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ロードロック式周波数調整装置 SFE-B03-Ⅱ型

製品カタログ

コンパクト設計・高精度・低価格・高安定・高再現性を実現した周波数調整装置のグローバルスタンダード

このカタログについて

ドキュメント名 ロードロック式周波数調整装置 SFE-B03-Ⅱ型
ドキュメント種別 製品カタログ
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このカタログの内容

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水晶装置 SFEシリーズ ロー ドロック式周波数調整装置 SFE-B03-Ⅱ コンパ クト設計・高精度・低価格・高安定・高再現性 【高性能イオンガン IGF-201】 5 4.5 4 3.5 3 2.5 2 1.5 1 0.5 0 -60 -50 -40 -30 -20 -10 0 10 20 30 40 50 60 位置(mm) 【シャッタ ーユニット】 ビーム幅:100mm 特徴 ◆省スペース・高精度・低価格・タクトタイム 0.4s/pcs以下を実現しました。 (※SMD3.2×2.5 24MHz H1000ppm/s L50ppm/s の場合) ◆新型イオンガン(ビーム幅:100mm)搭載で、標準 24~32 個同時処理が可能となりました。 ◆高精度・高安定・高再現性の搬送機構の採用により、2.0×1.6 以下の微小ワークも、安定して生産 できます。 ◆FLモード(負荷容量自動演算モード)を搭載しています。 ◆イオンガン本体・コンタクト機構のメンテナンス性が大幅に向上しました。 ◆2室ロードロック方式を採用することで処理室は常時真空に保持されているので、タクトタイムが 真空排気及び大気開放の時間に依存しません。 ◆オプションユニットとしてオーバードライブ機構付ローダー・アンローダ装置装着により、連続運転が 可能となりました。 2 イオン電流密度(mA/cm )
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新機能 紹介 【ロータリーソレノイド機構】 【搬送キャリア】 従来タイプ 66 トレー ・カーボン製 ・両端で使用可能です (片方削れたら、もう片方で使用可能) 169 134 170 回転駆動を直進運動へ キャリア 変換しています。 170 269 180度以内で回転するこ とにより、シャッター開閉 に必要なストロークを 180 220 決定しています。 メッシュ構造 シャッターの開閉運動を安定的に、 100mmビームイオンガンに対応した大型トレーを採用。 かつ高精度で制御します。 搬送キャリアにはメッシュ状の穴を開けて強度と高精度化に対 消耗品の部品の高寿命化にも貢献します。 応。 【基準 ベアリング、キャリア押え機構】 【メンテナンス】 イオンガン本体 コネクタ 水冷 キャリア押さえ機構 基準ベアリングによる高精度搬送、門型構造の コネクタから引き抜く 簡易着脱機構 コンタクト昇降機能により 1612 サイズの小型ワーク 容易なメンテ 基準ベアリング にも対応。 概略仕様 対応可能ワーク:水晶振動子 水晶発振器 (3225,2520,2016,1612,1210) 音叉振動子 (4115,3215,2016) 装置構成 : 2室(仕込室、処理室) インターバック式 搬送系 : 1軸 X方向のみ 排気系 : 8インチTMP イオンソース : 100mmビーム矩形型 1式 → 24ビーム(4mm ピッチ) 計測器 : ネットワークアナライザー/周波数カウンター 4台 (6素子/1台) 周調工程 : 1~4段階 (H,M,L,LL) ご質問・詳細につきまして お問合せ 先 TEL:042-764-0370 FAX:042-764-0377 は、営業部までお気軽にお 【営業部 】 問合せ下さい。 E-Mail:sales-pamphlet@showashinku.co.jp 本社・相模原工場 〒252-0244 神奈川県相模原市中央区田名 3062-10 TEL:042-764-0321 URL http://www.showashinku.co.jp 本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、 日本国政府 への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。 IQJ12101-1501