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【基板表面処理なら】プラズマクリーナー SPE-2136A

製品カタログ

基板表面のクリーニング、アッシング処理に!

φ4、φ6インチ基板への残渣除去、表面改質、アッシング
処理をするための装置です。
コンパクトな設計でウェハー2枚同時処理が可能です。
さらに自動搬送機構の搭載で基板の割れ防止、作業時間の削減を実現します!


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このカタログについて

ドキュメント名 【基板表面処理なら】プラズマクリーナー SPE-2136A
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 750.2Kb
登録カテゴリ
取り扱い企業 株式会社昭和真空 (この企業の取り扱いカタログ一覧)