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ハイブリッド制御システムαSTEP ARシリーズ 真空タイプ 10-5Pa 対応

製品カタログ

真空対応モーターで回転導入機を使わないチャンバー設計が可能になり、チャンバーの小型化、コストダウンを実現。

αSTEP ARシリーズ パルス列入力タイプ  真空タイプ10-5Pa 対応

● 真空環境(10-5Pa)に対応する位置決めモーター
10-5Paの真空環境下で使用できる、ステッピングモーターベースの高精度位置決めモーターです。
熱の影響を受けてしまう電子部品(エンコーダなど)を使用せず、ローターとステータの機械的な精度によって高精度な位置決めを実現するのがステッピングモーターの特徴です。
また、堅牢で耐熱性の高いレゾルバでローター位置を検出し、偏差が一定以上になった場合にトルクを発生するフィードバック制御をおこないます。

真空環境装置内での位置決め運転が可能になることで、回転導入機を使わないチャンバー設計を実現します。
※目安使用可能温度…モーターケース表面温度100度以下(巻線絶縁体の仕様による)

● 高効率化による発熱低減
高効率のモーター・ドライバにより、放熱性の低い真空中でも高トルクでの運転を実現します。

● クローズドループ制御による高信頼性
位置検出センサとして、堅牢で耐熱性の高いレゾルバを採用。真空容器(チャンバー)内にあるモーターの回転速度・回転量の情報を監視するほか、各種アラーム出力機能を搭載しています。

● カレントコントロールモード
負荷に応じた電流制御モードです。さらなる発熱低減・磁気音の低減を検討したい場合にお試しください。(負荷が小さい場合に有効です。)

● CEマーキング
DC電源入力のラインアップは、EMC指令に対してCEマーキングを実施しています。

【真空対応モーターのメリット】
・回転導入器取付用ポートを設計する必要がない
・真空容器(チャンバー)のコストダウン(回転導入器→約15万円程度)
・ポート数が減り、真空もれなどの不具合原因が減る
・回転伝達のベルトを使用しないので高精度な伝達が可能
・真空装置の小型化が計れる

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【ご検討の方へ】
低~中真空圧やガス封入環境での使用など、条件により適切なモーターをご案内いたします。
詳細はお問い合わせ、ご相談ください。

このカタログについて

ドキュメント名 ハイブリッド制御システムαSTEP ARシリーズ 真空タイプ 10-5Pa 対応
ドキュメント種別 製品カタログ
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取り扱い企業 オリエンタルモーター株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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このカタログの内容

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ハイブリッド制御システム ARシリーズ 真空タイプ パルス列入力タイプ 10-5Pa対応 高効率化によりモーターの発熱を大幅に低減した、ARシリーズの真空タイプです。 クローズドループ制御による高信頼性をそのままに、真空環境下での位置決め運転が可能です。 DC電源入力とAC電源入力をラインアップしています。 DC電源入力 DC電源入力 AC電源入力 AC電源入力 取付角寸法28mm 取付角寸法42mm 取付角寸法60mm 取付角寸法85mm ■特徴 ■種類と価格 ● 真空環境(10-5Pa)に対応 電源入力 品名 定価 の真空環境下で使用できる製品です。真空環境装置内での AR24VAK -5 167,300円 10 Pa DC24V AR26VAK 168,100円 位置決め運転が可能なほか、回転導入機を使わないことで、装置 AR46VAK 168,000円 のコンパクト化に貢献します。 AR66VAK 174,100円 DC24/48V ● クローズドループ制御による高信頼性 AR69VAK 176,600円 真空容器(チャンバー)内にあるモーターの回転速度・回転量の情 AR98VAK 180,800円 報を監視するほか、各種アラーム出力機能を搭載しています。 AR46VAA 182,300円 AR66VAA 188,400円 ● 高効率化による発熱低減 単相100-115V AR69VAA 190,900円 高効率のモーター・ドライバにより、放熱性の低い真空中でも高 AR98VAA 195,100円 トルクでの運転を実現します。 AR911VAA 198,900円 AR46VAC ● 182,300円 カレントコントロールモード AR66VAC 188,400円 負荷に応じた電流制御モードです。さらなる発熱低減・磁気音の 単相200-230V AR69VAC 190,900円 低減を検討したい場合にお試しください。(負荷が小さい場合に有 AR98VAC 195,100円 効です。) AR911VAC 198,900円 ● CEマーキング AR46VAS 182,300円 AR66VAS 188,400円 DC電源入力のラインアップは、EMC指令に対してCEマーキング 三相200-230V AR69VAS 190,900円 を実施しています。 AR98VAS 195,100円 AR911VAS 198,900円 製品には、次のものが含まれています。 モーター、ドライバ、入出力信号用コネクタ、主電源入力端子用コネクタ、 DC24V電源入力/回生抵抗サーマル入力✽、コネクタ結線レバー✽、取扱説 明書 ✽ AC電源入力のみ。
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DC電源入力 ■仕様 取付角寸法 28mm 42mm 60mm 85mm 品名 AR24VAK AR26VAK AR46VAK AR66VAK AR69VAK AR98VAK 静止角度誤差 min ±(5 ±0.084˚) 励磁最大静止トルク(大気圧中) N·m 0.044 0.096 0.25 0.8 1.8 1.8 停止時保持トルク N·m 0.022 0.048 0.125 0.4 0.9 0.9 ローター慣性モーメント J:kg·m2 11×10-7 20×10-7 58×10-7 380×10-7 750×10-7 1100×10-7 分解能 1000P/R設定時 0.36˚/パルス 電源入力 ±   DC24V±10% 1.4A/ DC24V±10% 3.1A/ DC24V±10% 3.0A/ DC24V±10% 2.5A/ DC24V 10% 0.9A DC48V±5% 1.4A DC48V±5% 3.1A✽1 DC48V±5% 3.0A✽1 DC48V±5% 2.5A✽1 圧力 Pa 10-5 ベーキング温度✽2 ˚C 100 耐熱クラス 18(0 H) ✽ 1 DC48V入力で運転する場合、慣性負荷はローター慣性比の10倍以下、加速トルク計算時は安全率2倍以上を目安としてください。 ✽ 2 ベーキング:部品などに付着しているガスの放出を促進させるため、外部から加熱をおこなうこと。 ■回転速度―トルク特性(参考値) AR24VAK(DC24V) AR26VAK(DC24V) AR46VAK(DC24V) 0.06 0.12 電流設定F 電流設定F 電流設定F 0.05 電流設定A 0.10 電流設定A 電流設定A 電流設定7 電流設定7 電流設定7 0.04 0.08 0.03 0.06 0.02 0.04 0.01 0.02 0 0 0 1000 2000 3000 4000 0 1000 2000 3000 4000 0 1000 2000 3000 4000 回転速度 [r/min] 回転速度 [r/min] 回転速度 [r/min] 0 10 20 30 40 50 60 70 0 10 20 30 40 50 60 70 0 10 20 30 40 50 60 70 パルス速度 [kHz] パルス速度 [kHz] パルス速度 [kHz] (1000P/R設定時) (1000P/R設定時) (1000P/R設定時) AR66VAK(DC24V) AR69VAK(DC24V) AR98VAK(DC24V) 1.5 3 3 F 電流設定F 電流設定F A 電流設定A 電流設定A 7 電流設定7 電流設定7 1.0 2 2 0.5 1 1 0 0 0 500 1000 1500 2000 2500 3000 0 0 500 1000 1500 2000 0 250 500 750 1000 1250 1500 [r/min] 回転速度 [r/min] 回転速度 [r/min] 0 10 20 30 40 50 0 10 20 30 40 0 5 10 15 20 25 [kHz] パルス速度 [kHz] パルス速度 [kHz] 1000P/R (1000P/R設定時) (1000P/R設定時) AR46VAK(DC48V) AR66VAK(DC48V) AR69VAK(DC48V) 1.5 3 電流設定F 電流設定F 電流設定F 電流設定A 電流設定A 電流設定A 電流設定7 電流設定7 電流設定7 1.0 2 0.5 1 0 0 0 1000 2000 3000 4000 0 500 1000 1500 2000 2500 3000 3500 0 500 1000 1500 2000 2500 回転速度 [r/min] 回転速度 [r/min] 回転速度 [r/min] 0 10 20 30 40 50 60 70 0 10 20 30 40 50 0 10 20 30 40 パルス速度 [kHz] パルス速度 [kHz] パルス速度 [kHz] (1000P/R設定時) (1000P/R設定時) (1000P/R設定時) AR98VAK(DC48V) 3 電流設定F 電流設定A 電流設定7 2 1 0 0 500 1000 1500 2000 2500 3000 回転速度 [r/min] 0 10 20 30 40 50 パルス速度 [kHz] (1000P/R設定時) ご注意 ● 回転速度―トルク特性は、当社測定条件によるデータです。条件が変化すると、特性が変化する場合があります。 ● 使用可能な温度は、モーターケース温度100˚C以下です。 ● 運転電流設定を低くすると、モーター停止時の保持トルクも低下します。 ● モーター、ドライバ間の総延長距離は真空中、大気中あわせて10m以下にしてください。 2 トルク [N・m] トルク [N·m] [N·m] トルク [N・m] トルク [N·m] トルク [N・m] トルク [N・m] トルク [N・m] トルク [N・m] トルク [N·m]
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AC電源入力 ■仕様 取付角寸法 42mm 60mm 85mm 品名 AR46VA□ AR66VA□ AR69VA□ AR98VA□ AR911VA□ 静止角度誤差 min ±(5 ±0.084˚) 励磁最大静止トルク(大気圧中) N·m 0.25 1 1.8 1.8 3 停止時保持トルク N·m 0.125 0.5 0.9 0.9 1.5 ローター慣性モーメント J:kg·m2 58×10-7 380×10-7 750×10-7 1100×10-7 2200×10-7 分解能 1000P/R設定時 0.36 /゚パルス 単相100-115V −15~+10% 50/60Hz 電圧・周波数 単相200-230V −15~+10% 50/60Hz 三相200-230V −15~+10% 50/60Hz 電源入力 単相100-115V 2.9 4.4 6.1 5.5 6.5 入力電流 A 単相200-230V 1.9 2.7 3.8 3.4 4.1 三相200-230V 1.0 1.4 2.0 1.8 2.2 制御電源 DC24V±5% 0.3A 圧力 Pa 10-5 ベーキング温度✽ ˚C 100 耐熱クラス 18(0 H) ✽ ベーキング:部品などに付着しているガスの放出を促進させるため、外部から加熱をおこなうこと。 ● 品名中の□には電源入力を表すA(単相100V-115V)、C(単相200V-230V)、S(三相200V-230V)のいずれかが入ります。 ■回転速度―トルク特性(参考値) AR46VA□ AR66VA□ AR69VA□ 0.4 2.0 3 電流設定F 電流設定F 電流設定F 電流設定A 電流設定A 電流設定A 0.3 電流設定7 1.5 電流設定7 電流設定7 2 0.2 1.0 1 0.1 0.5 0 0 0 0 1000 2000 3000 4000 0 1000 2000 3000 4000 0 1000 2000 3000 4000 回転速度 [r/min] 回転速度 [r/min] 回転速度 [r/min] 0 10 20 30 40 50 60 70 0 10 20 30 40 50 60 70 0 10 20 30 40 50 60 70 パルス速度 [kHz] パルス速度 [kHz] パルス速度 [kHz] (1000P/R設定時) (1000P/R設定時) (1000P/R設定時) AR98VA□ AR911VA□ 3 5 電流設定F 電流設定F 電流設定A 4 電流設定A 電流設定7 電流設定7 2 3 2 1 1 0 0 0 1000 2000 3000 4000 0 1000 2000 3000 4000 回転速度 [r/min] 回転速度 [r/min] 0 10 20 30 40 50 60 70 0 10 20 30 40 50 60 70 パルス速度 [kHz] パルス速度 [kHz] (1000P/R設定時) (1000P/R設定時) ご注意 ● 回転速度―トルク特性は、当社測定条件によるデータです。条件が変化すると、特性が変化する場合があります。 ● 使用可能な温度は、モーターケース温度100˚C以下です。 ● 運転電流設定を低くすると、モーター停止時の保持トルクも低下します。 ● モーター、ドライバ間の総延長距離は真空中、大気中あわせて10m以下にしてください。 ■モーターの選定(DC電源入力、AC電源入力共通) 通常のステッピングモーターと同様の選定計算で選ぶことができます。 ただし、真空環境下で使用した場合の発熱対策のために、モータートルクに余裕を持ち、電流調整が可能となるようなモーター選定をお願 いします。 ■使用上のご注意(DC電源入力、AC電源入力共通) AC電源入力ドライバは、モーターの線間に最大で約320Vの電圧が発生します。このため、真空ポンプによる排気途中の低∼中真空領域で は、真空容器内の電流導入端子間などで放電が起こり、アラームの発生やモーター、ドライバ破損などの恐れがあります。AC電源対応ド ライバをご使用の際は、大気中および高真空領域において、ドライバ電源を入れるようにしてください。 真空環境下では一般的に放熱性が低くなるため、使用温度条件は大気圧中よりもさらに厳しくなります。 定格電流値でのご使用の際にはご注意ください。 モーターケース温度が100˚C(モーター温度上昇値を含む、ベーキング温度以下)を超えないようにするためには、以下の対策が有効です。 ● モーター運転デューティを下げる ● モーター運転電流値を定格電流値の半分以下に設定する また、真空環境の圧力維持の点からもモーターの温度をできるだけ低く保つことが重要です。 詳しくは最寄りの支店・営業所までお問い合わせください。 3 トルク [N・m] トルク [N·m] トルク [N・m] トルク [N·m] トルク [N・m]
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■外形図( 単位mm) ● モーター部 取付角寸法 28mm 品名 モーター部 品名 L 質量 kg 2D CAD AR24VAK ARM24VAK 49 0.2 B1150 AR26VAK ARM26VAK 68.7 0.3 B1151 2.1 L 15±1 28 1.5 4×M2.5 深さ2.5 23±0.2 10±0.25 センサケーブル ϕ4 モーターケーブル ϕ2.9 6.5 センサリード線4本 モーターリード線4本 FEP, AWG26 FEP, AWG26 取付角寸法 42mm 品名 モーター部 品名 質量 kg 2D CAD AR46VAK ARM46VAK 0.47 B567 AR46VA□ ARM46VAC ● 品名中の□には、電源入力を表すA(単相100-115V)、C(単相200-230V)、S(三相200-230V)のいずれかが入ります。 67.4 20±1 42 2 31±0.2 15±0.25 4×M3 深さ4.5 17 モーターケーブル 33 1000mmϕ4.7 28 センサケーブル 1000mmϕ4 モーターリード線5本 FEP, AWG22 センサリード線4本 FEP, AWG26 取付角寸法 60mm 品名 モーター部 品名 L 質量 kg 2D CAD AR66VAK ARM66VAK 63.7 0.9 B568 AR66VA□ ARM66VAC AR69VAK ARM69VAK 89.3 1.4 B569 AR69VA□ ARM69VAC ● 品名中の□には、電源入力を表すA(単相100-115V)、C(単相200-230V)、S(三相200-230V)のいずれかが入ります。 L 24±1 60 7 2 4×ϕ4.5穴 50±0.35 20±0.25 17 23.8 モーターケーブル 1000mmϕ4.7 28 センサケーブル モーターリード線5本 1000mmϕ4 FEP, AWG22 センサリード線4本 FEP, AWG26 取付角寸法 85mm 品名 モーター部 品名 L 質量 kg 2D CAD AR98VAK ARM98VAK 79.5 1.9 B1152 AR98VA□ ARM98VAC AR911VA□ ARM911VAC 109.5 3 B1153 ● 品名中の□には、電源入力を表すA(単相100-115V)、C(単相200-230V)、S(三相200-230V)のいずれかが入ります。 L 37±1 85 10 2 4×ϕ6.5穴 70±0.35 25±0.25 17 28 モーターケーブル ϕ4.7 センサケーブル ϕ4 モーターリード線5本 センサリード線4本 28 FEP, AWG22 FEP, AWG26 4 39 1000 1000 11 5.5±0.15 9.5±0.15 0 ϕ6−0.012(h7) 0 ϕ10−0.015(h7) 0ϕ22−0.021(h7) 0 ϕ36−0.025(h7) 4.5±0.15 0 ϕ5−0.012(h7) 31±0.2 0 12 42 ϕ22−0.021(h7) 50±0.35 12 60 13±0.15 0 1000 ϕ14−0.018(h7) 0 ϕ60−0.03(h7) 1000 23±0.2 28 70±0.35 12 85
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● ドライバ部 ドライバ部 品名:ARD12AV-K、ARD12BV-K、ARD20V-K、ARD36AV-K、ARD36BV-K、ARD36CV-K 質量:0.17kg  B546 41 max. 60 35 4 ● 付属品 制御入出力用コネクタ(CN5) ケース:10336-52A0-008(住友スリーエム株式会社) コネクタ:10136-3000PE(住友スリーエム株式会社) 主電源入力/フレームグランド端子用コネクタ(CN1) コネクタ:MC1.5/3-STF-3.5 ( フエニックス・コンタクト株式会社) ドライバ部 品名: ARD07V-A、ARD10V-A、ARD13V-A、ARD16V-A、ARD18V-A ARD07V-C、ARD10V-C、ARD13V-C、ARD16V-C、ARD18V-C ARD07V-S、ARD10V-S、ARD13V-S、ARD16V-S、ARD18V-S 質量:0.75kg  B454 45 41 max. 125 ϕ4.5穴 スリット ● 付属品 制御入出力用コネクタ(CN5) ケース:10336-52A0-008(住友スリーエム株式会社) コネクタ:10136-3000PE(住友スリーエム株式会社) 回生抵抗入力/主電源入力端子用コネクタ(CN3) コネクタ:54928-0570(Molex) DC24V電源入力/回生抵抗サーマル入力用コネクタ(CN1) 10 35 5 コネクタ:MC1.5/6-STF-3.5 2×M4 17.5 ( フエニックス・コンタクト株式会社) ■モーター/ドライバ組み合わせ一覧 ユニットを構成するモーターおよびドライバの品名は次のようになっています。 電源入力 品名 モーター部 品名 ドライバ部 品名 AR24VAK ARM24VAK ARD12AV-K DC24V AR26VAK ARM26VAK ARD12BV-K AR46VAK ARM46VAK ARD20V-K AR66VAK ARM66VAK ARD36AV-K DC24/48V AR69VAK ARM69VAK ARD36BV-K AR98VAK ARM98VAK ARD36CV-K AR46VAA ARM46VAC ARD07V-A AR66VAA ARM66VAC ARD10V-A 単相100-115V AR69VAA ARM69VAC ARD13V-A AR98VAA ARM98VAC ARD16V-A AR911VAA ARM911VAC ARD18V-A AR46VAC ARM46VAC ARD07V-C AR66VAC ARM66VAC ARD10V-C 単相200-230V AR69VAC ARM69VAC ARD13V-C AR98VAC ARM98VAC ARD16V-C AR911VAC ARM911VAC ARD18V-C AR46VAS ARM46VAC ARD07V-S AR66VAS ARM66VAC ARD10V-S 三相200-230V AR69VAS ARM69VAC ARD13V-S AR98VAS ARM98VAC ARD16V-S AR911VAS ARM911VAC ARD18V-S 5 9.7 90 160 8.1 17.5 35.1 14.2 max. 150 5
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ケーブル(別売) 別売りのケーブルを使用することで、真空環境装置内外での配線やケーブルの延長を容易におこなうことができます。 電流導入端子 センサ ケーブル モーター モーター用 ケーブル ケーブル 延長ケーブル <真空中> <大気中> ご注意 ● モーター、ドライバ間の総延長距離は真空中、大気中あわせて10m以下にしてください。 延長ケーブル 真空中でモーターケーブルとセンサケーブルを延長したい場合に使用するケーブルです。 ■種類と価格 ● モーターケーブル用 品名 長さ(m) 定価 CC050ARV 5 17,600円 CC100ARV 10 35,200円 モーターケーブル用 センサケーブル用 ● 線心構成:5心 ● 材質:FEP ● サイズ:AWG22 ● センサケーブル用 品名 長さ(m) 定価 CC050ARVE 5 15,400円 CC100ARVE 10 30,800円 ● 線心構成:4心 ● 材質:FEP ● サイズ:AWG26 モーター用ケーブル ドライバと接続するための モーター専用ケーブルです。 ご注意 ● 真空中ではご使用できません。 ■種類と価格 ■外形図 (単位mm) ● DC電源入力用 ● DC電源入力用 品名 長さL(m) 定価 モーター側 ドライバ側 CC010VAVF2 1 5,600円 43025-1000 (Molex)または CC020VAVF2 2 6,800円 1-794617-0 (TEコネクティビティ) CC030VAVF2 3 8,000円 CC050VAVF2 5 10,400円 CC070VAVF2 7 12,800円 3 ϕ8 CC100VAVF2 10 16,500円 35 14 8.3 L 11.7 ● AC電源入力用  ●コネクタ寸法はTEコネクティビティ製の寸法を記載しています。 品名 長さL(m) 定価 CC010VAVF 1 5,600円 ● AC電源入力用 CC020VAVF 2 6,800円 モーター側 ドライバ側 CC030VAVF 3 8,000円 CC050VAVF 5 10,400円 5557-10R-210 CC070VAVF 7 12,800円 (Molex) CC100VAVF 10 16,500円 3 ϕ8 35 19.6 11.6 L 14.5 6 16 22.2
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