Au/Suの2源同時蒸着により厚膜を低温で成膜可能
本装置は効率よくAu/Suの低温成膜が可能です。
また、電子銃2源同時蒸着により、
異種材料の組成比管理及び膜厚管理が可能です。
【用途】
・LDサブマウントのAu/Suはんだ層形成
・LED薄膜サブマウントのAu/Suはんだ層形成
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このカタログについて
| ドキュメント名 | AuSu蒸着装置 SEC-S900C |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 3.6Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社昭和真空 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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