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【複雑かつ3D形状に対応】光学薄膜形成装置 Genesis-AR Series

製品カタログ

蒸着、スパッタでは困難な高曲率レンズ、ボールレンズへの成膜に最適

ALD装置の新たなラインナップに光学に特化した装置 Genesis-ARが登場
複雑かつ3D形状に対応でき、低温(100℃以下)で均一にコーティングすることができます。
また、他にも
 ①従来の成膜技術では難しかったボールレンズ、高曲率レンズにも対応可能
 ②バッチ内、バッチ間膜厚分布に優れている
 ③熱に弱い樹脂基板などにも対応可能
などといった特徴がございます。

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このカタログについて

ドキュメント名 【複雑かつ3D形状に対応】光学薄膜形成装置 Genesis-AR Series
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 589Kb
登録カテゴリ
取り扱い企業 株式会社昭和真空 (この企業の取り扱いカタログ一覧)