ハイブリッド制御システムαSTEP ARシリーズ 真空タイプ 10－5Pa 対応

ハイブリッド制御システム ARシリーズ 真空タイプ パルス列入力タイプ 10－5Pa対応 高効率化によりモーターの発熱を大幅に低減した、ARシリーズの真空タイプです。 クローズドループ制御による高信頼性をそのままに、真空環境下での位置決め運転が可能です。 DC電源入力とAC電源入力をラインアップしています。 DC電源入力 DC電源入力 AC電源入力 AC電源入力 取付角寸法28mm 取付角寸法42mm 取付角寸法60mm 取付角寸法85mm "特徴 "種類と価格 ● 真空環境（10-5Pa）に対応 電源入力 モーター品名 定価 ドライバ品名 定価 ARM24VAK 133,200円 ARD12AV-K 34,100円 10-5Paの真空環境下で使用できる製品です。 真空環境装置内での DC24V ARM26VAK 134,000円 ARD12BV-K 34,100円 位置決め運転が可能なほか、回転導入機を使わないことで、装置 ARM46VAK 133,900円 ARD20V-K 34,100円 のコンパクト化に貢献します。 ARM66VAK 140,000円 ARD36AV-K 34,100円 DC24/48V ● クローズドループ制御による高信頼性 ARM69VAK 142,500円 ARD36BV-K 34,100円 真空容器（チャンバー）内にあるモーターの回転速度・回転量の情 ARM98VAK 146,700円 ARD36CV-K 34,100円 報を監視するほか、各種アラーム出力機能を搭載しています。 ARM46VAC 133,900円 ARD07V-A 48,400円 ARM66VAC 140,000円 ARD10V-A 48,400円 ● 高効率化による発熱低減 単相100-115V ARM69VAC 142,500円 ARD13V-A 48,400円 高効率のモーター・ドライバにより、放熱性の低い真空中でも高 ARM98VAC 146,700円 ARD16V-A 48,400円 トルクでの運転を実現します。 ARM911VAC 150,500円 ARD18V-A 48,400円 ARM46VAC 133,900円 ARD07V-C ● 48,400円 カレントコントロールモード ARM66VAC 140,000円 ARD10V-C 48,400円 負荷に応じた電流制御モードです。 さらなる発熱低減・磁気音の 単相200-230V ARM69VAC 142,500円 ARD13V-C 48,400円 低減を検討したい場合にお試しください。（負荷が小さい場合に有 ARM98VAC 146,700円 ARD16V-C 48,400円 効です。） ARM911VAC 150,500円 ARD18V-C 48,400円 ● CEマーキング ARM46VAC 133,900円 ARD07V-S 48,400円 ARM66VAC 140,000円 ARD10V-S 48,400円 DC電源入力のラインアップは、EMC指令に対してCEマーキング 三相200-230V ARM69VAC 142,500円 ARD13V-S 48,400円 を実施しています。 ARM98VAC 146,700円 ARD16V-S 48,400円 ARM911VAC 150,500円 ARD18V-S 48,400円 "付属品 付属品 タイプ コネクタ 取扱説明書 モーター − 1式 DC電源入力 ドライバ ・CN1用（1個） ・CN5用（1個） − モーター − 1式 ・CN1用（1個） AC電源入力 ドライバ ・CN3用（1個） ・ − CN5用（1個） ・コネクタ結線レバー

DC電源入力 "仕様 取付角寸法 28mm 42mm 60mm 85mm モーター品名 ARM24VAK ARM26VAK ARM46VAK ARM66VAK ARM69VAK ARM98VAK ドライバ品名 ARD12AV-K ARD12BV-K ARD20V-K ARD36AV-K ARD36BV-K ARD36CV-K 静止角度誤差 min ±（5 ±0.084˚） 励磁最大静止トルク（大気圧中） N·m 0.044 0.096 0.25 0.8 1.8 1.8 停止時保持トルク N·m 0.022 0.048 0.125 0.4 0.9 0.9 ローター慣性モーメント J：kg·m2 11×10-7 20×10-7 58×10-7 380×10-7 750×10-7 1100×10-7 分解能 1000P/R設定時 0.36˚／パルス 電源入力 DC24V±10%　1.4A / DC24V±10%　3.1A / DC24V±10%　3.0A / DC24V±10%　2.5A / DC24V±10%　0.9A DC48V±5%　1.4A DC48V±5%　3.1A✽1 DC48V±5%　3.0A✽1 DC48V±5%　2.5A✽1 圧力 Pa 10-5 ベーキング温度✽2 ˚C 100 耐熱クラス 18（0 H） ✽ 1 DC48V入力で運転する場合、慣性負荷はローター慣性比の10倍以下、加速トルク計算時は安全率2倍以上を目安としてください。 ✽ 2 ベーキング：部品などに付着しているガスの放出を促進させるため、外部から加熱をおこなうこと。 "回転速度―トルク特性（参考値） ARM24VAK（DC24V） ARM26VAK（DC24V） ARM46VAK（DC24V） 0.06 0.12 電流設定F 電流設定F 電流設定F 0.05 電流設定A 0.10 電流設定A 電流設定A 電流設定7 電流設定7 電流設定7 0.04 0.08 0.03 0.06 0.02 0.04 0.01 0.02 0 0 0 1000 2000 3000 4000 0 1000 2000 3000 4000 0 1000 2000 3000 4000 回転速度 [r/min] 回転速度 [r/min] 回転速度 [r/min] 0 10 20 30 40 50 60 70 0 10 20 30 40 50 60 70 0 10 20 30 40 50 60 70 パルス速度 [kHz] パルス速度 [kHz] パルス速度 [kHz] （1000P/R設定時） （1000P/R設定時） （1000P/R設定時） ARM66VAK（DC24V） ARM69VAK（DC24V） ARM98VAK（DC24V） 1.5 3 3 F 電流設定F 電流設定F A 電流設定A 電流設定A 7 電流設定7 電流設定7 1.0 2 2 0.5 1 1 0 0 0 500 1000 1500 2000 2500 3000 0 0 500 1000 1500 2000 0 250 500 750 1000 1250 1500 [r/min] 回転速度 [r/min] 回転速度 [r/min] 0 10 20 30 40 50 0 10 20 30 40 0 5 10 15 20 25 [kHz] パルス速度 [kHz] パルス速度 [kHz] 1000P/R （1000P/R設定時） （1000P/R設定時） ARM46VAK（DC48V） ARM66VAK（DC48V） ARM69VAK（DC48V） 1.5 3 電流設定F 電流設定F 電流設定F 電流設定A 電流設定A 電流設定A 電流設定7 電流設定7 電流設定7 1.0 2 0.5 1 0 0 0 1000 2000 3000 4000 0 500 1000 1500 2000 2500 3000 3500 0 500 1000 1500 2000 2500 回転速度 [r/min] 回転速度 [r/min] 回転速度 [r/min] 0 10 20 30 40 50 60 70 0 10 20 30 40 50 0 10 20 30 40 パルス速度 [kHz] パルス速度 [kHz] パルス速度 [kHz] （1000P/R設定時） （1000P/R設定時） （1000P/R設定時） ARM98VAK（DC48V） 3 電流設定F 電流設定A 電流設定7 2 1 0 0 500 1000 1500 2000 2500 3000 回転速度 [r/min] 0 10 20 30 40 50 パルス速度 [kHz] （1000P/R設定時） ご注意 ● 回転速度―トルク特性は、当社測定条件によるデータです。 条件が変化すると、特性が変化する場合があります。 ● 使用可能な温度は、モーターケース温度100˚C以下です。 ● 運転電流設定を低くすると、モーター停止時の保持トルクも低下します。 ● モーター、ドライバ間の総延長距離は真空中、大気中あわせて10m以下にしてください。 2 トルク [N･m] トルク [N·m] [N·m] トルク [N･m] トルク [N·m] トルク [N･m] トルク [N･m] トルク [N･m] トルク [N･m] トルク [N·m]

AC電源入力 "仕様 取付角寸法 42mm 60mm 85mm モーター品名 ARM46VAC ARM66VAC ARM69VAC ARM98VAC ARM911VAC ドライバ品名 ARD07V- □ ARD10V- □ ARD13V- □ ARD16V- □ ARD18V- □ 静止角度誤差 min ±（5 ±0.084˚） 励磁最大静止トルク（大気圧中） N·m 0.25 1 1.8 1.8 3 停止時保持トルク N·m 0.125 0.5 0.9 0.9 1.5 ローター慣性モーメント J：kg·m2 58×10-7 380×10-7 750×10-7 1100×10-7 2200×10-7 分解能 1000P/R設定時 0.36˚／パルス 電圧・周波数 −15∼+10%　50/60Hz 単相100-115V 2.9 4.4 6.1 5.5 6.5 電源入力 入力電流　A 単相200-230V 1.9 2.7 3.8 3.4 4.1 三相200-230V 1.0 1.4 2.0 1.8 2.2 制御電源 DC24V±5%　0.3A 圧力 Pa 10-5 ベーキング温度✽ ˚C 100 耐熱クラス 18（0 H） ✽ ベーキング：部品などに付着しているガスの放出を促進させるため、外部から加熱をおこなうこと。 ● 品名中の□には電源入力を表すA（単相100V-115V）、C（単相200V-230V）、S（三相200V-230V）のいずれかが入ります。 "回転速度―トルク特性（参考値） ARM46VAC ARM66VAC ARM69VAC 0.4 2.0 3 電流設定F 電流設定F 電流設定F 電流設定A 電流設定A 電流設定A 0.3 電流設定7 1.5 電流設定7 電流設定7 2 0.2 1.0 1 0.1 0.5 0 0 0 0 1000 2000 3000 4000 0 1000 2000 3000 4000 0 1000 2000 3000 4000 回転速度 [r/min] 回転速度 [r/min] 回転速度 [r/min] 0 10 20 30 40 50 60 70 0 10 20 30 40 50 60 70 0 10 20 30 40 50 60 70 パルス速度 [kHz] パルス速度 [kHz] パルス速度 [kHz] （1000P/R設定時） （1000P/R設定時） （1000P/R設定時） ARM98VAC ARM911VAC 3 5 電流設定F 電流設定F 電流設定A 4 電流設定A 電流設定7 電流設定7 2 3 2 1 1 0 0 0 1000 2000 3000 4000 0 1000 2000 3000 4000 回転速度 [r/min] 回転速度 [r/min] 0 10 20 30 40 50 60 70 0 10 20 30 40 50 60 70 パルス速度 [kHz] パルス速度 [kHz] （1000P/R設定時） （1000P/R設定時） ご注意 ● 回転速度―トルク特性は、当社測定条件によるデータです。 条件が変化すると、特性が変化する場合があります。 ● 使用可能な温度は、モーターケース温度100˚C以下です。 ● 運転電流設定を低くすると、モーター停止時の保持トルクも低下します。 ● モーター、ドライバ間の総延長距離は真空中、大気中あわせて10m以下にしてください。 "モーターの選定（DC電源入力、AC電源入力共通） 通常のステッピングモーターと同様の選定計算で選ぶことができます。 ただし、真空環境下で使用した場合の発熱対策のために、モータートルクに余裕を持ち、電流調整が可能となるようなモーター選定をお願 いします。 "使用上のご注意（DC電源入力、AC電源入力共通） AC電源入力ドライバは、モーターの線間に最大で約320Vの電圧が発生します。 このため、真空ポンプによる排気途中の低∼中真空領域で は、真空容器内の電流導入端子間などで放電が起こり、アラームの発生やモーター、ドライバ破損などの恐れがあります。AC電源対応ド ライバをご使用の際は、大気中および高真空領域において、ドライバ電源を入れるようにしてください。 真空環境下では一般的に放熱性が低くなるため、使用温度条件は大気圧中よりもさらに厳しくなります。 定格電流値でのご使用の際にはご注意ください。 モーターケース温度が100˚C（モーター温度上昇値を含む、ベーキング温度以下）を超えないようにするためには、以下の対策が有効です。 ● モーター運転デューティを下げる ● モーター運転電流値を定格電流値の半分以下に設定する また、真空環境の圧力維持の点からもモーターの温度をできるだけ低く保つことが重要です。 詳しくは最寄りの支店・営業所までお問い合わせください。 3 トルク [N･m] トルク [N·m] トルク [N･m] トルク [N·m] トルク [N･m]

"外形図 （単位mm） ● モーター 取付角寸法 28mm 品名 L 質量 kg 2D CAD ARM24VAK 49 0.2 B1150 ARM26VAK 68.7 0.3 B1151 2.1 L 15±1 28 1.5 4×M2.5 深さ2.5 23±0.2 10±0.25 センサケーブル ϕ4 モーターケーブル ϕ2.9 6.5 センサリード線4本 モーターリード線4本 FEP, AWG26 FEP, AWG26 取付角寸法 42mm 品名 質量 kg 2D CAD ARM46VAK 0.47 B567 ARM46VAC 67.4 20±1 42 2 31±0.2 15±0.25 4×M3深さ4.5 17 モーターケーブル 33 1000mmϕ4.7 28 センサケーブル 1000mmϕ4 モーターリード線5本 FEP, AWG22 センサリード線4本 FEP, AWG26 取付角寸法 60mm 品名 L 質量 kg 2D CAD ARM66VAK 63.7 0.9 B568 ARM66VAC ARM69VAK 89.3 1.4 B569 ARM69VAC L 24±1 60 7 2 4×ϕ4.5穴 50±0.35 20±0.25 17 23.8 モーターケーブル 1000mmϕ4.7 28 センサケーブル モーターリード線5本 1000mmϕ4 FEP, AWG22 センサリード線4本 FEP, AWG26 取付角寸法 85mm 品名 L 質量 kg 2D CAD ARM98VAK 79.5 1.9 B1152 ARM98VAC ARM911VAC 109.5 3 B1153 L 37±1 85 10 2 4×ϕ6.5穴 70±0.35 25±0.25 17 28 モーターケーブル ϕ4.7 センサケーブル ϕ4 モーターリード線5本 センサリード線4本 28 FEP, AWG22 FEP, AWG26 4 39 1000 1000 11 5.5±0.15 9.5±0.15 0 ϕ6−0.012(h7) 0 ϕ10−0.015(h7) 0ϕ22−0.021(h7) 0 ϕ36−0.025(h7) 4.5±0.15 0 ϕ5−0.012(h7) 31±0.2 0 12 42 ϕ22−0.021(h7) 50±0.35 12 60 13±0.15 0 1000 ϕ14−0.018(h7) 0 ϕ60−0.03(h7) 1000 23±0.2 28 70±0.35 12 85

● ドライバ ドライバ 品名：ARD12AV-K、ARD12BV-K、ARD20V-K、ARD36AV-K、ARD36BV-K、ARD36CV-K 質量：0.17kg　 B546 41 max. 60 35 4 ● 付属品 制御入出力用コネクタ（CN5） ケース：10336-52A0-008（スリーエムジャパン株式会社） コネクタ：10136-3000PE（スリーエムジャパン株式会社） 主電源入力／フレームグランド端子用コネクタ（CN1） コネクタ：MC1,5/3-STF-3,5 （ フエニックス・コンタクト株式会社） ドライバ 品名： ARD07V-A、ARD10V-A、ARD13V-A、ARD16V-A、ARD18V-A ARD07V-C、ARD10V-C、ARD13V-C、ARD16V-C、ARD18V-C ARD07V-S、ARD10V-S、ARD13V-S、ARD16V-S、ARD18V-S 質量：0.75kg　 B454 45 41 max. 125 ϕ4.5穴 スリット ● 付属品 制御入出力用コネクタ（CN5） ケース：10336-52A0-008（スリーエムジャパン株式会社） コネクタ：10136-3000PE（スリーエムジャパン株式会社） 回生抵抗入力／主電源入力端子用コネクタ（CN3） コネクタ：721-205（ワゴジャパン株式会社） DC24V電源入力／回生抵抗サーマル入力用コネクタ（CN1） コネクタ：MC1,5/6-STF-3,5 10 35 5 （ フエニックス・コンタクト株式会社） 2×M4 17.5 コネクタ結線レバー 5 9.7 90 160 8.1 17.5 35.1 14.2 max. 150 5

ケーブル ケーブルを使用することで、真空環境装置内外での配線やケーブルの延長を容易におこなうことができます。 電流導入端子 センサ ケーブル モーター モーター用 ケーブル ケーブル 延長ケーブル <真空中> <大気中> ご注意 ● モーター、ドライバ間の総延長距離は真空中、大気中あわせて10m以下にしてください。 延長ケーブル 真空中でモーターケーブルとセンサケーブルを延長したい場合に使用するケーブルです。 "種類と価格 ● モーターケーブル用 品名 長さ（m） 定価 CC050ARV 5 17,600円 CC100ARV 10 35,200円 モーターケーブル用 センサケーブル用 ● 線心構成：5心 ● 材質：FEP ● サイズ：AWG22 ● センサケーブル用 品名 長さ（m） 定価 CC050ARVE 5 15,400円 CC100ARVE 10 30,800円 ● 線心構成：4心 ● 材質：FEP ● サイズ：AWG26 モーター用ケーブル ドライバと接続するための モーター専用ケーブルです。 ご注意 ● 真空中ではご使用できません。 "種類と価格 "外形図 （単位mm） ● DC電源入力用 ● DC電源入力用 品名 長さL（m） 定価 CC010VAVF2 モーター側 ドライバ側 1 5,600円 43025-1000 (Molex)または CC020VAVF2 2 6,800円 1-794617-0 (TEコネクティビティ) CC030VAVF2 3 8,000円 CC050VAVF2 5 10,400円 CC070VAVF2 7 12,800円 3 ϕ8 CC100VAVF2 10 16,500円 35 14 8.3 L 11.7 ● AC電源入力用 　●コネクタ寸法はTEコネクティビティ製の寸法を記載しています。 品名 長さL（m） 定価 CC010VAVF 1 5,600円 ● AC電源入力用 CC020VAVF 2 6,800円 モーター側 ドライバ側 CC030VAVF 3 8,000円 CC050VAVF 5 10,400円 5557-10R-210 CC070VAVF 7 12,800円 (Molex) CC100VAVF 10 16,500円 3 ϕ8 35 19.6 11.6 L 14.5 6 16 22.2

7

●このカタログに掲載している製品を製造している事業所は、品質マネジメントシステム ISO9001 安全に関するご注意 および環境マネジメントシステム ISO14001認証を取得しています。 ●このカタログに掲載している製品の性能および仕様は、改良のため予告なく変更することがあります ので、ご了承ください｡ ●ご使用の際は、取扱説明書を良くお読みのうえ正しくお使いください。 ●このカタログに掲載している全製品の価格には消費税等は含まれておりません。 ●このカタログに掲載している製品は産業用および機器組み込み用です。 ●製品について詳しくお知りになりたい方は、お近くの支店、営業所におたずねになるか、下記の“お客様 　その他の用途には使用しないでください。 ご相談センター”にお問い合わせください。 ●このカタログに記載している会社名および商品の名称は、それぞれの会社が所有する商標または登録商 標です。 ●　　　　　　 、　　　　は、 日本その他の国におけるオリエンタルモーター株式会社の登録商標 または商標です。 お客様ご相談センター 東京支社 TEL（ 03） 6744-1311 　名古屋支社 TEL（ 052） 223-2611 北上営業所 TEL（ 0197） 64-7902 豊田営業所 TEL（ 0566） 62-6001 製品に関する技術的なお問い合わせ、購入についてのご相談はこちらまで。 仙台支店 TEL（ 022） 227-2501 静岡営業所 TEL（ 054） 255-8625 金沢営業所 TEL 0120-925-410 FAX 0120-925-601 新潟営業所 TEL（ 025） 241-3601 TEL（ 076） 239-4111 水戸営業所 TEL（ 029） 233-0671 京都支店 TEL（ 075） 353-7870 E-mail webts@orientalmotor.co.jp 宇都宮営業所 TEL（ 028） 610-7010 滋賀営業所 TEL（ 077） 566-2311 諏訪営業所 　大阪支社 受付時間 平日 9：00～19:00（ 土日祝日･その他当社規定による休日を除く） TEL（ 0266） 52-2007 TEL（ 06） 6337-0121 熊谷営業所 TEL（ 048） 526-3851 兵庫営業所 TEL（ 078） 915-1313 岡山営業所 TEL（ 086） 803-3611 ネットワーク対応製品専用ダイヤル CC-Link、MECHATROLINKなどの 南関東支店 TEL（ 046） 236-1080 FAネットワークやModbus RTUに 甲府営業所 TEL（ 055） 278-1541 広島営業所 TEL（ 082） 569-7900 TEL 0120-914-271 関する技術的なお問い合わせ窓口 九州支店 TEL（ 092） 473-1575 熊本営業所 TEL（ 096） 352-7151 受付時間 平日 9：00～17：30（ 土日祝日･その他当社規定による休日を除く） https://www.orientalmotor.co.jp/ja WEBサイトでも、お問い合わせやご注文を受け付けています。 第1営業部 TEL（ 050）5445-9709 第2営業部 TEL（ 050）5445-9710 （東日本） （中部/西日本) お問い合わせ先 2023 年 12 月 制作 このカタログの記載内容は、2023 年 12 月現在のものです。 © 2009-2023 Copyright ORIENTAL MOTOR CO.,LTD. V-116-4 8