真空中の動力源ステッピングモーター真空タイプ

真空中の動力源 ステッピングモーター 真空タイプ 5相ステッピングモーター PK 製品詳細、 シリーズ ARシリーズ 技術資料は こちら▶ さまざまな動きを実現 半導体製造装置のスパッタリングや、電子顕微鏡をはじめとする計測機器など、さまざまな用途に多数採用されています。 回転ステージ XY軸ステージ アライメント軸 真空タイプだからできる XYZ軸 多軸ステージの設計も可能。 ステージ モーターを大気中に設置する場合は 真空チャンバー 実現できない動きです。 （スライダを使用した例） 装置の小型化・コストダウンに貢献 大気中にモーターを設置する場合、回転導入機などを使用するため、装置が大型になります。真空タイプは真空チャンバー内にモーターを設置 できるため、回転導入機などを使用せず、装置を小型化できます。更に　　　　　　A　Rシ　リ　ー　ズ ならコストダウンにも貢献。詳しくは裏面参照。 〈 大気中にモーターを設置する場合 〉 〈 真空中にモーターを設置する場合 〉 ポート 真空チャンバー 真空チャンバー 省スペース！ 回転 導入機 位置決めテーブル 電流導入端子 真空タイプ 位置決めテーブル モーター 連結シャフトまたは フレキシブルワイヤ モーター

真空チャンバー内の 残留ガススペクトル（AR69VAK 500r/min 連続運転） 10‒9 汚染防止を考慮した設計 H2 分子量2 H2O 分子量18 10‒10 CO+N2 分子量28 ガスの発生を抑えるため、モーターの表面の塗装はせず、軸受けに真空用 CO2 分子量44 グリースを使用しています。 10‒11 主な残留ガスは通常のクリーンな環境に見られる成分と同じなので、真空 チャンバー内の汚染を心配することなくお使いいただけます。 10‒12 0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 200 分子量 ラインアップ 取付角寸法や電源入力、真空度により、ラインアップを取り揃えています。 取付角寸法［ mm］ 真空度 電源 入力 28 42 60 85 ARシリーズ AC ● ● ● 定価167,300円～ 高真空 10-5Pa （モーター、ドライバ） DC電源入力 DC ● ● ● ● AC電源入力 5相ステッピングモーター 10-4Pa DC ● ● PKシリーズ 高真空 定価100,100円～ 10-5Pa DC ● （モーターのみ） CVDドライバ ◎超高真空（10-7Pa）もご用意しています。詳細は最寄りの支店、営業所にお問い合わせください。 ARシリーズ ローター位置 独自技術「ローター位置検出センサ」搭載だから 検出センサ 高信頼性とコストダウンを実現 搭載 クローズドループ制御により、真空チャンバー内にあるモーターの回転速度・回転 量の情報を監視するほか、各種アラーム出力機能を搭載しています。高額な真空対 ローター位置検出センサ（レゾルバ）を搭載した 応型エンコーダを使わずに装置の信頼性向上を実現します。 真空タイプはオリエンタルモーターだけ！ カタログのダウンロードはこちら▶ 真空タイプに関する動画はこちら▶ 関連コンテンツのご紹介 当社WEBサイトでは、各種カタログや 動画をご用意しています。 資料請求も可能です。あわせてご参照ください。 詳しくは最寄りの支店、営業所にお問い合わせください。 オリエンタルモーター 真空 ●　　　　　　 、　　　 は、 日本その他の国におけるオリエンタルモーター株式会社の登録商標または商標です。 お客様ご相談センター 製品に関する技術的なお問い合わせ、お見積、ご注文はこちらまで。携帯電話からもご利用可能です。 受付時間 平日/9:00～19:00 TEL 0120-925-410 FAX 0120-925-601 〒110-8536 東京都台東区東上野4-8-1 https://www.orientalmotor.co.jp/ ©Copyright ORIENTALMOTOR CO.,LTD.2022　2022年4月 22R 2000SY G-190-4 イオン電流 [A]