インラインで水晶振動子の熱処理が可能な高真空アニール装置
【特 長】
1．本装置は、主に水晶振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去、電極膜の安定
化のために熱処理を行うインライン式真空熱処理装置です。
2．仕込室、処理室、冷却室の3室からなり、トレイ仕込後、アニールから冷却まで全自動で行
います。また、LD/ULDを接続することでライン化が可能になり、生産性の向上と省力化に
貢献します。
3．W220mm×D140mmトレイで約440秒(＝約7分20秒)/枚のタクトタイムを実現しました。
4．アニール工程のフルオートメーション化により、歩留向上に貢献します。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | インライン式高真空アニール装置 SAF-X1201 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 2.3Mb |
| 取り扱い企業 | 株式会社昭和真空 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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