1/4ページ

このカタログをダウンロードして
すべてを見る

ダウンロード(1.6Mb)

岡本工作機械製作所_半導体関連製造装置総合カタログ

製品カタログ

関連メディア

このカタログについて

ドキュメント名 岡本工作機械製作所_半導体関連製造装置総合カタログ
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 1.6Mb
登録カテゴリ
取り扱い企業 株式会社岡本工作機械製作所 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

この企業の関連カタログ

精密平面研削盤PSG-GXシリーズ
製品カタログ

株式会社岡本工作機械製作所

超精密平面研削盤UPG-CAシリーズ
製品カタログ

株式会社岡本工作機械製作所

精密平面研削盤PSGSA1シリーズ
製品カタログ

株式会社岡本工作機械製作所

このカタログの内容

Page1

h1-H4

半導体関連装置 株式会社 岡本工作機械製作所 本    社 〒379-0135 群馬県安中市郷原 2993 番地 TEL 027(385)6211 FAX 027(385)1144 営業本部 ナノプロセス営業部 〒224-0032 横浜市都筑区茅ヶ崎中央 50-17 C・M Port 6 階 TEL 045(949)3974 FAX 045(949)3014 仙台営業所 〒981-1106 仙台市太白区柳生 7丁目 2番 5号 シャトルプラザ F3 TEL 022(741)1777 FAX 022(741)1788 北関東営業所 〒379-0135 群馬県安中市郷原 2993 番地 TEL 027(385)5300 FAX 027(380)2020 首都圏営業所 〒224-0032 横浜市都筑区茅ヶ崎中央 50-17 C・M Port 6 階 TEL 045(949)3788 FAX 045(949)3789 静岡営業所 〒422-8067 静岡市駿河区南町 11-10 A フラット 1階 TEL 054(204)0898 FAX 054(204)0899 富山営業所 〒939-8281 富山市今泉西部町 11番地 9号 LONG-1 ビル 1階 TEL 076(421)1625 FAX 076(421)2543 名古屋営業所 〒468-0051 名古屋市天白区植田 1丁目 2003 番 2号 TEL 052(800)2101 FAX 052(848)2771 大阪営業所 〒564-0063 吹田市江坂町 2丁目 2番 6号 紙谷第 2ビル TEL 06(6339)0121 FAX 06(6339)0304 広島営業所 〒721-0973 広島県福山市南蔵王町 3丁目 13-3 TEL 084(932)6363 FAX 084(932)6366 福岡営業所 〒812-0063 福岡市東区原田 3丁目 6番 8号 TEL 092(611)5286 FAX 092(611)5379 URL : http://www.okamoto.co.jp 注 意 ●当社製品をご使用の際は、付属の取扱説明書に記載されている安全に関わる危険・警告・  注意書及び実機に取付けられている同表示をよくお読みください。 ●当社製品が「外国為替及び外国貿易法」の規定による輸出規制物資に該当する場合は  日本国外に輸出あるいは持ちだす際に日本国政府の許可または承認が必要となります。 ●改良等により仕様その他を予告なく変更することがあります。 ●カタログに関して、無断で転載することを禁じます。 2021年11月作成 2021110500AD-19
Page2

P1-8

OKAMOTOの半導体関連技術 Slicing スライシング 世界で初めて脆性材、ゲルマニウムの切断を行った時から、半導体素材、電子部品素材等、常にユーザーニーズに応えるべく 固定砥粒から遊離砥粒まで、脆性材料の加工をインゴットから薄膜工程、チッ 様々な機種の開発をしてまいりました。そして高精度が常識となった現在、新型の制御装置を搭載し操作性が良くより高スル ープットな機械を提供してまいります。 プまでトータルな技術力でユーザーニーズに応えるべく開発された岡本工作機 械のラインナップ。次世代に向けて更なるPlanarizationの世界を追求して 300mm内周式スライサー いきます。 300mmのSiO2インゴットを高能率に切断。 仕様項目 単位 ASM200BR 装置寸法(W×D×H) mm 2285×1305×2365 加工物 - 脆性材料/SiO2インゴット 加工物の大きさ mm □230/φ300 マルチスライサー 高剛性スピンドルと高出力モーターの組み合わせにより、高能 率スライス加工を実現したマルチスライサー。 仕様項目 単位 ASM420M 装置寸法(W×D×H) mm 2150×1455×1430 加工物 - 脆性材料 テーブル作業面積 mm 400×200 小径ウエーハ用ポリッシャー 超高剛性枚葉ポリッシャー PNX200L 1テーブル、1ヘッドの超高精度ポリッシャー。 8カセット200枚連続加工、省人化仕様。 仕様項目 単位 PNX200L 装置寸法(W×D×H) mm 1200×1950×2118 同時処理枚数 - 1枚 加工物 - LT/LNウエーハ 加工物の大きさ mm MAX.φ200 超高生産性枚葉管理バッチポリッシャー SPP800ATB 2テーブル、3ヘッドのワックスレス全自動バッチ処理対応で 高生産性を実現。6インチは12枚、4インチは24枚同時処理。 仕様項目 単位 SPP800ATB 装置寸法(W×D×H) mm 2680×2770×2451 同時処理枚数 - 4”:24枚/6”:12枚 加工物 - LT/LNウエーハ 加工物の大きさ mm SPP800ATB MAX.φ150