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【生産性向上・省力化】ロードロック式 通過型スパッタ装置 SPH-2410-Ⅱ

製品カタログ

二種類の膜を両面に成膜可能なスパッタ装置

金属を成膜させたい対象物に
ゴミなどの不純物が混入したら嫌ですよね!?
本装置のスパッタ室は常に真空のため安定した成膜が可能です。
また、スパッタには不活性ガス(Ar)を使用するので
金属ターゲットと気体分子が反応せず純度の高い膜を成膜できます。
従来装置のカソードから3 インチUP したので生産量の重視にはうってつけです。

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このカタログについて

ドキュメント名 【生産性向上・省力化】ロードロック式 通過型スパッタ装置 SPH-2410-Ⅱ
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 788.8Kb
登録カテゴリ
取り扱い企業 株式会社昭和真空 (この企業の取り扱いカタログ一覧)