金属薄膜の研究開発用途から小ロット生産に最適
本装置は抵抗加熱蒸発源を使用して金属材料を
成膜する為の真空蒸着装置です。
シンプルなバッチ式装置ですが、ご要望に応じて
公転ドーム・自公転治具が搭載可能です。
また全自動で成膜してくれる便利な装置となります。
当社の他装置と比べると設置スペースが格段に少なく(コンパクトカーと同程度)、
「一台導入したいけど設置スペースがネック・・・」というお客様へ
大変お勧めの装置です。
排気系は、安価な油拡散ポンプの場合はSEC-06D(Dは油拡散ポンプを表しています)、
オイルフリーで水の排気性能に優れたクライオポンプの
場合はSEC-08C(Cはクライオポンプを表しています)と、好みに合わせてご選択頂けます。
用途は研究開発から少量生産品の量産まで幅広くご使用頂けます。
ご興味頂ければ是非カタログダウンロード・当社までお気軽にお問合せください。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 【省スペースで設置場所に困らない】真空蒸着装置 SEC-06D/08C |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 1.2Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社昭和真空 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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