水晶デバイスの周波数調整工程用エッチング装置
SFE-B03-Ⅱ、これを抜きに昭和真空は語れない。
ビーム幅100mmにより高速でエッチング、最大で32個の素子を同時に処理できる。
タクトタイム0.4s/pcs 以下を実現した。
さらに、画像認識システムやロータリーソレノイド機構等の採用により、
無駄がなく再現性の高い動作を実現。そんな非凡な性能が評価され、あの経済産業省
のお墨付きまでいただいた。
昭和真空の技術力が集約された、まさしく、昭和真空の代名詞と言える逸品。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 【昭和真空の最高傑作】 ロードロック式周波数調整装置 SFE-B03-Ⅱ型 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 1.8Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社昭和真空 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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