED 装置向け超大型対応（～ G10.5） For ultra-large FPD / OLED devices( ～ G10.5) 圧力キャンセル機構搭載 Equipped with pressure canceling mechanism 長寿命（自社ベローズ採用） Long life (using in-house bellows) 7

GARIVA 高真空ゲートバルブ　ガリバー　両面シール /T-motion Vacuum gate valve GARIVA　Both-sided seal　T-motion 仕様／ Specifications リーク量 本体：1 × 10-10[Pa･m3/s] Body：1 × 10-10[Pa･m3/s] Leak rate 弁体：5 × 10-10[Pa･m3/s] Gate：5 × 10-10[Pa･m3/s] （ 同圧） （ Equal pressure） 使用温度 本体 :120[℃ ] Body/Gate:120[℃ ] Temperature アクチュエータ :60[℃ ] Actuator:60[℃ ] 開閉時間 Open/Close moving time 2.0 ～ 4.0[s] 2.0 ～ 4.0[s] 弁箱 :A5052/SUS304 Body:A5052/SUS304 材質 ベローズ :AM350 Bellows:AM350 Material 弁板 :A5052 Gate:A5052 シール材 :FKM Sealing:FKM 操作圧力 Operating Air pressure 0.45 ～ 0.60[MPa] 0.45 ～ 0.60[MPa] 寿命 Service life 100 万回 1M[Cycles] FPD/OLED 装置向け超大型対応（～ G10.5） For ultra-large FPD / OLED devices( ～ G10.5) T-motion 機構による高速動作 High-speed operation by T-motion mechanism 長寿命（自社ベローズ採用） Long life (using in-house bellows) 8

ゲートバルブカタログ /GATEVALVES　CATALOG CDV 真空ゲートバルブ　CDV Vacuum gate valve　CDV 仕様／ Specifications Gate：5 × 10-10 3 リーク量 弁体：5 × 10-10[Pa･m3/s] [Pa･m /s] Leak rate （ 同圧 / 正圧） （Equa l/Pos i t ive pressure） 使用温度 本体 :120[℃ ] Body/Gate:120[℃ ] Temperature アクチュエータ :60[℃ ] Actuator:60[℃ ] 開閉時間 Open/Close moving time 2.5 ～ 5.0[s] 2.5 ～ 5.0[s] 材質 弁板 :A5052 Gate:A5052 Material シール材 :FKM Sealing:FKM 操作圧力 Operating Air pressure 0.45 ～ 0.60[MPa] 0.45 ～ 0.60[MPa] 寿命 Service life 100 万回 1M[Cycles] ロードロックチャンバ用大気ゲート Atmospheric gate for load lock chamber FPD/OLED 装置向け超大型対応（～ G10.5） For ultra-large FPD / OLED devices( ～ G10.5) シンプル機構による高い信頼性 High reliability due to simple mechanism 9

MARINA 丸型ゲートバルブ　マリーナ　排気バルブ Vacuum gate valve　MARINA Exhaust valve 仕様／ Specifications リーク量 本体：1 × 10-10[Pa･m3/s] Body：1 × 10-10[Pa･m3/s] Leak rate 弁体：5 × 10-10[Pa･m3/s]（逆圧） Gate：5 × 10-10[Pa･m3/s]（Negative pressure） 使用温度 本体 :120[℃ ] Body/Gate:120[℃ ] Temperature アクチュエータ :60[℃ ] Actuator:60[℃ ] 開閉時間 Open/Close moving time 3.0 ～ 5.0[s] 3.0 ～ 5.0[s] 弁箱 :AC4C-T6 Body:AC4C-T6 材質 ベローズ :SUS316L( 圧力キャンセル ) Bellows:SUS316L(Pressure cancellation)　 Material 弁板 : アルミニウム　 Gate:A5052 シール材 :FKM Sealing:FKM 操作圧力 Operating Air pressure 0.45 ～ 0.60[MPa] 0.45 ～ 0.60[MPa] 寿命 Service life 100 万回 1M[Cycles] オプション Option 圧力キャンセル無し仕様　 Spec without Pressure cancellation 口径 型式 A B C D E Bore Type 250 M-250J(S)-2(3) 460 655 100 134.5 250 320 M-320J(S)-2(3) 555 790 120 129.5 320 400 M-400J(S)-2(3) 630 944 135 129 400 排気用メインバルブ Main valve for exhaust 圧力キャンセル機構搭載 Equipped with pressure canceling mechanism 500A（開発品）対応可能 Compatible with 500A (developed product) 10

ゲートバルブカタログ /GATEVALVES　CATALOG LINK 真空ゲートバルブ　リンク式 Vacuum gate valve　Link 仕様／ Specifications 本体：1 × 10-10[Pa･m3/s] リーク量 弁体：5 × 10-10[Pa･m3/s]（同圧） Leak rate Body：1 × 10-10[Pa･m3/s] Gate：5 × 10-10[Pa･m3/s]（Equal pressure） 本体 :120[℃ ] 使用温度 アクチュエータ :60[℃ ] Temperature Body/Gate:120[℃ ] Actuator:60[℃ ] 開閉時間 Open/Close moving time 3.0 ～ 5.0[s] 弁箱 :SUS304 弁板 :A5052/SUS304 材質 シール材 :FKM Material Body:SUS304 Gate:A5052/SUS304 Sealing:FKM オール SUS 可能 操作圧力 All SUS is possible Operating Air pressure 0.45 ～ 0.60[MPa] 熱に強い構造弁体機構 10 ～ 30 万回 寿命 Heat-resistant structural valve body mechanism Service life 100 ～ 300K[Cycles] ローラ摺動部あり With roller sliding part ROLL to 真空ゲートバルブ　ROLL to ROLL ROLL Vacuum gate valve　ROLL to ROLL 仕様／ Specifications 本体：1 × 10-10[Pa･m3/s] リーク量 弁体：5 × 10-10[Pa･m3/s]（同圧） Leak rate Body：1 × 10-10[Pa･m3/s] Gate：5 × 10-10[Pa･m3/s]（Equal essure） 本体 :120[℃ ] 使用温度 アクチュエータ :60[℃ ] Temperature Body/Gate:120[℃ ] Actuator:60[℃ ] 開閉時間 Open/Close moving time 1.0 ～ 3.0[s] 弁箱 :A5052 ベローズ :AM350 弁板 :A5052 材質 シール材 :FKM Material Body:A5052 Bellows:AM350 Gate:A5052/SUS304 Sealing:FKM 操作圧力 フィルムデバイス用 Operating Air pressure 0.45 ～ 0.60[MPa] For film devices 30 万回 差動排気による真空保持（～ 0.1Pa） 寿命 Service life Vacuum holding by differential exhaust( ～ 0.1Pa) 300K[Cycles] 11

IKCの主要製品 MAIN PRODUCTS べローズ ゲートバルブ 真空機器 Bellows Gate valves Vacuum components ■ 溶接べローズ ■ 角型ゲートバルブ ■ チャンバー Welded bellows Rectangular type gate valves Chambers ■ 成形べローズ ■ 丸型ゲートバルブ ■ 導入機 Formed bellows Round type gate valves Feedthroughs ■ フレキシブルチューブ ■ 大型ゲートバルブ（角型） Flexible tubes Large-size rectangular type gate valves ■ L 型バルブ（アングルバルブ） L-shape valves ※製品改良のため仕様寸法等を適宜変更することがありますのでご了承ください。 ※最新の情報は、入江工研 Web サイト https://www.ikc.co.jp/ にてご確認下さい。 ※ Specifications subject to change without notice. ※ Please confirm the latest information on the website of IRIE KOKEN CO., LTD. 　[ https://www.ikc.co.jp/ ] 1. 取付／接続／ご使用にあたっては、取付姿勢にご注意ください。その他ご利用に当たっては製品仕様をご確認ください。 2. 本製品の保証期間は弊社工場出荷後18 ヶ月とさせていただきます。 3. 保証期間内において、弊社の製品に不具合が生じた場合、無償にて修理または交換をさせていただきます。 4. 下記項目に対しては、保証対象外とさせていただきます。 ① 異常な使用方法による故障 ② 弊社の合意なく行われた修理や改造等による故障 ③ 火災、天災等の不可抗力な災害による故障 ご注意 5. 本製品の故障についてのみの責任範囲とさせていただきます。 Cautions 1. Be sure to note mounting posture when mounting, connecting or using. Be sure to check the specifications if you plan to use the product for use other than it is designed for. 2. These products are guaranteed for a period of 18 months after the day they are shipped from the factory. 3. If a defect occurred to the product during warranty period, it will be repaired or replaced free of charge. 4. The following are not covered by the guarantee: ① Mechanical failure caused by use in manner other than specified. ② Mechanical failure caused by unauthorized repair or modification. ③ Mechanical failure caused by fire or natural disaster. 5. IRIE KOKEN assumes that the responsibility for mechanical failure covers this product only. ■ 本 社 〒 100-0005 東京都千代田区丸の内 3-1-1 国際ビル 813 Head Office TEL：03-3211-7111　FAX：03-3211-7110 813 Kokusai-bldg. 3-1-1 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo, Japan 100-0005 ■ 大 阪 営 業 所 〒 550-0002 大阪市西区江戸堀 1-2-11 大同生命南館 Osaka Office TEL：06-6445-2630　FAX：06-6459-3350 Daido Seimei Minami-Kan 1-2-11 Edobori, Nishi-ku, Osaka, Japan 550-0002 ■ 工 　 　 場 埼玉県（テクニカルセンター），愛媛県（内子工場・中山工場） F a c t o r y Saitama-ken（Technical Center）, Ehime-ken（ Uchiko Factory・Nakayama Factory） 販売代理店 Distributor W2111