特殊形状ベローズ

No.250 SPECIAL SHAPE BELLOWS 特殊形状ベローズ ■ RECTANGLE ■ OVAL ■ CUSTOM

概要 / Overview 矩形ベローズシリーズ Rectangular Bellows Series RECTANGLE 矩形ベローズとは、正方形、長方形の開口を基本形状としたベローズです。チャンバーとチャンバーの 接続部やチャンバーとゲートバルブの接続部の取り付け誤差吸収用に御使用頂いております。入江工研 の矩形ベローズは折込ベローズと溶接ベローズの２種類ご用意し、取付誤差吸収用から伸縮変位用と 様々なニーズに合った製品を御提案致します。 Rectangular bellows with square or rectangular profiles are used for adjust-alignment in the joining between chambers, or between a chamber and a gate valve. IRIE KOKEN manufactured rectangular bellows are available in two types, folded bellows and welded bellows and offering products can meet various requirements from adjust-alignment to expansion/contraction displacement. 長円形ベローズシリーズ Oval Bellows Series OVAL 長円形ベローズとは、角丸長方形（二つの等しい長さの平行線と二つの半円形。別名オーバルトラック） の開口を基本形状としたベローズです。矩形ベローズでは変位性能を出しにくい角部を半円状にする 事で変位性能を向上させた製品です。入江工研の長円形ベローズは成形ベローズと溶接ベローズの ２種類ご用意し、取付誤差吸収用から伸縮変位用と様々なニーズに合った製品を御提案致します。 Oval bellows with rounded rectangular profiles, which is also called an "Oval track" with two parallel lines of the same length and two semicircles, can improve displacement performance by changing the square corners of the rectangular bellows to a semicircular corner. IRIE KOKEN manufactured oval bellows are available in two types, formed bellows and welded bellows and offering products can meet various requirements from adjust-alignment to expansion/contraction displacement. 自由形ベローズシリーズ Custom Shape Bellows Series CUSTOM 自由形ベローズとは、お客様の御要望に沿った開口で製作するベローズです。装置設計や配管設計の 都合上、丸形や矩形・長円形ではベローズのスペースが確保出来ない場合などに、空いているスペースで 適切な開口形状に製作する製品です。入江工研の自由形ベローズは溶接ベローズ１種類となりますが、 取付誤差吸収用から伸縮変位用と様々なニーズに合った製品を御提案致します。 Custom shape bellows/ Custom bellows are manufactured according to customer requirements. These products can be manufactured to the appropriate shape in the space available when equipment design or piping design does not leave enough space for circular, rectangular, or oval bellows. Presently, IRIE KOKEN only manufactured welded type custom bellows, that can meet various requirements from adjust- alignment to expansion/contraction displacement. 【形状種別】 【製法種別】 【性能種別】 Shape types Manufacturing method types Performance types 矩形（正・長方形） 折込ベローズ 取付誤差吸収用 Rectangular Folded bellows For adjust-alignment 長円形（トラック形） 成形ベローズ Oval (oval track) Formed bellows QCD特徴 伸縮 変位用 自　由　形 溶接ベローズ For expansion Features of QCD Custom shape Welded bellows /contraction displacement 形状種別 製法種別 性能種別 サイズ 変位性能 耐圧性能 検討納期 製品納期 初期費用 製品価格 Shape types Manufacturing method types Performance types Size Displacement performance Pressure performance Consideration/delivery time Product delivery time Initial cost Product price 既存サイズ 折込 取付誤差 Existing size × × ◎ ◎ ◎ ◎ Folded For adjust-alignment 新規サイズ New size × × ○ ○ ○ ○ 既存サイズﾞ 矩　形 取付誤差 Existing size △ ○ ○ ○ ◎ ○ Rectangular For adjust-alignment 新規サイズ 溶接 New size △ ○ △ △ △ △ Welded 既存サイズﾞ 伸縮吸収 Existing size ○ ◎ ○ △ ◎ △ For the expansion/ contraction 新規サイズ New size ○ ◎ × × × × 既存サイズ 成形 取付誤差 Existing size △ △ ○ ○ ◎ ◎ Formed For adjust-alignment 新規サイズ New size △ △ × △ × ○ 既存サイズ 長円形 取付誤差 Existing size ○ ○ ○ ○ ◎ ○ Oval For adjust-alignment 新規サイズ 溶接 New size ○ ○ △ △ △ △ Welded 既存サイズﾞ 伸縮吸収 Existing size ◎ ◎ ○ △ ◎ △ For the expansion/ contraction 新規サイズ New size ◎ ◎ × × × × 取付誤差 新規サイズ ○形状による ○形状による 自由形 溶接 For errors New size Depending on the shape Depending on the shape △ △ △ △ Custom shape Welded 伸縮吸収 新規サイズ ◎形状による ◎形状による For the expansion/contraction New size Depending on the shape Depending on the shape × × × × ※◎有利～×不利 2

特殊形状ベローズ / SPECIAL SHAPE BELLOWS 矩形ベローズ RECTANGLE Rectangular Bellows ■ 矩形　溶接ベローズ 　伸縮変位タイプRectangular Bellows Expansion/Contraction displacement Type １．正方形、長方形の開口を基本形状としたベローズで、大幅の伸縮変位吸収を目的とする、 高品質なベローズです。 ２．変位量、耐久性及び圧力条件を考慮した安全設計及び、最適治工具の製作、最適製法を 採用する事で①大幅変位量の確保　②伸縮耐久性の向上　③品質の安定を可能として います。 ３．豊富な設計技術、製作技能により製作された製品である為、高真空の領域でも安心して 御使用可能です ※新規サイズにつきましては、最適治工具の製作を必要とする為、イニシャルコストが高価となります。又、最適治工具の 製作期間及び型式性能確認期間を要する為、長納期となります。 1. High quality bellows with square or rectangular profiles are intended for a large amount of expansion/contraction displacement. Wo Wi 2. These bellows allow for ：① the absorption of a large amount of displacement, ② improvement in expansion/contraction durability, and ③ stable quality, due to a safety design that considers displacement amount, high durability, and pressure conditions, and the manufacturing of appropriate fixtures and adoption of optimal manufacturing methods. 3. Can be used safely even in high vacuum environments, as they are manufactured adopting extensive design techniques and production skills. ※ New sizes require the manufacturing of optimal fixtures, which will considerably increase initial cost. In addition, delivery will require an extended period of time because of the additional period required for manufacturing optimal fixtures and verifying model performance. ■ 矩形　溶接ベローズ 　取付誤差吸収タイプRectangular Welded Bellows Adjust-Alignment Type １．正方形、長方形の開口を基本形状としたベローズで、取付誤差吸収から少幅の伸縮変位 吸収を目的とする、安価なベローズです。 ２．変位量、耐久性を考慮した最適設計及び、材料取りから溶接組立までの合理的製法を 採用する事で①御要求性能の確保　②短納期　③低価格を可能としています。 ３．豊富な設計技術、製作技能により製作された製品である為、高真空の領域でも安心して 御使用可能です。 ※１．大きな伸縮変位を吸収する仕様ではない為、作動範囲、繰り返し性伸縮能などの制約があります。 ※２．新規サイズにつきましては冶工具類の製作を必要とする為、イニシャルコストが多少掛かります。 1. Low cost bellows with square or rectangular profiles are intended for adjust-alignment and a small amount of expansion/contraction displacement. 2. These bellows allow for ：① securing the required performance, ② short delivery times, and Wo ③ low cost, due to an optimal design that considers displacement amount and high durability, Wi and the adoption of optimal manufacturing processes, from material cutting to welding and assembly. 3. Can be used safely even in high vacuum environments as they are manufactured adopting extensive design techniques and production skills. ※ 1. There are some restrictions on specifications such as operating range and repeated expansion/ contraction capability, since the bellows are not designed to absorb a large amount of expansion/ contraction displacement. ※ 2. New sizes require the manufacturing of fixtures, etc., which will slightly increase initial cost. ■ 矩形　折込ベローズ 　取付誤差吸収タイプRectangular Folded Bellows Adjust-Alignment Type １．正方形、長方形の開口を基本形状としたベローズで、取付誤差吸収のみを目的とする、 最も安価なベローズです。 ２．蛇腹部材を共通材料とし、必要な開口寸法に加工、溶接する製法を採用する事で①開口 サイズの柔軟性　②低価格を可能としています。 ３．加工、溶接を簡略化させた製法を採用する事でニッケル合金などの特殊鋼による製作も 可能です。 ※開口形状を保持する剛性が弱い為、内外部の圧力差、直線部の長さ、面間などの制約があります。 1. The lowest cost bellows with square or rectangular profiles are intended for adjust-alignment only. 2. These bellows allow for ：① flexible shapes dimensions, ② low cost, due to the use of common bellows parts, and the adoption of processing and welding methods which allow the bellows to have the necessary shapes and dimensions. 3. Manufacturing using special steel such as nickel based alloys is also possible, due to the Wo adoption of simplified processing and welding methods. Wi ※ There are restrictions on specifications such as the difference in external and internal pressure, length of the linear portion, and face-to-face distance because the rigidity that maintains the shape is weak. 3 Ho Hi Ho Ho Hi Hi

長円形ベローズ OVAL Oval Bellows ■ 長円形　溶接ベローズ　伸縮変位タイプOval Welded Bellows Expansion/Contraction displacement Type １．正方形、長方形の開口を基本形状としたベローズで、大幅の伸縮変位吸収を目的とする、 高品質なベローズです。 ２．変位量、耐久性及び圧力条件を考慮した安全設計及び、最適治工具の製作、最適製法を 採用する事で①大幅変位量の確保　②伸縮耐久性の向上　③品質の安定を可能として います。 ３．豊富な設計技術、製作技能により製作された製品である為、高真空の領域でも安心して 御使用可能です。 ※新規サイズにつきましては、最適治工具の製作を必要とする為、イニシャルコストが高価となります。又、最適治工具の 製作期間及び型式性能確認期間を要する為、長納期となります。 1. High quality bellows with rounded rectangular profiles are intended for a large amount of expansion/contraction displacement. Wo Wi 2. These bellows allow for： ① the absorption of a large amount of displacement, ② improvement in expansion/contraction durability, and ③ stable quality, due to a safety design that considers displacement amount, high durability, and pressure conditions, and the manufacturing of appropriate fixtures and adoption of optimal manufacturing methods. 3. Can be used safely even in high vacuum environments, as they are manufactured adopting extensive design techniques and production skills. ※ New sizes require the manufacturing of optimal fixtures, which will considerably increase initial cost. In addition, delivery will require an extended period of time because of the additional period required for manufacturing optimal fixtures and verifying model performance. ■ 長円形　溶接ベローズ　取付誤差吸収タイプOval Formed Bellows Adjust-Alignment Type １．角丸長方形の開口を基本形状としたベローズで、取付誤差吸収から少幅の伸縮変位 吸収を目的とする、安価なベローズです。 ２．変位量、耐久性を考慮した最適設計及び、材料取りから溶接組立までの合理的製法を 採用する事で①御要求性能の確保　②低価格を可能としています。 ３．豊富な設計技術、製作技能により製作された製品である為、高真空の領域でも安心して 御使用可能です。 ※１．大きな伸縮変位を吸収する仕様ではない為、作動範囲、繰り返し性伸縮能などの制約があります。 ※２．新規サイズにつきましては冶工具類の製作を必要とする為、イニシャルコストが多少掛かります。 1. Low cost bellows with rounded rectangular profiles are intended for adjust-alignment and a small amount of expansion/contraction displacement. 2. These bellows allow for： ① securing the required performance, ② low cost, due to an optimal Wo design that considers displacement amount and durability, and the adoption of optimal Wi manufacturing processes from cutting materials to welding and assembling. 3. Can be used safely even in high vacuum environments, as they are manufactured adopting extensive design techniques and production skills. ※ 1. There are some restrictions on specifications such as operation range and repeated expansion/ contraction capability, since the bellows are not designed to absorb a large amount of expansion/ contraction displacement. ※ 2. New sizes require the manufacturing of fixtures, etc., which will slightly increase initial cost. ■ 長円形　成形ベローズ　取付誤差吸収タイプOval Formed Bellows Adjust-Alignment Type １．角丸長方形の開口を基本形状としたベローズで、取付誤差吸収から小幅の伸縮吸収を 目的とする、安価なベローズです。 ２．シームレス管、溶接管を材料とし、必要な開口寸法に成形する製法を採用する事で ①材質の柔軟性　②低価格を可能としています。 ３．高度な溶接、成形技術によりニッケル合金などの特殊鋼及び、アルミニウム、銅などの 非鉄金属による製作も可能です。 ※１．開口形状を保持する剛性が弱い為、内外部の圧力差、直線部の長さ、面間などの制約があります。 ※２．新規サイズにつきましては冶工具類の製作を必要とする為、イニシャルコストが高価となります。 1. Low cost bellows with rounded rectangular profiles are intended for adjust-alignment and a small amount of expansion/contraction displacement. 2. These bellows allow for： ① flexibility of materials, ② low cost through the use of seamless Wo pipes and welded pipes as materials, and the adoption of manufacturing methods that allow Wi the bellows to have the necessary shapes dimensions. 3. Manufacturing using special steel such as nickel based alloys as well as nonferrous metal such as aluminum and copper is also possible through the adoption of sophisticated welding and forming techniques. ※ 1. There are restrictions on specifications such as the difference in external and internal pressure, length of the linear portion, and face-to-face distance because of the rigidity that causes the shape is weak. ※ 2. New sizes require the manufacturing of fixtures, etc., which will slightly increase initial cost. 4 Ho Ho Ho Hi Hi Hi

特殊形状ベローズ / SPECIAL SHAPE BELLOWS CUSTOM 自由形ベローズ Custom Shape Bellows ■ 自由形　溶接ベローズ　伸縮変位タイプCustom Shape Welded Bellows Expansion/Contraction displacementType １．お客様の御要望に沿った開口形状のベローズで、大幅の伸縮変位吸収を目的とする、高 品質なベローズです。 ２．変位量、耐久性及び圧力条件を考慮した安全設計及び、最適治工具の製作、最適製法を 採用する事で①大幅変位量の確保　②伸縮耐久性の向上　③品質の安定を可能として います。 ３．豊富な設計技術、製作技能により製作された製品である為、高真空の領域でも安心して 御使用可能です。 ※新規サイズにつきましては、最適治工具の製作を必要とする為、イニシャルコストが高価となります。又、最適治工具の JT-60SA 納入製品 製作期間及び型式性能確認期間を要する為、長納期となります。 1. High quality bellows with custom shapes manufactured according to customer requirements, that are intended to absorb a large amount of expansion/contraction displacement. 2. These bellows allow for ：① the absorption of a large amount of displacement, ② improvement in expansion/contraction durability, and ③ stable quality, due to a safety design that considers displacement amount, high durability, and pressure conditions, and the manufacturing of appropriate fixtures and adoption of optimal manufacturing methods. 3. Can be used safely even in high vacuum environments, as they are manufactured adopting extensive design techniques and skills. ※ New sizes require the manufacturing of optimal fixtures, which will considerably increase initial cost. In addition, delivery will require an extended period of time because of the additional period required for manufacturing optimal fixtures and verifying model performance. ■ 自由形　溶接ベローズ　取付誤差吸収タイプCustom Shape Welded Bellows Adjust-Alignment Type １．お客様の御要望に沿った開口形状のベローズで、取付誤差吸収から少幅の伸縮変位 吸収を目的とする、安価なベローズです。 ２．変位量、耐久性を考慮した最適設計及び、材料取りから溶接組立までの合理的製法を 採用する事で①御要求性能の確保　②短納期　③低価格を可能としています。 ３．豊富な設計技術、製作技能により製作された製品である為、高真空の領域でも安心して 御使用可能です。 ※１．大きな伸縮変位を吸収する仕様ではない為、作動範囲、繰り返し性伸縮能などの制約があります。 ※２．新規サイズにつきましては冶工具類の製作を必要とする為、イニシャルコストが多少掛かります。 1. Low cost bellows with custom shapes manufactured according to customer requirements, that are intended for adjust-alignment and a small amount of expansion/contraction displacement. 2. These bellows allow for ：① securing the required performance, ② short delivery times, and ③ low cost, due to an optimal design that considers displacement amount and high durability, and the adoption of optimal manufacturing processes from cutting materials to welding and assembling. 3. Can be used safely even in high vacuum environments, as they are manufactured adopting extensive design techniques and production skills. ※ 1. There are some restrictions on specifications such as operating range and repeated expansion/ contraction capability, since the bellows are not designed to absorb a large amount of expansion/ contraction displacement. ※ 2. New sizes require the manufacturing of fixtures, etc., which will slightly increase initial cost. ■ 廉価版　矩形　溶接ベローズCustom Shape Welded Bellows Adjust-Alignment Type 主にOLED/FPD製造装置向けの真空バルブ及び、チャンバー間のアライメント調整用の 取付誤差吸収専用の、安価なベローズＡｓｓｙです。 近年ではガラス基板の大型化に伴い、より大口径の矩形ベローズが増加傾向にあります。 当社では合理化、軽量化に挑戦し、構造開発により３０％のコストダウン（当社比）を実現 しました。 ※廉価構造に特化する為、剛性及び一定圧条件等の仕様制約があります。 OPTION ”Assy,” type low cost bellows are intended mainly for adjust-alignment to adjust alignment between vacuum valves and chambers for OLED/FPD manufacturing equipment. With the enlargement glass substrates, recent years have seen a trend toward rectangular bellows with larger shapes. At IRIE KOKEN, we have taken on the challenge to streamline and reduce weight, and have achieved a 30% reduction in cost (compared to our company’s products) through configuration development. ※ Due to the special low cost configuration, there are restrictions on specifications such as rigidity and constant pressure. 5

寸　法／ Size 単位（unit）:㎜ 矩形　折込ベローズ／ Rectangular Folded Bellows 内径 外径 性能種別 Inner diameter Outer diameter Performance types サイズ 基本板厚 Size Plate 長辺（Wi） 短辺（Hi） 長辺（Wo） 短辺（Ho） thickness 取付誤差吸収タイプ 伸縮変位タイプ Long side Short side Long side Short side For adjust-alignment type For expansion/ contraction displacement 既存サイズ Existing size 800 120 860 180 0.4 ○ 新規サイズ※ （任意） （任意） （任意） （任意） （任意） New size (Optional) (Optional) (Optional) (Optional) (Optional) ※新規サイズについては詳細仕様に応じ検討が必要になります ※ The new size is necessary to design to satisfy the detailed specification. 矩形　溶接ベローズ（ 廉価版含む）／ Rectangular Welded Bellows (Including low cost versions) 内径 外径 性能種別 Inner diameter Outer diameter Performance types サイズ 基本板厚 Size Plate 長辺（Wi） 短辺（Hi） 長辺（Wo） 短辺（Ho） thickness 取付誤差吸収タイプ 伸縮変位タイプ Long side Short side Long side Short side For adjust-alignment type For expansion/ contraction displacement 95.6 95.6 115.6 115.6 0.2 ○ 200.0 200.0 280.0 280.0 0.6 ○ 330.0 230.0 410.0 310.0 0.6 ○ 370.0 370.0 470.0 470.0 0.7 ○ 420.0 140.0 450.0 170.0 0.3 ○ ○ 500.0 120.0 570.0 190.0 0.4 ○ 510.0 110.0 580.0 180.0 0.5 ○ 510.0 177.0 580.0 247.0 0.5 ○ 520.0 520.0 660.0 660.0 1.0 ○ ○ 600.0 50.0 690.0 140.0 0.6 ○ 628.0 100.0 660.0 132.0 0.3 ○ ○ 700.0 150.0 780.0 230.0 0.5 ○ ○ 710.0 610.0 850.0 750.0 0.8 ○ ○ 715.0 349.0 855.0 489.0 0.8 ○ ○ 720.0 270.0 785.0 335.0 0.3 ○ 730.0 670.0 870.0 810.0 1.0 ○ ○ 760.0 680.0 900.0 820.0 1.0 ○ ○ 780.0 180.0 870.0 270.0 0.8 ○ 790.0 270.0 840.0 320.0 0.8 ○ 実績サイズ Experiemce size 800.0 120.0 890.0 210.0 1.0 ○ 880.0 140.0 980.0 240.0 0.7 ○ 900.0 180.0 980.0 260.0 0.8 ○ 910.0 710.0 1050.0 850.0 1.0 ○ ○ 960.0 420.0 1030.0 490.0 0.5 ○ ○ 980.0 580.0 1070.0 670.0 0.3 ○ 1000.0 200.0 1090.0 290.0 1.0 ○ 1000.0 225.0 1090.0 315.0 1.0 ○ 1000.0 250.0 1090.0 340.0 1.0 ○ 1010.0 960.0 1150.0 1100.0 1.0 ○ ○ 1120.0 880.0 1260.0 1020.0 1.0 ○ ○ 1150.0 250.0 1240.0 340.0 1.0 ○ 1200.0 100.0 1340.0 240.0 0.8 ○ 1285.0 624.0 1395.0 734.0 0.8 ○ 1320.0 1005.0 1460.0 1145.0 1.0 ○ ○ 1400.0 220.0 1490.0 310.0 1.0 ○ ○ 1500.0 290.0 1640.0 430.0 1.0 ○ 1600.0 300.0 1718.0 418.0 0.8 ○ 1810.0 225.0 1900.0 315.0 1.0 ○ 1900.0 730.0 2180.0 1010.0 1.5 ○ ○ 新規サイズ※ （任意） （任意） （任意） （任意） （任意） New size ○ ○ (Optional) (Optional) (Optional) (Optional) (Optional) ※新規サイズについては詳細仕様に応じ検討が必要になります ※伸縮変位タイプのブランクについてはご相談下さい ※ The new size is necessary to design to satisfy the detailed specification. ※ Please contact us, when the field of expansion/constraction displacement type is blank. 6

特殊形状ベローズ / SPECIAL SHAPE BELLOWS 寸　法／ Size 単位（unit）:㎜ 長円形　成形ベローズ／ Oval Formed Bellows 内径 外径 性能種別 Inner diameter Outer diameter Performance types サイズ 基本板厚 Size Plate 長辺（Wi） 短辺（Hi） 長辺（Wo） 短辺（Ho） thickness 取付誤差吸収タイプ 伸縮変位タイプ Long side Short side Long side Short side For adjust-alignment type For expansion/ contraction displacement 既存サイズ Existing size 120 60 80 140 0.3 ○ 新規サイズ※ （任意） （任意） （任意） （任意） （任意） New size (Optional) (Optional) (Optional) (Optional) (Optional) ※新規サイズについては詳細仕様に応じ検討が必要になります ※伸縮変位タイプのブランクについてはご相談下さい ※ The new size is necessary to design to satisfy the detailed specification. ※ Please contact us, when the field of expansion/constraction displacement type is blank. 長円形　溶接ベローズ／ Oval Welded Bellows 内径 外径 性能種別 Inner diameter Outer diameter Performance types サイズ 基本板厚 Size Plate 長辺（Wi） 短辺（Hi） 長辺（Wo） 短辺（Ho） 取付誤差吸収タイプ 伸縮変位タイプ thickness Long side Short side Long side Short side For adjust-alignment type For expansion/ contraction displacement 78.0 33.0 90.0 45.0 0.20 ○ 109.0 40.0 124.0 55.0 0.20 ○ 153.0 60.0 175.0 82.0 0.30 ○ 155.0 70.0 185.0 100.0 0.30 ○ ○ 188.0 63.0 208.0 83.0 0.25 ○ ○ 232.0 42.0 254.0 64.0 0.25 ○ ○ 240.0 70.0 270.0 100.0 0.40 ○ ○ 実績サイズ 270.0 40.0 310.0 80.0 0.20 ○ ○ Experience size 275.0 89.0 300.0 114.0 0.20 ○ ○ 330.0 70.0 360.0 100.0 0.20 ○ ○ 450.0 70.0 480.0 100.0 0.40 ○ ○ 450.0 140.0 480.0 170.0 0.30 ○ ○ 527.5 110.0 567.5 150.0 0.30 ○ ○ 695.0 70.0 785.0 160.0 0.80 ○ 1002.0 252.0 1100.0 350.0 0.30 ○ ○ 新規サイズ※ （任意） （任意） （任意） （任意） （任意） ○ ○ New size (Optional) (Optional) (Optional) (Optional) (Optional) ※新規サイズについては詳細仕様に応じ検討が必要になります ※伸縮変位タイプのブランクについてはご相談下さい ※ The new size is necessary to design to satisfy the detailed specification. ※ Please contact us, when the field of expansion/constraction displacement type is blank. 自由形　溶接ベローズ／ Custom Shape Welded Bellows 内径 外径 性能種別 Inner diameter Outer diameter Performance types サイズ 基本板厚 Size Plate 長辺（Wi） 短辺（Hi） 長辺（Wo） 短辺（Ho） thickness 取付誤差吸収タイプ 伸縮変位タイプ Long side Short side Long side Short side For adjust-alignment type For expansion/ contraction displacement 新規サイズ※ （任意） （任意） （任意） （任意） （任意） ○ New size (Optional) (Optional) (Optional) (Optional) (Optional) ※新規サイズについては詳細仕様に応じ検討が必要になります ※伸縮変位タイプのブランクについてはご相談下さい ※ The new size is necessary to design to satisfy the detailed specification. ※ Please contact us, when the field of expansion/constraction displacement type is blank. 仕　様／ Specifications ベローズ材質 標準ＳＵＳ（特殊鋼対応可） Bellows materials Standard SUS (Special steel available) 内部 真空 圧力 Internal Vacuum Pressure 外部 大気圧 External Atmospheric pressure Ｈｅリーク量 He leak rate 1 × 10-9Pa・m3/s ※内圧についてはご相談下さい ※ Please contact us, if the internal pressure is high. 7

IKCの主要製品 MAIN PRODUCTS べローズ ゲートバルブ 真空機器 Bellows Gate valves Vacuum components ■ 溶接べローズ ■ 角型ゲートバルブ ■ チャンバー Welded bellows Rectangular type gate valves Chambers ■ 成形べローズ ■ 丸型ゲートバルブ ■ 導入機 Formed bellows Round type gate valves Feedthroughs ■ フレキシブルチューブ ■ 大型ゲートバルブ（角型） Flexible tubes Large-size rectangular type gate valves ■ L 型バルブ（アングルバルブ） L-shape valves ※製品改良のため仕様寸法等を適宜変更することがありますのでご了承ください。 ※最新の情報は、入江工研 Web サイト https://www.ikc.co.jp/ にてご確認下さい。 ※ Specifications subject to change without notice. ※ Please confirm the latest information on the website of IRIE KOKEN CO., LTD. 　[ https://www.ikc.co.jp/ ] 1. 取付／接続／ご使用にあたっては、取付姿勢にご注意ください。その他ご利用に当たっては製品仕様をご確認ください。 2. 本製品の保証期間は弊社工場出荷後18 ヶ月とさせていただきます。 3. 保証期間内において、弊社の製品に不具合が生じた場合、無償にて修理または交換をさせていただきます。 4. 当社の保証ポリシーについては、入江工研 web サイト https://www.ikc.co.jp/company/Product_Warranty.html に記載させていただいております。 ご確認ください。 ご注意 1. Be sure to note mounting posture when mounting, connecting or using. Be sure to check the specifications if you plan to use the Cautions product for use other than it is designed for. 2. These products are guaranteed for a period of 18 months after the day they are shipped from the factory. 3. If a defect occurred to the product during warranty period, it will be repaired or replaced free of charge. 4. Our warranty policy is described on the website of IRIE KOKEN CO.,LTD. at https://www.ikc.co.jp/company/Product_Warranty.html. Please check it. ■ 本 社 〒 100-0011 東京都千代田区内幸町 2-2-3 日比谷国際ビル 414 Head Office TEL：03-3507-9611　FAX：03-3507-9615 HibiyaKokusai-bldg 414, 2-2-3 Uchisaiwaicho, Chiyoda-ku, Tokyo, Japan 100-0011 ■ 大 阪 営 業 所 〒 550-0002 大阪市西区江戸堀 1-2-11 大同生命南館 Osaka Office TEL：06-6445-2630　FAX：06-6459-3350 Daido Seimei Minami-Kan 1-2-11 Edobori, Nishi-ku, Osaka, Japan 550-0002 ■ 工 　 　 場 埼玉県（テクニカルセンター），愛媛県（内子工場・中山工場） F a c t o r y Saitama-ken（Technical Center）, Ehime-ken（ Uchiko Factory・Nakayama Factory） 販売代理店 Distributor W1606-2206-500