水晶振動子の長寿命化を可能に！安定した膜厚制御を実現
高精度な膜厚監視、成膜レートの制御をするためのコンポーネントです。
単層・多層成膜の分光特性のばらつきを抑え、
更に設定膜厚との誤差低減を可能にしたことにより、
再現性をより向上させます！
等価抵抗値を計測する事により即座に水晶振動子のエラー時期を察知、
長寿命化を実現します。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 【安定した膜厚制御なら】水晶式モニター COÅT LEADER |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 629.5Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社昭和真空 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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