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特殊形状ベローズ

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矩形、長方形、自由形ベローズシリーズを取り揃えております。

矩形ベローズは折込ベローズと溶接ベローズの2種類、長円形ベローズは成形ベローズと溶接ベローズの2種類、自由形ベローズは溶接ベローズ1種類をご用意し、取付誤差吸収用から伸縮変位用と様々なニーズに合った製品を御提案致します。

このカタログについて

ドキュメント名 特殊形状ベローズ
ドキュメント種別 製品カタログ
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このカタログ(特殊形状ベローズ)の内容


Page 1:SPECIALSHAPEBELLOWS■ RECTANGLE■ OVAL■ CUSTOM特殊形状ベローズNo.250

Page 2:2矩形ベローズシリーズRectangular Bellows Series矩形ベローズとは、正方形、長方形の開口を基本形状としたベローズです。チャンバーとチャンバーの接続部やチャンバーとゲートバルブの接続部の取り付け誤差吸収用に御使用頂いております。入江工研の矩形ベローズは折込ベローズと溶接ベローズの2種類ご用意し、取付誤差吸収用から伸縮変位用と様々なニーズに合った製品を御提案致します。Rectangular bellows with square or rectangular profiles are used for adjust-alignment in the joiningbetween chambers, or between a chamber and a gate valve. IRIE KOKEN manufactured rectangularbellows are available in two types, folded bellows and welded bellows and offering products can meetvarious requirements from adjust-alignment to expansion/contraction displacement.長円形ベローズシリーズOval Bellows Series長円形ベローズとは、角丸長方形(二つの等しい長さの平行線と二つの半円形。別名オーバルトラック)の開口を基本形状としたベローズです。矩形ベローズでは変位性能を出しにくい角部を半円状にする事で変位性能を向上させた製品です。入江工研の長円形ベローズは成形ベローズと溶接ベローズの2種類ご用意し、取付誤差吸収用から伸縮変位用と様々なニーズに合った製品を御提案致します。Oval bellows with rounded rectangular profiles, which is also called an "Oval track" with two parallel linesof the same length and two semicircles, can improve displacement performance by changing the squarecorners of the rectangular bellows to a semicircular corner. IRIE KOKEN manufactured oval bellowsare available in two types, formed bellows and welded bellows and offering products can meet variousrequirements from adjust-alignment to expansion/contraction displacement.自由形ベローズシリーズCustom Shape Bellows Series自由形ベローズとは、お客様の御要望に沿った開口で製作するベローズです。装置設計や配管設計の都合上、丸形や矩形・長円形ではベローズのスペースが確保出来ない場合などに、空いているスペースで適切な開口形状に製作する製品です。入江工研の自由形ベローズは溶接ベローズ1種類となりますが、取付誤差吸収用から伸縮変位用と様々なニーズに合った製品を御提案致します。Custom shape bellows/ Custom bellows are manufactured according to customer requirements. Theseproducts can be manufactured to the appropriate shape in the space available when equipment designor piping design does not leave enough space for circular, rectangular, or oval bellows. Presently, IRIEKOKEN only manufactured welded type custom bellows, that can meet various requirements from adjust-alignment to expansion/contraction displacement.概要 / OverviewRECTANGLEOVALCUSTOMOocar矩形(正・長方形)Rectangular長円形(トラック形)Oval (oval track)自 由 形Custom shape折込ベローズFolded bellows成形ベローズFormed bellows溶接ベローズWelded bellows取付誤差吸収用For adjust-alignment伸縮 変位用For expansion/contraction displacement【形状種別】Shape types【製法種別】Manufacturing method types【性能種別】Performance types形状種別Shape types製法種別Manufacturing method types性能種別Performance typesサイズSize変位性能Displacement performance耐圧性能Pressure performance検討納期Consideration/delivery time製品納期Product delivery time初期費用Initial cost製品価格Product price矩 形Rectangular折Folded取付誤差For adjust-alignment既存サイズExisting size× × ◎ ◎ ◎ ◎新規サイズNew size× × ○ ○ ○ ○溶接Welded取付誤差For adjust-alignment既存サイズ゙Existing size△ ○ ○ ○ ◎ ○新規サイズNew size△ ○ △ △ △ △伸縮吸収For the expansion/contraction既存サイズ゙Existing size○ ◎ ○ △ ◎ △新規サイズNew size○ ◎ × × × ×長円形Oval成形Formed取付誤差For adjust-alignment既存サイズExisting size△ △ ○ ○ ◎ ◎新規サイズNew size△ △ × △ × ○溶接Welded取付誤差For adjust-alignment既存サイズExisting size○ ○ ○ ○ ◎ ○新規サイズNew size○ ○ △ △ △ △伸縮吸収For the expansion/contraction既存サイズ゙Existing size◎ ◎ ○ △ ◎ △新規サイズNew size◎ ◎ × × × ×自由形Custom shape溶接Welded取付誤差For errors新規サイズNew size形状によるDepending on the shape形状によるDepending on the shape△ △ △ △伸縮吸収For the expansion/contraction新規サイズNew size◎形状によるDepending on the shape◎形状によるDepending on the shape× × × ×QCD特徴Features of QCD※◎有利∼×不利

Page 3:特殊形状ベローズ / SPECIAL SHAPE BELLOWS31.正方形、長方形の開口を基本形状としたベローズで、大幅の伸縮変位吸収を目的とする、高品質なベローズです。2.変位量、耐久性及び圧力条件を考慮した安全設計及び、最適治工具の製作、最適製法を採用する事で①大幅変位量の確保 ②伸縮耐久性の向上 ③品質の安定を可能としています。3.豊富な設計技術、製作技能により製作された製品である為、高真空の領域でも安心して御使用可能です※新規サイズにつきましては、最適治工具の製作を必要とする為、イニシャルコストが高価となります。又、最適治工具の製作期間及び型式性能確認期間を要する為、長納期となります。1. High quality bellows with square or rectangular profiles are intended for a large amount ofexpansion/contraction displacement.2. These bellows allow for :① the absorption of a large amount of displacement, ② improvementin expansion/contraction durability, and ③ stable quality, due to a safety design that considersdisplacement amount, high durability, and pressure conditions, and the manufacturing ofappropriate fixtures and adoption of optimal manufacturing methods.3. Can be used safely even in high vacuum environments, as they are manufactured adoptingextensive design techniques and production skills.※ New sizes require the manufacturing of optimal fixtures, which will considerably increase initial cost.In addition, delivery will require an extended period of time because of the additional period required formanufacturing optimal fixtures and verifying model performance.■ 矩形 溶接ベローズ  伸縮変位タイプRectangular Bellows Expansion/Contraction displacement Type■ 矩形 溶接ベローズ  取付誤差吸収タイプRectangular Welded Bellows Adjust-Alignment Type■ 矩形 折込ベローズ  取付誤差吸収タイプRectangular Folded Bellows Adjust-Alignment Type1.正方形、長方形の開口を基本形状としたベローズで、取付誤差吸収から少幅の伸縮変位吸収を目的とする、安価なベローズです。2.変位量、耐久性を考慮した最適設計及び、材料取りから溶接組立までの合理的製法を採用する事で①御要求性能の確保 ②短納期 ③低価格を可能としています。3.豊富な設計技術、製作技能により製作された製品である為、高真空の領域でも安心して御使用可能です。※1.大きな伸縮変位を吸収する仕様ではない為、作動範囲、繰り返し性伸縮能などの制約があります。※2.新規サイズにつきましては冶工具類の製作を必要とする為、イニシャルコストが多少掛かります。1. Low cost bellows with square or rectangular profiles are intended for adjust-alignment and asmall amount of expansion/contraction displacement.2. These bellows allow for :① securing the required performance, ② short delivery times, and③ low cost, due to an optimal design that considers displacement amount and high durability,and the adoption of optimal manufacturing processes, from material cutting to welding andassembly.3. Can be used safely even in high vacuum environments as they are manufactured adoptingextensive design techniques and production skills.※ 1. There are some restrictions on specifications such as operating range and repeated expansion/contraction capability, since the bellows are not designed to absorb a large amount of expansion/contraction displacement.※ 2. New sizes require the manufacturing of fixtures, etc., which will slightly increase initial cost.1.正方形、長方形の開口を基本形状としたベローズで、取付誤差吸収のみを目的とする、最も安価なベローズです。2.蛇腹部材を共通材料とし、必要な開口寸法に加工、溶接する製法を採用する事で①開口サイズの柔軟性 ②低価格を可能としています。3.加工、溶接を簡略化させた製法を採用する事でニッケル合金などの特殊鋼による製作も可能です。※開口形状を保持する剛性が弱い為、内外部の圧力差、直線部の長さ、面間などの制約があります。1. The lowest cost bellows with square or rectangular profiles are intended for adjust-alignmentonly.2. These bellows allow for:① flexible shapes dimensions, ② low cost, due to the use of commonbellows parts, and the adoption of processing and welding methods which allow the bellows tohave the necessary shapes and dimensions.3. Manufacturing using special steel such as nickel based alloys is also possible, due to theadoption of simplified processing and welding methods.※ There are restrictions on specifications such as the difference in external and internal pressure,length of the linear portion, and face-to-face distance because the rigidity that maintains the shape isweak.WoWiHiHoWoWiHiHoWoHiHoWi矩形ベローズRectangular BellowsRECTANGLE

Page 4:4長円形ベローズOval BellowsOVAL1.正方形、長方形の開口を基本形状としたベローズで、大幅の伸縮変位吸収を目的とする、高品質なベローズです。2.変位量、耐久性及び圧力条件を考慮した安全設計及び、最適治工具の製作、最適製法を採用する事で①大幅変位量の確保 ②伸縮耐久性の向上 ③品質の安定を可能としています。3.豊富な設計技術、製作技能により製作された製品である為、高真空の領域でも安心して御使用可能です。※新規サイズにつきましては、最適治工具の製作を必要とする為、イニシャルコストが高価となります。又、最適治工具の製作期間及び型式性能確認期間を要する為、長納期となります。1. High quality bellows with rounded rectangular profiles are intended for a large amount ofexpansion/contraction displacement.2. These bellows allow for:① the absorption of a large amount of displacement, ② improvementin expansion/contraction durability, and ③ stable quality, due to a safety design that considersdisplacement amount, high durability, and pressure conditions, and the manufacturing ofappropriate fixtures and adoption of optimal manufacturing methods.3. Can be used safely even in high vacuum environments, as they are manufactured adoptingextensive design techniques and production skills.※ New sizes require the manufacturing of optimal fixtures, which will considerably increase initial cost.In addition, delivery will require an extended period of time because of the additional period required formanufacturing optimal fixtures and verifying model performance.1.角丸長方形の開口を基本形状としたベローズで、取付誤差吸収から少幅の伸縮変位吸収を目的とする、安価なベローズです。2.変位量、耐久性を考慮した最適設計及び、材料取りから溶接組立までの合理的製法を採用する事で①御要求性能の確保 ②低価格を可能としています。3.豊富な設計技術、製作技能により製作された製品である為、高真空の領域でも安心して御使用可能です。※1.大きな伸縮変位を吸収する仕様ではない為、作動範囲、繰り返し性伸縮能などの制約があります。※2.新規サイズにつきましては冶工具類の製作を必要とする為、イニシャルコストが多少掛かります。1. Low cost bellows with rounded rectangular profiles are intended for adjust-alignment and asmall amount of expansion/contraction displacement.2. These bellows allow for:① securing the required performance, ② low cost, due to an optimaldesign that considers displacement amount and durability, and the adoption of optimalmanufacturing processes from cutting materials to welding and assembling.3. Can be used safely even in high vacuum environments, as they are manufactured adoptingextensive design techniques and production skills.※ 1. There are some restrictions on specifications such as operation range and repeated expansion/contraction capability, since the bellows are not designed to absorb a large amount of expansion/contraction displacement.※ 2. New sizes require the manufacturing of fixtures, etc., which will slightly increase initial cost.1.角丸長方形の開口を基本形状としたベローズで、取付誤差吸収から小幅の伸縮吸収を目的とする、安価なベローズです。2.シームレス管、溶接管を材料とし、必要な開口寸法に成形する製法を採用する事で①材質の柔軟性 ②低価格を可能としています。3.高度な溶接、成形技術によりニッケル合金などの特殊鋼及び、アルミニウム、銅などの非鉄金属による製作も可能です。※1.開口形状を保持する剛性が弱い為、内外部の圧力差、直線部の長さ、面間などの制約があります。※2.新規サイズにつきましては冶工具類の製作を必要とする為、イニシャルコストが高価となります。1. Low cost bellows with rounded rectangular profiles are intended for adjust-alignment and asmall amount of expansion/contraction displacement.2. These bellows allow for: ① flexibility of materials, ② low cost through the use of seamlesspipes and welded pipes as materials, and the adoption of manufacturing methods that allowthe bellows to have the necessary shapes dimensions.3. Manufacturing using special steel such as nickel based alloys as well as nonferrous metalsuch as aluminum and copper is also possible through the adoption of sophisticated weldingand forming techniques.※ 1. There are restrictions on specifications such as the difference in external and internal pressure,length of the linear portion, and face-to-face distance because of the rigidity that causes the shape isweak.※ 2. New sizes require the manufacturing of fixtures, etc., which will slightly increase initial cost.WoWiHoHiWoWiHoHiWoWiHoHi■ 長円形 溶接ベローズ 伸縮変位タイプOval Welded Bellows Expansion/Contraction displacement Type■ 長円形 溶接ベローズ 取付誤差吸収タイプOval Formed Bellows Adjust-Alignment Type■ 長円形 成形ベローズ 取付誤差吸収タイプOval Formed Bellows Adjust-Alignment Type

Page 5:特殊形状ベローズ / SPECIAL SHAPE BELLOWS51.お客様の御要望に沿った開口形状のベローズで、大幅の伸縮変位吸収を目的とする、高品質なベローズです。2.変位量、耐久性及び圧力条件を考慮した安全設計及び、最適治工具の製作、最適製法を採用する事で①大幅変位量の確保 ②伸縮耐久性の向上 ③品質の安定を可能としています。3.豊富な設計技術、製作技能により製作された製品である為、高真空の領域でも安心して御使用可能です。※新規サイズにつきましては、最適治工具の製作を必要とする為、イニシャルコストが高価となります。又、最適治工具の製作期間及び型式性能確認期間を要する為、長納期となります。1. High quality bellows with custom shapes manufactured according to customer requirements,that are intended to absorb a large amount of expansion/contraction displacement.2. These bellows allow for :① the absorption of a large amount of displacement, ② improvementin expansion/contraction durability, and ③ stable quality, due to a safety design that considersdisplacement amount, high durability, and pressure conditions, and the manufacturing ofappropriate fixtures and adoption of optimal manufacturing methods.3. Can be used safely even in high vacuum environments, as they are manufactured adoptingextensive design techniques and skills.※ New sizes require the manufacturing of optimal fixtures, which will considerably increase initial cost.In addition, delivery will require an extended period of time because of the additional period required formanufacturing optimal fixtures and verifying model performance.1.お客様の御要望に沿った開口形状のベローズで、取付誤差吸収から少幅の伸縮変位吸収を目的とする、安価なベローズです。2.変位量、耐久性を考慮した最適設計及び、材料取りから溶接組立までの合理的製法を採用する事で①御要求性能の確保 ②短納期 ③低価格を可能としています。3.豊富な設計技術、製作技能により製作された製品である為、高真空の領域でも安心して御使用可能です。※1.大きな伸縮変位を吸収する仕様ではない為、作動範囲、繰り返し性伸縮能などの制約があります。※2.新規サイズにつきましては冶工具類の製作を必要とする為、イニシャルコストが多少掛かります。1. Low cost bellows with custom shapes manufactured according to customer requirements, thatare intended for adjust-alignment and a small amount of expansion/contraction displacement.2. These bellows allow for :① securing the required performance, ② short delivery times, and③ low cost, due to an optimal design that considers displacement amount and high durability,and the adoption of optimal manufacturing processes from cutting materials to welding andassembling.3. Can be used safely even in high vacuum environments, as they are manufactured adoptingextensive design techniques and production skills.※ 1. There are some restrictions on specifications such as operating range and repeated expansion/contraction capability, since the bellows are not designed to absorb a large amount of expansion/contraction displacement.※ 2. New sizes require the manufacturing of fixtures, etc., which will slightly increase initial cost.主にOLED/FPD製造装置向けの真空バルブ及び、チャンバー間のアライメント調整用の取付誤差吸収専用の、安価なベローズAssyです。近年ではガラス基板の大型化に伴い、より大口径の矩形ベローズが増加傾向にあります。当社では合理化、軽量化に挑戦し、構造開発により30%のコストダウン(当社比)を実現しました。※廉価構造に特化する為、剛性及び一定圧条件等の仕様制約があります。”Assy,”type low cost bellows are intended mainly for adjust-alignment to adjust alignmentbetween vacuum valves and chambers for OLED/FPD manufacturing equipment.With the enlargement glass substrates, recent years have seen a trend toward rectangularbellows with larger shapes.At IRIE KOKEN, we have taken on the challenge to streamline and reduce weight, and haveachieved a 30% reduction in cost (compared to our company’s products) through configurationdevelopment.※ Due to the special low cost configuration, there are restrictions on specifications such as rigidity andconstant pressure.■ 自由形 溶接ベローズ 伸縮変位タイプCustom Shape Welded Bellows Expansion/Contraction displacementType■ 自由形 溶接ベローズ 取付誤差吸収タイプCustom Shape Welded Bellows Adjust-Alignment Type■ 廉価版 矩形 溶接ベローズCustom Shape Welded Bellows Adjust-Alignment Type自由形ベローズCustom Shape BellowsCUSTOMOPTIONJT-60SA 納入製品

Page 6:6矩形 折込ベローズ/ Rectangular Folded BellowsサイズSize内径Inner diameter外径Outer diameter基本板厚Platethickness性能種別Performance types長辺(Wi)Long side短辺(Hi)Short side長辺(Wo)Long side短辺(Ho)Short side取付誤差吸収タイプFor adjust-alignment type伸縮変位タイプFor expansion/contraction displacement既存サイズExisting size800 120 860 180 0.4○新規サイズ※New size(任意)(Optional)(任意)(Optional)(任意)(Optional)(任意)(Optional)(任意)(Optional)※新規サイズについては詳細仕様に応じ検討が必要になります※ The new size is necessary to design to satisfy the detailed specification.矩形 溶接ベローズ(廉価版含む)/ Rectangular Welded Bellows (Including low cost versions)サイズSize内径Inner diameter外径Outer diameter基本板厚Platethickness性能種別Performance types長辺(Wi)Long side短辺(Hi)Short side長辺(Wo)Long side短辺(Ho)Short side取付誤差吸収タイプFor adjust-alignment type伸縮変位タイプFor expansion/contraction displacement実績サイズExperiemce size95.6 95.6 115.6 115.6 0.2 ○200.0 200.0 280.0 280.0 0.6 ○330.0 230.0 410.0 310.0 0.6 ○370.0 370.0 470.0 470.0 0.7 ○420.0 140.0 450.0 170.0 0.3 ○ ○500.0 120.0 570.0 190.0 0.4 ○510.0 110.0 580.0 180.0 0.5 ○510.0 177.0 580.0 247.0 0.5 ○520.0 520.0 660.0 660.0 1.0 ○ ○600.0 50.0 690.0 140.0 0.6 ○628.0 100.0 660.0 132.0 0.3 ○ ○700.0 150.0 780.0 230.0 0.5 ○ ○710.0 610.0 850.0 750.0 0.8 ○ ○715.0 349.0 855.0 489.0 0.8 ○ ○720.0 270.0 785.0 335.0 0.3 ○730.0 670.0 870.0 810.0 1.0 ○ ○760.0 680.0 900.0 820.0 1.0 ○ ○780.0 180.0 870.0 270.0 0.8 ○790.0 270.0 840.0 320.0 0.8 ○800.0 120.0 890.0 210.0 1.0 ○880.0 140.0 980.0 240.0 0.7 ○900.0 180.0 980.0 260.0 0.8 ○910.0 710.0 1050.0 850.0 1.0 ○ ○960.0 420.0 1030.0 490.0 0.5 ○ ○980.0 580.0 1070.0 670.0 0.3 ○1000.0 200.0 1090.0 290.0 1.0 ○1000.0 225.0 1090.0 315.0 1.0 ○1000.0 250.0 1090.0 340.0 1.0 ○1010.0 960.0 1150.0 1100.0 1.0 ○ ○1120.0 880.0 1260.0 1020.0 1.0 ○ ○1150.0 250.0 1240.0 340.0 1.0 ○1200.0 100.0 1340.0 240.0 0.8 ○1285.0 624.0 1395.0 734.0 0.8 ○1320.0 1005.0 1460.0 1145.0 1.0 ○ ○1400.0 220.0 1490.0 310.0 1.0 ○ ○1500.0 290.0 1640.0 430.0 1.0 ○1600.0 300.0 1718.0 418.0 0.8 ○1810.0 225.0 1900.0 315.0 1.0 ○1900.0 730.0 2180.0 1010.0 1.5 ○ ○新規サイズ※New size(任意)(Optional)(任意)(Optional)(任意)(Optional)(任意)(Optional)(任意)(Optional)○ ○※新規サイズについては詳細仕様に応じ検討が必要になります※ The new size is necessary to design to satisfy the detailed specification.寸 法/ Size 単位(unit):㎜※伸縮変位タイプのブランクについてはご相談下さい※ Please contact us, when the field of expansion/constraction displacement type is blank.

Page 7:特殊形状ベローズ / SPECIAL SHAPE BELLOWS7長円形 成形ベローズ/ Oval Formed BellowsサイズSize内径Inner diameter外径Outer diameter基本板厚Platethickness性能種別Performance types長辺(Wi)Long side短辺(Hi)Short side長辺(Wo)Long side短辺(Ho)Short side取付誤差吸収タイプFor adjust-alignment type伸縮変位タイプFor expansion/contraction displacement既存サイズExisting size120 60 80 140 0.3○新規サイズ※New size(任意)(Optional)(任意)(Optional)(任意)(Optional)(任意)(Optional)(任意)(Optional)※新規サイズについては詳細仕様に応じ検討が必要になります※ The new size is necessary to design to satisfy the detailed specification.長円形 溶接ベローズ/ Oval Welded BellowsサイズSize内径Inner diameter外径Outer diameter基本板厚Platethickness性能種別Performance types長辺(Wi)Long side短辺(Hi)Short side長辺(Wo)Long side短辺(Ho)Short side取付誤差吸収タイプFor adjust-alignment type伸縮変位タイプFor expansion/contraction displacement実績サイズExperience size78.0 33.0 90.0 45.0 0.20 ○109.0 40.0 124.0 55.0 0.20 ○153.0 60.0 175.0 82.0 0.30 ○155.0 70.0 185.0 100.0 0.30 ○ ○188.0 63.0 208.0 83.0 0.25 ○ ○232.0 42.0 254.0 64.0 0.25 ○ ○240.0 70.0 270.0 100.0 0.40 ○ ○270.0 40.0 310.0 80.0 0.20 ○ ○275.0 89.0 300.0 114.0 0.20 ○ ○330.0 70.0 360.0 100.0 0.20 ○ ○450.0 70.0 480.0 100.0 0.40 ○ ○450.0 140.0 480.0 170.0 0.30 ○ ○527.5 110.0 567.5 150.0 0.30 ○ ○695.0 70.0 785.0 160.0 0.80 ○1002.0 252.0 1100.0 350.0 0.30 ○ ○新規サイズ※New size(任意)(Optional)(任意)(Optional)(任意)(Optional)(任意)(Optional)(任意)(Optional)○ ○自由形 溶接ベローズ/ Custom Shape Welded BellowsサイズSize内径Inner diameter外径Outer diameter基本板厚Platethickness性能種別Performance types長辺(Wi)Long side短辺(Hi)Short side長辺(Wo)Long side短辺(Ho)Short side取付誤差吸収タイプFor adjust-alignment type伸縮変位タイプFor expansion/contraction displacement新規サイズ※New size(任意)(Optional)(任意)(Optional)(任意)(Optional)(任意)(Optional)(任意)(Optional)○※伸縮変位タイプのブランクについてはご相談下さい※ Please contact us, when the field of expansion/constraction displacement type is blank.※伸縮変位タイプのブランクについてはご相談下さい※ Please contact us, when the field of expansion/constraction displacement type is blank.※伸縮変位タイプのブランクについてはご相談下さい※ Please contact us, when the field of expansion/constraction displacement type is blank.※新規サイズについては詳細仕様に応じ検討が必要になります※ The new size is necessary to design to satisfy the detailed specification.※新規サイズについては詳細仕様に応じ検討が必要になります※ The new size is necessary to design to satisfy the detailed specification.※内圧についてはご相談下さい※ Please contact us, if the internal pressure is high.寸 法/ Size 単位(unit):㎜仕 様/ Specificationsベローズ材質Bellows materials標準SUS(特殊鋼対応可)Standard SUS (Special steel available)圧力Pressure内部Internal真空Vacuum外部External大気圧Atmospheric pressureHeリーク量He leak rate1 × 10-9Pa・m3/s

Page 8:■ 本 社Head Office〒 100-0005 東京都千代田区丸の内 3-1-1 国際ビル 813TEL:03-3211-7111 FAX:03-3211-7110813 Kokusai-bldg. 3-1-1 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo, Japan 100-0005■ 大 阪 営 業 所Osaka Office〒 550-0002 大阪市西区江戸堀 1-2-11 大同生命南館TEL:06-6445-2630 FAX:06-6459-3350Daido Seimei Minami-Kan 1-2-11 Edobori, Nishi-ku, Osaka, Japan 550-0002■ 工     場 埼玉県(テクニカルセンター),愛媛県(内子工場・中山工場)F a c t o r y Saitama-ken(Technical Center), Ehime-ken(Uchiko Factory・Nakayama Factory)ご注意Cautions1. 取付/接続/ご使用にあたっては、取付姿勢にご注意ください。その他ご利用に当たっては製品仕様をご確認ください。2. 本製品の保証期間は弊社工場出荷後 18 ヶ月とさせていただきます。3. 保証期間内において、弊社の製品に不具合が生じた場合、無償にて修理または交換をさせていただきます。4. 下記項目に対しては、保証対象外とさせていただきます。① 異常な使用方法による故障② 弊社の合意なく行われた修理や改造等による故障③ 火災、天災等の不可抗力な災害による故障5. 本製品の故障についてのみの責任範囲とさせていただきます。1. Be sure to note mounting posture when mounting, connecting or using. Be sure to check the specifications if you plan to use theproduct for use other than it is designed for.2. These products are guaranteed for a period of 18 months after the day they are shipped from the factory.3. If a defect occurred to the product during warranty period, it will be repaired or replaced free of charge.4. The following are not covered by the guarantee:① Mechanical failure caused by use in manner other than specified.② Mechanical failure caused by unauthorized repair or modification.③ Mechanical failure caused by fire or natural disaster.5. IRIE KOKEN assumes that the responsibility for mechanical failure covers this product only.※製品改良のため仕様寸法等を適宜変更することがありますのでご了承ください。※最新の情報は、入江工研 Web サイト http://www.ikc.co.jp/ にてご確認下さい。※ Specifications subject to change without notice.※ Please confirm the latest information on the website of IRIE KOKEN CO., LTD.  [ http://www.ikc.co.jp/ ]販売代理店Distributor■ 溶接べローズWelded bellows■ 成形べローズFormed bellows■ フレキシブルチューブFlexible tubes■ 角型ゲートバルブRectangular type gate valves■ 丸型ゲートバルブRound type gate valves■ 大型ゲートバルブ(角型)Large-size rectangular type gate valves■ L 型バルブ(アングルバルブ)L-shape valves■ チャンバーChambers■ 導入機FeedthroughsべローズBellows真空機器Vacuum componentsゲートバルブGate valvesIKCの主要製品MAIN PRODUCTSW1606